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2003 Fiscal Year Annual Research Report

光・磁気駆動型マイクロアクチュエータの基礎研究

Research Project

Project/Area Number 15656044
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

進士 忠彦  東京工業大学, 精密工学研究所, 助教授 (60272720)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 宗片 比呂夫  東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (60270922)
下河辺 明  東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
Keywords光誘起磁化 / マイクロアクチュエータ / 微細梁
Research Abstract

本研究では,常温において,光のオンオフにより磁性を制御できる材料(以下,光誘起磁性材料)から,マイクロ梁を製作し,一定磁場環境下で,光照射の有無により,梁が変位することが可能か実証することにある.また,変位が確認された場合,アクチュエータとしての発生力や応答速度の計測を行い,アクチュエータの将来性を検討する.
本年度は,分子線エピタキシー装置により,ガリウム,砒素,鉄の分子線量,GaAs基板の温度をコントロールしながら,同時成長,交互成長,二層成長の三種類の成長法によって,GaAs-Fe複合構造を作製し,磁化測定や,X線回折測定を行うことで試料の評価を行った.
その結果,同時成長,交互成長によって,試料の一部に,常温にて,レーザ光を当てることで,磁化変化を示すものが実現できた.しかし,この試料の光誘起磁化は微小であり,従来製作された最高の磁化変化を示した試料には及ばなかった.
また,二層成長では,従来にない大きな磁化変化を実現したが,その磁化変化分には,試料の温度上昇に依存する部分も多く含まれており,純粋な光磁化の検証のため,更なる検討が必要である.現段階では,熱磁化に起因する化合物は,Fe3Ga4であることを,ほぼ特定したが,光磁化に起因する化合物,メカニズムに関しては,特定できていない.
また,GaAs-Fe試料から,光磁気駆動実験のため,マイクロ梁の製作方法を検討し,縦横数ミリ,厚み十数μmの試験用片持ち梁の製作にも成功している.

  • Research Products

    (3 results)

All Other

All Publications (3 results)

  • [Publications] T.Shinshi, F.Kato, A.Shimokohbe, H.Munekata, H.Noguchi: "Optically driven microcantilever^--type actuator using photo-enhanced magnetization of a GaAs-Fe composite film"Applied Physics Letter. 83. 3425-3427 (2003)

  • [Publications] T.Shinshi, F.Kato, A.Shimokohbe, N.Noguchi, H.Munekata: "Application of Light-Enhanced Magnetization to Micro-actuator"9th Physics and Application of Spine-related Phenomena in Semiconductor (PASPS 9), The University of Tokyo. 215-217 (2003)

  • [Publications] 進士忠彦, 加藤史仁, 下河辺明, 宗片比呂夫, 野口浩史: "光・磁気駆動型マイクロアクチュエータの提案"2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 434 (2003)

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Published: 2005-04-18   Modified: 2016-04-21  

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