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2018 Fiscal Year Annual Research Report

Diamond NEMS logic for extrem environments

Research Project

Project/Area Number 15H03999
Research InstitutionNational Institute for Materials Science

Principal Investigator

廖 梅勇  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 機能性材料研究拠点, 主幹研究員 (70528950)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 戸田 雅也  東北大学, 工学研究科, 准教授 (40509890)
小出 康夫  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 技術開発・共用部門, 部門長 (70195650)
Project Period (FY) 2015-04-01 – 2019-03-31
Keywordsダイヤモンド / MEMS / Q値
Outline of Annual Research Achievements

従来のシリコンMEMSは、半導体電気伝導を利用しているため、エネルギー損失が大きい、品質因子が低い(~1000)、機械的、電気的、化学的および熱的な安定性が悪い、センサの感度と分解能が低い、という欠点を有しています。ダイヤモンドは5.5 eVの広いバンドギャップを有し、物質中で最高の機械性能、最大の熱伝導率・耐熱性等の優れた物性を持つため、究極のMEMS材料として注目され、既存の材料をはるかに凌ぐ通常環境から極限環境まで広く利用が期待されています。
ダイヤモンドMEMS/NEMSにとって、微細加工技術とデバイスコンセプトのイノベーションは最も重要な課題です。従来の多結晶ダイヤモンドを用いたMEMSデバイスの報告もありますが、機械性能、安定性および再現性はあまり良くないのが現状です。従って、高信頼性・高性能なMEMS/NEMSを実現するために、「単結晶」ダイヤモンドを用いた可動構造体の作製技術を開発し、独創的なデバイスコンセプトに基づいて研究開発をすることが重要です。
一般に、MEMSを幅広に応用するためには高Q値機械共振子の作製が不可欠です。Q値は機械共振子の最も基本的な性能指数であり、NEMSスイッチの作動電圧などを決定する。本研究は、スマートカットを用いて、ダイヤモンド機械共振子を開発した。2014年、その機械共振子のQ値を決めるエネルギー散逸機構も解明し、続いて2017年に、マイクロ波プラズマ気相成長法によってダイヤモンド薄膜の成長プロセスを改善して、Q値10000程度を持つダイヤモンドカンチレバーを作製するプロセスを開発しました。今年度、原子スケールエッチング技術を組み合わせることで、ダイヤモンドカンチレバーの結晶欠陥を取り除き、50万以上の超高Q値を持つダイヤモンド機械共振子の開発に成功しました。

Research Progress Status

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (17 results)

All 2019 2018

All Journal Article (6 results) (of which Peer Reviewed: 5 results) Presentation (7 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results,  Invited: 4 results) Book (2 results) Patent(Industrial Property Rights) (2 results)

  • [Journal Article] Energy‐Efficient Metal?Insulator?Metal‐Semiconductor Field‐Effect Transistors Based on 2D Carrier Gases2019

    • Author(s)
      Liao Meiyong、Sang Liwen、Shimaoka Takehiro、Imura Masataka、Koizumi Satoshi、Koide Yasuo
    • Journal Title

      Advanced Electronic Materials

      Volume: 5 Pages: 1800832~1800832

    • DOI

      10.1002/aelm.201800832

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Ultrahigh Performance On-Chip Single Crystal Diamond NEMS/MEMS with Electrically Tailored Self-Sensing Enhancing Actuation2018

    • Author(s)
      Liao Meiyong、Sang Liwen、Teraji Tokuyuki、Koizumi Satoshi、Koide Yasuo
    • Journal Title

      Advanced Materials Technologies

      Volume: 4 Pages: 1800325~1800325

    • DOI

      10.1002/admt.201800325

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Pico-thermogravimetric material properties analysis using diamond cantilever beam2018

    • Author(s)
      Voiculescu Ioana、Liao Meiyong、Zakerin Marjan、Berger R?diger、Ono Takahito、Toda Masaya
    • Journal Title

      Sensors and Actuators A: Physical

      Volume: 271 Pages: 356~363

    • DOI

      10.1016/j.sna.2018.01.004

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Reducing intrinsic energy dissipation in diamond-on-diamond mechanical resonators toward one million quality factor2018

    • Author(s)
      Wu Haihua、Sang Liwen、Li Yumeng、Teraji Tokuyuki、Li Tiefu、Imura Masataka、You Jianqiang、Koide Yasuo、Toda Masaya、Liao Meiyong
    • Journal Title

      Physical Review Materials

      Volume: 2 Pages: 090601R

    • DOI

      10.1103/physrevmaterials.2.090601

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] A density functional study of the effect of hydrogen on electronic properties and band discontinuity at anatase TiO2/diamond interface2018

    • Author(s)
      Wu Kongping、Liao Meiyong、Sang Liwen、Liu Jiangwei、Imura Masataka、Ye Haitao、Koide Yasuo
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 123 Pages: 161599~161599

    • DOI

      10.1063/1.5002176

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 単結晶ダイヤモンドMEMSデバイスの研究2018

    • Author(s)
      廖 梅勇, 井村 将隆, サン リウエン, 寺地 徳之, 小泉 聡, 小出 康夫
    • Journal Title

      NEW DIAMOND FORUM

      Volume: 34 Pages: 12-16

  • [Presentation] Semiconductor diamond electronics, photonics and electro mechanics2018

    • Author(s)
      廖 梅勇
    • Organizer
      2018 Asia Conference on Nanoscience and Nanotechnology
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] 超高品質因子を持つ単結晶ダイヤモンドMEMS共振子2018

    • Author(s)
      廖 梅勇, ウ ハイファ, サン リウエン, 井村 将隆, 寺地 徳之, 小出 康夫
    • Organizer
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] High-quality diamond epitaxial layer growth and electron devices application2018

    • Author(s)
      5.KOIDE, Yasuo, LIU, Jiangwei, IMURA, Masataka, LIAO, Meiyong
    • Organizer
      SSDM
    • Invited
  • [Presentation] Single crystal diamond MEMS: Concpet, Fabrication, and Applications2018

    • Author(s)
      LIAO, Meiyong, KOIDE, Yasuo
    • Organizer
      International Conference on Expanding Frontiers of Carbon MEMS. 2018
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Ultrahigh Quality factor diamond MEMS resonator2018

    • Author(s)
      廖 梅勇 ウ ハイファ サン リウエン 寺地 徳之 井村 将隆 小出 康夫
    • Organizer
      The 6th French Japanese workshop on diamond power devices
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 超高品質因子を持つダイヤモンドカンチレバーおよび センシング機能を一体化した単結晶ダイヤモンドMEMSセンサチップ2018

    • Author(s)
      廖 梅勇
    • Organizer
      ナノ茶論第10回セミナー
    • Invited
  • [Presentation] 超高品質因子ダイヤモンド機械共振子に向ける固有エネルギー損失の低減2018

    • Author(s)
      廖 梅勇,Haihua Wu,Liwen Sang,寺地徳之,井村将隆,小出康夫
    • Organizer
      第32回ダイヤモンドシンポジウム
  • [Book] Ultra-wide Bandgap Semiconductor Materials2019

    • Author(s)
      Liao Meiyong, Shen Bo, Wang Zhanguo
    • Total Pages
      475
    • Publisher
      Elsevier
    • ISBN
      9780128154687
  • [Book] Single Crystal Diamond Micromechanical and Nanomechanical Resonators in Novel Aspects of Diamond2019

    • Author(s)
      Liao Meiyong, Koide Yasuo, Sang Liwen
    • Total Pages
      524
    • Publisher
      Springer
    • ISBN
      978-3-030-12469-4
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 半導体装置、パワーデバイスおよび制御用電子装置2019

    • Inventor(s)
      リャオ メイヨン/サン リウエン/小泉 聡/小出 康夫
    • Industrial Property Rights Holder
      国立研究開発法人物質・材料研究機構
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2019-057963
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 電子素子、温度センサー、磁気センサー、振動センサーおよび加速度センサー2018

    • Inventor(s)
      リャオ メイヨン/小出 康夫
    • Industrial Property Rights Holder
      国立研究開発法人物質・材料研究機構
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2018-200133

URL: 

Published: 2019-12-27  

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