2018 Fiscal Year Annual Research Report
Development of next generation acoustic resonance microscope which can measure sound velocity and thickness of thin film simultaneously
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15H03889
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| Research Institution | Tokyo Denki University |
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Principal Investigator |
松谷 巌 東京電機大学, 理工学部, 准教授 (00514465)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
大沼 清 長岡技術科学大学, 工学研究科, 准教授 (50396834)
桑原 敬司 長岡技術科学大学, 工学研究科, 准教授 (50525574)
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| Project Period (FY) |
2015-04-01 – 2019-03-31
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| Keywords | 音響共鳴現象 / 超音波パルスエコー / 膜厚 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
前々年度途中にパルスレーザが故障したため、期間延長を申請し新しいパルスレーザを購入して新しい実験系を構築した。音響共鳴現象の発現には水中計測における空気の層が必要である。そこで、非常に小さな領域に対して泡を付ける技術について検討した。半球レンズに対してパルスレーザを打ち込み、全反射させてエバネッセント光を励起する。その浸透深さは100数十nmである。このため、ボールレンズ上面に水を配置したとき、非常に浅い領域に対して局所的な加熱と蒸発および泡を発生させることができる。光線追跡によって複合光学系において焦点位置を確定した。また、ナイフエッジ法によってレーザ光の絞り込みを最適化した。
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| Research Progress Status |
平成30年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
平成30年度が最終年度であるため、記入しない。
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