2017 Fiscal Year Annual Research Report
Development of Semiconductor Microring Resonator-Based Polarization Switch
| Project/Area Number |
15H03577
|
|---|
| Research Institution | Yokohama National University |
|---|
Principal Investigator |
荒川 太郎 横浜国立大学, 大学院工学研究院, 准教授 (40293170)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
國分 泰雄 横浜国立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (60134839)
|
|---|
| Project Period (FY) |
2015-04-01 – 2018-03-31
|
| Keywords | 光スイッチ / 偏光スイッチ / 微小共振器 / 電気光学効果 |
|---|
| Outline of Annual Research Achievements |
本研究は，マイクロリング共振器と大きな電界誘起屈折率変化特性を有する半導体ポテンシャル制御量子井戸を融合した，小型・高速動作のマイクロリング偏光スイッチを提案し，その有用性を実証することを目的としている．
昨年度は，偏波制御の自由度を高めるため，ポテンシャル制御量子井戸をコア層とした偏波変調器用ダブルマイクロリング位相変調器を提案した．今年度は，さらに偏波制御性を高めるため，新しい構造を有するストークスベクトル変調器の提案を行った．ストークスベクトル変調器の基本要素として，ダブルリング位相変調器，マッハ・ツェンダー光強度スイッチ，TE/TMコンバータ，偏光コンバイナを新たに設計し，その実現可能性を示した．
ストークスベクトル変調器に必要な位相変調量を得るためのダブルマイクロリング共振器位相変調器を新たに設計し，通常の直線導波路位相変調器と比較して５倍の位相変化量の増大が可能であることを理論的に明らかにした．
素子作製技術の確立を昨年度に引続き行った．オール電子ビーム露光を用いた導波路，電極パターニングを試みているが，レジストパターンの面内均一性に問題があり，上部電極のリフトオフプロセスに不具合，および導波路パターンの狭窄化の問題が生じた．前者については，用いるレジストの変更，ダミーパターン配置によるパターン密度の均一性の向上を図り解決した．後者については，近接効果補正を用いて改善を行った．その結果，作製プロセスを確立するまでに至った．
|
| Research Progress Status |
29年度が最終年度であるため、記入しない。
|
| Strategy for Future Research Activity |
29年度が最終年度であるため、記入しない。
|
