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2004 Fiscal Year Annual Research Report

プラズマ流体システムの融合化による多元ナノ制御

Research Project

Project/Area Number 15360090
Research InstitutionTOHOKU UNIVERSITY

Principal Investigator

西山 秀哉  東北大学, 流体科学研究所, 教授 (20156128)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 早瀬 敏幸  東北大学, 流体科学研究所, 教授 (30135313)
佐藤 岳彦  東北大学, 流体科学研究所, 助教授 (10302225)
高奈 秀匡  東北大学, 流体科学研究所, 助手 (40375118)
Keywordsプラズマ流体 / 機能性流体 / 多元制御 / ナノ流動 / 複雑干渉 / 微粒子・液滴 / 仮想実験 / 融合化
Research Abstract

本研究では、プラズマ流体とマイクロ・ナノ粒子およびラジカル、さらには、光センサー、圧力センサー、コントローラと融合化した「プラズマ流体融合システム」を構築した。得られた結果を要約すると、以下のようになる。
1.DC-RFハイブリッドプラズマ流動システムを用いた光触媒用酸化チタンナノ粒子創製プロセスを統計的手法による多入力-多目的最適化設計に基づき、特に入口流量やクウェンチガスの複雑干渉流動場を操作量にすることにより、ナノ粒径分布や結晶構造が制御可能なことを実験的に明らかにした。
2.反応性プラズマ溶射を想定して、基板に衝突するアルゴン・窒素混合プラズマジェットを安定化させるための多元制御システムを開発した。作動圧力と外部磁場を操作量とし、プラズマジェットからの放射光をセンシングすることにより、基板近傍でラジカルからの特定波長の放射強度の定値制御やジェット中心軸および幅の変動強度の抑制に成功した。
3.高周波誘導プラズマによるナノ粒子創製プロセスに凝縮・核生成の現実強化モデルを導入し、数値シミュレーションにより、特にクウェンチガス流量、印加周波数、DCジェット付加により金属ナノ粒子径分布が制御可能であることを明らかにした。

  • Research Products

    (7 results)

All 2005 2004

All Journal Article (6 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Journal Article] Statistical Optimization of a DC-RF Hybrid Plasma Flow System for In-Flight Particle Treatment2005

    • Author(s)
      Kotaro Kawajiri
    • Journal Title

      International Journal of Heat and Mass Transfer 48・1

      Pages: 183-190

  • [Journal Article] Development of Feedback Control Systems for an Oscillating Plasma Jet2004

    • Author(s)
      Hideya Nishiyama
    • Journal Title

      Vacuum 73・3-4

      Pages: 691-697

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [Journal Article] Evaluations of Ceramic Spraying Processes by Numerical Simulation2004

    • Author(s)
      Takehiko Sato
    • Journal Title

      Materials Transactions 45・6

      Pages: 1874-1879

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [Journal Article] Numerical Investigation for Nano-Particle Synthesis in an RF Inductively Coupled Plasma2004

    • Author(s)
      Masaya Shigeta
    • Journal Title

      Thin Solid Films 457・1

      Pages: 192-200

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [Journal Article] Reaction Field Analysis of a Non-thermal Plasma Flowing in a Rectangular Reactor2004

    • Author(s)
      Takehiko Sato
    • Journal Title

      Thin Solid Films 457・1

      Pages: 78-83

  • [Journal Article] Fully Coupled 3D Modeling of Plasma-particle Interactions in a Plasma Jet2004

    • Author(s)
      Kandasamy Ramachandran
    • Journal Title

      Thin Solid Films 457・1

      Pages: 158-167

  • [Patent(Industrial Property Rights)] プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法2004

    • Inventor(s)
      西山 秀哉, 佐藤 岳彦, 片桐 一成
    • Industrial Property Rights Holder
      株式会社東北テクノアーチ
    • Industrial Property Number
      特願2004-381699
    • Filing Date
      2004-12-28
    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より

URL: 

Published: 2006-07-12   Modified: 2016-04-21  

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