2003 Fiscal Year Annual Research Report
キャピラリーグロー放電発光分析による水素吸蔵材料中の水素の3次元分布解析
Project/Area Number |
15656176
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Research Institution | Osaka City University |
Principal Investigator |
辻 幸一 大阪市立大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (30241566)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
折茂 慎一 東北大学, 金属材料研究所, 助教授 (40284129)
米谷 紀嗣 大阪市立大学, 大学院・工学研究科, 講師 (80295683)
米澤 義朗 大阪市立大学, 大学院・工学研究科, 教授 (10026346)
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Keywords | グロー放電 / 水素吸蔵合金 / 発光分析 / 3次元解析 / 深さ方向分析 / キャピラリー放電 |
Research Abstract |
グリム型グロー放電管を試作し、今回の科研費により高圧電源、ガス配管、真空計などを購入した。これにより、グロー放電プラズマを利用した分析が可能となった。本年度は、グロー放電プラズマ中で生じるカソードスパッタリングを利用した薄膜作製に関しての実験を行った。つまり、全反射蛍光X線分析法では試料を平坦基板上に捕集する必要があるが、グロー放電プラズマ中のスパッタリングにより金属試料を原子化し、基板上に薄膜化としてサンプリングするシステムを開発した。放電条件(放電電圧、電流、ガス圧など)や試料(金属)にもよるが、数分程度の放電により平坦な薄膜試料が得られた。表面の凹凸は走査トンネル顕微鏡により直接観察した。その結果、数10nmの凹凸であることが分かった。このようにして作製した試料を全反射蛍光X線分析装置で測定し、十分な分析が可能となることが確認された。この研究成果はTXRF2003国際会議でポスター発表した。 Y.Matsuoka, M.Nakata, K.Tsuji,"Development of directly sampling method of solid materials for total-reflection x-ray fluorescence",10th Conference on Total Reflection X-Ray Fluorescence Analysis and Related Methods (TXRF2003),Awaji, Japan,14-19,Sep.,2003(poster). 現在、発光分析用のシステムの立ち上げ、および、微小放電管の試作などを行っている。
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Research Products
(7 results)
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[Publications] Z.Spolnik, K.Tsuji, etc.: "Quantitative analysis of metallic ultra-thin films by grazing-exit electron probe x-ray microanalysis"X-Ray Spectrometry. 31. 178-183 (2002)
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[Publications] Z.Spolnik, K.Tsuji, etc.: "Grazing-exit electron probe x-ray microanalysis of ultra-thin films and single particles"Anal.Chim.Acta. 455. 245-252 (2002)
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[Publications] K.Tsuji, K.Saito, etc.: "Localized Thin-Film Analysis by Grazing-Exit EPMA (GE-EPMA)"Spectrochim.Acta.B. 57. 897-906 (2002)
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[Publications] K.Tsuji, F.Delalieux: "Micro x-ray fluorescence using a pinhole aperture in quasi-contact mode"J.Anal.At.Spectrom.. 17. 1405-1407 (2002)
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[Publications] J.Injuk, K.Tsuji, etc.: "Airborne particles in the Miyagi Museum of Art in Sendai, Japan, Studied by Electron Probe X-Ray Microanalysis"Anal.Sci.. 18. 561-566 (2002)
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[Publications] K.Tsuji, K.Wagatsuma: "Enhancement of TXRF Intensity by Using Reflector"X-Ray Spectrom. 31. 358-362 (2002)
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[Publications] 辻 幸一(分担執筆): "新訂版・表面科学の基礎と応用"日本表面科学会編(印刷中).