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2004 Fiscal Year Annual Research Report

ppbレベル対応超高感度半導体ガスセンサの展開

Research Project

Project/Area Number 15350084
Research InstitutionKYUSHU UNIVERSITY

Principal Investigator

島ノ江 憲剛  九州大学, 大学院・総合理工学研究院, 教授 (10274531)

Keywords高次構造 / 構造制御 / 水熱処理 / 酸化スズ / ゾル / 粒子径 / 微細構造 / 担持効果
Research Abstract

高次構造制御では、酸化スズの水熱処理条件を詳細に検討した結果、粒子径が異なる酸化スズゾルの作製に成功し、これを用いた薄膜型センサにおいてメソポア導入によるガス拡散性の有効性を評価した。つまり、分子径が水素よりも大きな硫化水素を用いて、酸化スズの粒子径とガスセンサの感度との関係を調べたところ、粒子径の増大に従い、感度が著しく増大すること、これがガス拡散性に関係することを確認した。次に、センサ素子の高次構造を添加物により制御することも試みた。酸化スズゾルに分子量の異なるポリエチレングリコールを添加した薄膜センサを高温で熱処理することにより薄膜中にポア構造を導入したところ、膜厚の増大に従い、センサ感度が増大すること、センサ感度が導入したポア径に依存することなどを明らかにした。
増感剤を担持した高次構造体の調製では、酸化コバルトを担持した酸化スズの一酸化炭素ガスセンサにおいてこれまでに報告例のない極めて高いセンサ感度が発現することを見出し、これがボールミルにより導入されたメソポア孔によることを、試料調製条件の検討および微細構造の評価により確認した。さらに、この酸化コバルトを担持した酸化スズの一酸化炭素ガスセンサに10nm以下の金微粒子を担持することにより、一酸化炭素ガスの選択性も向上することを見出した。
不純物をドープした酸化スズゾルの調製では、酸化ランタンを担持した酸化スズのエチレンオキシドガスセンサにおいて酸化ランタン添加に伴う電気抵抗の上昇を抑制するために酸化スズにアンチモンをドープし、低温においても高感度の測定ができることを示した。
また、酸化スズ以外の酸化物として酸化チタンを検討し、水熱処理により高温でも安定な感度を示すこと、また水熱処理をした酸化チタンにもコロイド吸着による貴金属担持が可能であること、などを明らかにした。

  • Research Products

    (12 results)

All 2005 2004

All Journal Article (12 results)

  • [Journal Article] Hydrogen sulfide gas sensing properties of thin films derived from SnO_2 sols different in grain size2005

    • Author(s)
      Dang Duc Vuong et al.
    • Journal Title

      Sensors and Actuators B 105

      Pages: 437-442

  • [Journal Article] Sensing properties of Au-loaded SnO_2-Co_3O_4 composites to CO and H_22005

    • Author(s)
      U.-Sung Choi et al.
    • Journal Title

      Sensors and Actuators B (in press)

  • [Journal Article] Influences of ball-milling time on gas-sensing properties of Co_3O_4-SnO_2 composites2005

    • Author(s)
      Shunji Abe et al.
    • Journal Title

      Sensors and Actuators B (in press)

  • [Journal Article] Effects of various metal additives on the gas sensing performances of TiO_2 nanocrystals obtained from hydrothermal treatments2005

    • Author(s)
      Ana M.Ruiz et al.
    • Journal Title

      Sensors and Actuators B (in press)

  • [Journal Article] development of SnO_2-based gas sensors sensitive to dilute ethylene oxide in air2005

    • Author(s)
      Masahiro Kugishima et al.
    • Journal Title

      Sensors and Actuators B (in press)

  • [Journal Article] Toward innovations of gas technology2005

    • Author(s)
      Noboru Yamazoe
    • Journal Title

      Sensors and Actuators B (in press)

  • [Journal Article] Wet process-based fabrication of WO_3 thin film for NO_2 detection2004

    • Author(s)
      Yong-Gyu Choi et al.
    • Journal Title

      Sensors and Actuators B 101

      Pages: 107-111

  • [Journal Article] Microstructure control of thermally stable TiO_2 obtained by hydrothermal process for gas sensors2004

    • Author(s)
      Ana M.Ruiz et al.
    • Journal Title

      Sensors and Actuators B 103

      Pages: 312-317

  • [Journal Article] Preparation of grain size-controlled tin oxide sols by hydrothermal treatment for thin film sensor application2004

    • Author(s)
      Dang Duc Vuong et al.
    • Journal Title

      Sensors and Actuators B 103

      Pages: 386-391

  • [Journal Article] Higher order structure control for semiconductor gas sensors2004

    • Author(s)
      Noboru Yamazoe
    • Journal Title

      Chemical Sensors VI : Chemical and Biological Sensors by Analytical Methods, Electrochemical Society Proceedings 2004-08

      Pages: 1-9

  • [Journal Article] Sensitization of SnO_2-based thick film sensor for ethylene oxide gas2004

    • Author(s)
      Masahiro Kugishima et al.
    • Journal Title

      Chemical Sensors VI : Chemical and Biological Sensors and Analytical Methods, Electrochemical Society Proceedings 2004-8

      Pages: 43-48

  • [Journal Article] Microstructural control of SnO_2 thin films by using polyethylene glycol-mixed sols2004

    • Author(s)
      Go Sakai et al.
    • Journal Title

      Ceramic Engineering and Science Proceedings 25・3

      Pages: 477-482

URL: 

Published: 2006-07-12   Modified: 2016-04-21  

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