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2018 Fiscal Year Annual Research Report

Development of localized light-controlled cell-in-microfactories for the production of composite microparticle functional structures

Research Project

Project/Area Number 15H02214
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

高橋 哲  東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (30283724)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 高増 潔  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 (70154896)
道畑 正岐  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (70588855)
Project Period (FY) 2015-04-01 – 2019-03-31
Keywordsマイクロファクトリ / ナノマイクロ加工
Outline of Annual Research Achievements

光エネルギーが本来有している遠隔制御性・並列処理性・多重情報伝搬性と対象物体との相互作用で局在生成される近接場フォトンの能動的作用・受動的応答を利用して,数マイクロメートル程度の精密機能部品・デバイスを自律的に製造可能な数mm~数10mmスケールの超小型工場(セルインマイクロファクトリ)コンセプトの実現を目指す.具体的には化学的アプローチでは困難な多種マイクロ粒子複合による多機能マイクロデバイス(複合マイクロ粒子機能構造体)生産を実現する動的局在光場並列制御型セルインマクロファクトリの開発を目的とする.本年度の具体的な研究実績を羅列すると以下のようになる.
(30-1) 前年度に確認された界面近接光波を用いた,フレキシブル部品搬送ライン構築について,さらに理論的・実験的解析を進めた.その結果,前年度までに構築した無限遠補正型顕微光学インプロセスユニットにより,粒子が順に自律的に一列に並んだ状態でレーザーの伝搬方向に数10um /s程度で移動する部品搬送ラインを構築可能であることが分かった.これは,遠隔からのビーム位置制御により,動的にフレキシブルなライン設定を可能にするものである.
(30-2)上述のフレキシブル部品搬送ラインにおいては,外乱により,粒子ずれが発生しても,そこでラインが破綻するわけではなく,そのずれを追いかけるように,下流粒子が追従し,その後,外乱前のラインに順に戻っていく,自動修復現象が,新たに観察された.FDTD法による近接電磁場解析から,この自動修復メカニズムを明らかにした.
(30-3)各種要素技術開発ならびに,物理メカニズム解析,複合マイクロ粒子構造体生産実験を通して,目的としていた,複合マイクロ粒子機能構造体を生産可能な局在光制御セルインマイクロファクトリの実現が可能であることを実証した.

Research Progress Status

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (18 results)

All 2019 2018

All Journal Article (6 results) (of which Peer Reviewed: 6 results,  Open Access: 2 results) Presentation (12 results) (of which Int'l Joint Research: 7 results)

  • [Journal Article] In-process measurement for cure depth control of nano stereolithography using evanescent light2019

    • Author(s)
      S. Takahashi, D. Kong, M. Michihata, K. Takamasu
    • Journal Title

      CIRP Annals - Manufacturing Technology

      Volume: 68 Pages: 527-530

    • DOI

      https://doi.org/10.1016/j.cirp.2019.04.072

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Fabrication of nano/micro dual-periodic structures by multi-beam evanescent wave interference lithography using spatial beats2019

    • Author(s)
      Shuzo Masui, Yuki Torii, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • Journal Title

      Optics Express

      Volume: 27 (22) Pages: 31522

    • DOI

      https://doi.org/10.1364/OE.27.031522

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Modified Linnik microscopic interferometry for quantitative depth evaluation of diffraction-limited microgroove2018

    • Author(s)
      Shiwei Ye, Satoru Takahashi, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu
    • Journal Title

      Measurement Science and Technology

      Volume: 29 (5) Pages: 54011 1-9

    • DOI

      https://doi.org/10.1088/1361-6501/aab008

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] In-Process Measurement of Thickness of Cured Resin in Evanescent-Wave-Based Nano-stereolithography Using Critical Angle Reflection2018

    • Author(s)
      Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • Journal Title

      Nanomanufacturing and Metrology

      Volume: 1 Pages: 1:112-124

    • DOI

      https://doi.org/10.1007/s41871-018-0013-z

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] In-process Measurement of Gradient Boundary of Resin in Evanescent-wave-based Nano-stereolithography using Reflection Interference near Critical Angle2018

    • Author(s)
      Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • Journal Title

      Journal of Photopolymer Science and Technology

      Volume: 31(3) Pages: 441-446

    • DOI

      https://doi.org/10.2494/photopolymer.31.441

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] One- shot stereolithography for biomimetic micro hemisphere covered with relief structure2018

    • Author(s)
      Yuki Suzuki, Kunikazu Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • Journal Title

      Precision Engineering

      Volume: 54 Pages: 353-360

    • DOI

      https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2018.07.004

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Fabrication of dual-periodic nanostructures with multi-exposure interference lithography using Lloyd’s mirror2019

    • Author(s)
      S. Masui, M. Michihata, K. Takamasu, S. Takahashi
    • Organizer
      8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology(ASPEN2019)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Fabrication of nano-and micro-structured surface using spatial beat of evanescent wave interference lithography2019

    • Author(s)
      Shuzo Masui, Masaki, Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahash
    • Organizer
      Proceedings of the 19th international conference of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen 2019)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Improvement of quantitative depth evaluation for diffraction-limited microgroove using LED light source2018

    • Author(s)
      Ye Shiwei, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • Organizer
      XXII World Congress of the International Measurement Confederation (IMEKO 2018)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] In-Process Measurement of Resin’s Curing Degree in Micro-Stereolithography Using Internal Reflection at Critical Angle2018

    • Author(s)
      D. Kong, M. Michihata, K. Takamasu, S. Takahashi
    • Organizer
      XXII World Congress of the International Measurement Confederation (IMEKO 2018)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Investigation of super-resolution microscopy by use of a nano-patterned substrate2018

    • Author(s)
      Ryoko Sakuma, Hiromasa Kume, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • Organizer
      17th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2018)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Basic Study on Cell-in-Microfactory System with Localized Light Control - Analysis on handling performance of microparticles based on near-surface light wave -2018

    • Author(s)
      Seiko Furuya, Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • Organizer
      17th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2018)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Fabrication of Functional Subwavelength Structured Surface Using Evanescent Wave Interference Lithography2018

    • Author(s)
      Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Toshihiko Shibanuma, Hironao Tanaka, Satoru Takahashi
    • Organizer
      17th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2018)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究(第3報)-FDTD法によるマイクロ粒子の整理駆動現象の解明-2018

    • Author(s)
      古谷成康,増井周造,道畑正岐,高増潔,高橋哲
    • Organizer
      2018 年度精密工学会秋季大会学術講演会,函館,2018
  • [Presentation] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究(第 3 報)一FDTD 法によるマイクロ粒子の整理駆動現象の解明一2018

    • Author(s)
      古谷成康,増井周造,道畑正岐,高増潔,高橋哲
    • Organizer
      2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • [Presentation] エバネッセント光多方位干渉造形法による次世代表面機能構造の創製(第 3 報)一うなりによる干渉強度分布の変調特性検討一2018

    • Author(s)
      増井周造,道畑正岐,高増潔,高橋哲
    • Organizer
      2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • [Presentation] 臨界角照明を用いたナノ光造形硬化樹脂のインプロセス計測(基本原理の検証)2018

    • Author(s)
      道畑正岐,孔徳卿,高増潔,高橋哲
    • Organizer
      日本機械学会 2018年度年次大会
  • [Presentation] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究(第 4 報)一定在波制御によるマイクロ粒子整列・搬送に関する研究一2018

    • Author(s)
      藤原和,増井周造,道畑正岐,高増潔,高橋哲
    • Organizer
      2019年度精密工学会春季大会学術講演会

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Published: 2021-01-27  

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