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2015 Fiscal Year Annual Research Report

ワン・ストップ超平滑研磨能を有する有機/無機コアシェル型弾性球状投射材の開発

Research Project

Project/Area Number 15H04137
Research InstitutionKumamoto Industrial Research Institute

Principal Investigator

永岡 昭二  熊本県産業技術センター(ものづくり室、材料・地域資源室、食品加工室), その他部局等, 研究主幹 (10227994)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 伊原 博隆  熊本大学, 自然科学研究科, 教授 (10151648)
堀川 真希  熊本県産業技術センター(ものづくり室、材料・地域資源室、食品加工室), その他部局等, 研究主任 (50588465)
龍 直哉  熊本県産業技術センター(ものづくり室、材料・地域資源室、食品加工室), その他部局等, 研究主任 (90743641)
城崎 智洋  熊本県産業技術センター(ものづくり室、材料・地域資源室、食品加工室), その他部局等, 研究主任 (70554054)
Project Period (FY) 2015-04-01 – 2018-03-31
Keywords表面・界面物性 / 複合粒子 / 研磨材 / 有機/無機複合粒子 / 精密研磨
Outline of Annual Research Achievements

シリコンウエハなどの硬質基板の表面研磨加工は,スライス後、固定砥粒や遊離砥粒によるラッピング・ポリッシングプロセスにより、ナノ以下まで平滑化するが,ブラスト技術を用いてウエハを平滑化した報告例はない。申請者らは、①シェルが硬質無機材料で、コアがポリマー材料で構成されたコアシェル粒子の調製を検討し、②粒子物性のキャラクタリゼーション、表面硬度の制御および弾力性の制御・最適化を行う。③シリコンウエハなどの硬い材料の表面にコアシェル粒子を衝突→滑走させながら、研削→研磨を同時(One-Stop)に行う新規投射材料の開発を目指した。
①球状粒子:水系粘性媒体中で、ポリブタジエンの有機溶液の液滴を形成させ、加熱しながら、溶媒を蒸発させることにより、球状粒子を得た。②有機/無機コアシェル:チオール基を導入した無機微粒子を粒子表面に接触させ、エン-チオール反応により、固定化した。チオール化合物を用いて、1) 粒子化した後、チオール化合物を導入した無機粒子を固定化する方法、2) チオール化合物をポリブタジエンに導入しながら、粒子化する方法、3)チオール化合物を無機物に導入して、それをOne Potで粒子化する方法を行った。1)の方法で、ブラスト効果を試したところ、良好な結果が得られた。しかしながら、60回までは、耐久性があるものの、それ以上になると耐久性がないことがわかり、以上、2)、3)と検討を行い、粒子化を再度、調査することとした。その結果、3)の方法により、チオール化合物の導入量により、表面分散型、内包型の制御が可能となった。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

チオール化合物を用いて、1) 粒子化した後、チオール化合物を導入した無機粒子を固定化する方法、2) チオール化合物をポリブタジエンに導入しながら、粒子化する方法、3)チオール化合物を無機物に導入して、それをOne Potで粒子化する方法を行った。1)の方法で、ブラスト効果を試したところ、良好な結果が得られた。しかしながら、60回までは、耐久性があるものの、それ以上になると耐久性がないことがわかり、以上、2)、3)と粒子化を再度検討することとした。3)の方法により、チオール化合物の導入量により、表面分散型、内包型の制御が可能となった。企業2社との共同研究に発展している関係から、知財関係で、発表が多少、遅れることが考えられる。

Strategy for Future Research Activity

企業2社との共同研究に発展しており、ブラスト機能の確認と耐久性の確認を行う。特許出願は、昨年度、実施することができ、発表は、公開時まで、遅らせる必要があるが、産学官連携で実施する。
また、今回、熊本地震により、建屋への半壊等により、X線関係の機器類、熱天秤等の利用に支障が出ているため、研究に遅れが出てくることが予想される。今後、産総研つくばセンターや共同研究先の企業2社と連携して、研究の遅れを補完する必要性が出てくることが予想される。

  • Research Products

    (2 results)

All 2016 2015

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results,  Acknowledgement Compliant: 1 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Journal Article] RSC Advances2016

    • Author(s)
      Shoji Nagaoka, Takuma Jodai, Yoshihiro Kameyam, Maki Horikawa,Tomohiro Shirosaki, Naoya Ryu, Makoto Takafuji, Hideo Sakurai, and Hirotaka Ihara
    • Journal Title

      Cellulose/boron nitride core-shell microbeads providing high thermal conductivity for thermally conductive composite sheets

      Volume: 6 Pages: 33036-33042

    • DOI

      10.1039/C6RA02950G

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 複合粒子およびその製造方法2015

    • Inventor(s)
      永岡昭二、三好明子、堀川真希、城崎智洋、龍直哉、高藤誠、伊原博隆
    • Industrial Property Rights Holder
      熊本県、熊本大学
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2015-91179
    • Filing Date
      2015-04-28

URL: 

Published: 2017-01-06  

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