2003 Fiscal Year Annual Research Report

大気圧放電プラズマを用いたフルオロカーボンの分解および無害化

Research Project

Project/Area Number	15760200
Research Institution	Saga University
Principal Investigator	林信哉佐賀大学, 理工学部, 講師 (40295019)
Keywords	フルオロカーボン処理 / 大気圧放電プラズマ / FTIR・発光分光法 / CF_4分解率・CF_4分解副生成物 / 再資源化 / 放電パラメータ / 電子エネルギー計測 / プローブ計測
Research Abstract	1.CF_4分解副生成物の同定放電プラズマによりCF_4処理を行う際に,希釈ガスとしてAr,N_2および空気を導入し,発生する副生成物の種類をFTIRおよび発光分光法を用いて同定した.その結果,放電領域ではCF,CF_2,N等のラジカルやイオンのみが観測されたが,放電リアクタから大気へ放出される排ガス中は主にCOF_2,CHF_3,C_2F_6等の安定な分子性ガスから構成されることが分かった.特にCOF_2は次世代のエッチングガスとされており,回収することにより再資源化可能である. 2.放電パラメータとCF_4分解率および副生成物発生量との相関大気圧沿面放電のパラメータとCF_4分解率および副生成物発生量との相関を調べた結果,CF_4分解率は電極印加電圧にほぼ比例して増加し,サンプルガス流量の増加とともに減少する.副生成物発生量は電極印加電圧に顕著に依存し,電圧とともに二次関数的に増加する領域があることが分かった.これは,沿面放電より発生する熱がCF_4の分解に寄与したものと考えられる.また,CF_4分解効率(CF_4分解量/消費電力)は最大で0.6g/kWh(95%分解時)となり,現在実用化されている分解技術と同レベルである. 3.大気圧プラズマの電子エネルギー計測法の設計および電子密度測定大気圧プラズマ中の電子のエネルギーを把握するために,差動排気型のエネルギーアナライザーを設計した.エネルギーアナライザー本体は直径5mm,高さ3mmとし,アナライザー内部は粒子が無衝突となる0.01Pa以下に排気する.また,大気中でのラングミュアプローブ特性を計測し,電子密度の導出を試みた.

Research Products

(3 results)

All Other

All Publications (3 results)

[Publications] Nobuya Hayashi: "Treatment of fluorocarbon using low pressure glow discharge plasma"Proceeding of XXVI International Conference on Phenomena in Ionized Gases. Vol.3(発表予定)(印刷中). (2003)
[Publications] 林信哉: "Characteristics of Fluorocarbon Decomposition Using Nonthermal Plasma Produced by Barrier Discharge"Advances ire Applied Plasma Science. Vol.4. 289-294 (2003)
[Publications] 林信哉: "Treatment of Per Fluorocarbon Using Nonthermal Plasma Produced by Barrier discharge"Bulletin of American Physical Society. Vol.48, No.6. 70 (2003)

2003 Fiscal Year Annual Research Report

大気圧放電プラズマを用いたフルオロカーボンの分解および無害化

Principal Investigator

林 信哉 佐賀大学, 理工学部, 講師 (40295019)

Research Products

[Publications] Nobuya Hayashi: "Treatment of fluorocarbon using low pressure glow discharge plasma"Proceeding of XXVI International Conference on Phenomena in Ionized Gases. Vol.3(発表予定)(印刷中). (2003)

[Publications] 林 信哉: "Characteristics of Fluorocarbon Decomposition Using Nonthermal Plasma Produced by Barrier Discharge"Advances ire Applied Plasma Science. Vol.4. 289-294 (2003)

[Publications] 林 信哉: "Treatment of Per Fluorocarbon Using Nonthermal Plasma Produced by Barrier discharge"Bulletin of American Physical Society. Vol.48, No.6. 70 (2003)

林信哉佐賀大学, 理工学部, 講師 (40295019)

[Publications] 林信哉: "Characteristics of Fluorocarbon Decomposition Using Nonthermal Plasma Produced by Barrier Discharge"Advances ire Applied Plasma Science. Vol.4. 289-294 (2003)

[Publications] 林信哉: "Treatment of Per Fluorocarbon Using Nonthermal Plasma Produced by Barrier discharge"Bulletin of American Physical Society. Vol.48, No.6. 70 (2003)