原子直視観察HAADF-STEM法によるSiGe中の自己拡散と点欠陥反応の研究

2003 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 15760005
• Research Institution: Nagoya University
• Principal Investigator: 山崎 順 名古屋大学, 理工科学総合研究センター, 助手 (40335071)
• Keywords: SiGe / 面欠陥 / 積層欠陥 / HAADF-STEM / 点欠陥 / 自己拡散

Research Abstract

まず本年度の前半は、良質の実験画像を得られるために必須と考えられる、試料前処理(汚染物除去、等)のプロセスの確立を目指し、かなりの改善を得ることに成功した。その成果に基づき、本研究課題の目的の一つであるSiGe膜中(111)積層欠陥のHAADF-STEM像を得ることに成功した。この積層欠陥の構造を原子レベルで直視したのは世界初である。理論的に予測されている構造との比較も踏まえ、剛体球モデルできる構造とほとんど同じであることが確認された。また、欠陥面における原子コラムの強度に偏りが見られることを発見した。これはGe原子が入り込みやすい原子サイトの存在を示唆するものであり、SiGe中での自己格子間原子の拡散および反応挙動に関しての重要な情報・知見が得られる可能性がある。この点に関しては計算機シミュレーションとの比較による詳細な検討が必要と考えられ、現在遂行中である。

Research Products

• [Publications] Jun Yamasaki: "Direct observation of a stacking fault in Si_<1-x>Ge_x semiconductors by spherical aberration corrected TEM and conventional ADF-STEM"Journal of Electron Microscopy. 53(印刷中). (2004)
• [Publications] Jun Yamasaki: "Three-dimensional analysis of platinum super crystals by TEM and HAA DF-STEM"Philosophical Magazine. 未定(印刷中). (2004)
• [Publications] Nobuo Tanaka: "First observation of In_xGa_<1-x>As quantum dots in GaP by spherical-aberration corrected HRTEM in comparison with ADF-STEM and conventional HRTEM"Microscopy and Microanalysis. 10. 1-7 (2004)
• [Publications] Nobuo Tanaka: "HAADF-STEM and EELS of nano-granular Co-Al-O aloys"Scripta Materialia. 48. 909-914 (2004)
• [Publications] 山崎 順: "半導体/金属界面ナノ構造のHRTEM/EELS複合解析"名古屋大学電子光学研究のあゆみ. 19. 4-9 (2003)