2017 Fiscal Year Annual Research Report
Development of imprinting process with laser-machining
Project/Area Number |
15H04161
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Research Institution | Kyushu University |
Principal Investigator |
津守 不二夫 九州大学, 工学研究院, 准教授 (10343237)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
河野 正道 九州大学, 工学研究院, 教授 (50311634)
中島 裕典 九州大学, 工学研究院, 助教 (70432862)
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Project Period (FY) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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Keywords | 微細パターニング / セラミックス / インプリントプロセス / ホットエンボス / 燃料電池 / SOFC |
Outline of Annual Research Achievements |
本研究では,従来法において「樹脂材料に対し」「2次元パターンを転写」するだけであったインプリントプロセスの改良を目的としている.最終的には新たな燃料電池開発につなげる目標を立てた.具体的なプロセスは,セラミックコンパウンドシートへの成形加工,および,犠牲層となる樹脂へのレーザ加工プロセスを複合したものである.昨年度まで,コンパウンド材料の変形特性の把握と成形性への影響の評価,さらなる流路の微細化,流路のリークテスト,までを行った.また,最終年度にはレーザ加工プロセスパラメータの最適化を行い,燃料電池の設計も実施した. 今年度の最も大きな成果は,流路の3次元的な変形制御を行うための多層成形材の変形特性評価である.レーザ加工を施した犠牲層が成形体中でどのように変形するか,ということであるが,ここでは犠牲層は完全に各層の変形に「ならって」変形するものと考える.こう考えると,多層インプリントの層間界面の変形と犠牲層の変形パターンは一致したものと考えることができる.層間を明示するために,酸化鉄ナノ粒子の分散液を塗布・乾燥し,マーカとすることにより,観察が容易となった.この方法は犠牲層を実際に用いるよりも簡便であり実験効率も高い.この方法によりアルミナコンパウンドシートの成形実験を行った.結果として,相似形状であれば相似的な変形パターンが得られること,すなわち,犠牲層を用いた場合も相似的な流路が得られることが確認された.また,コンパウンドシートは変形速度依存性(粘性的項)が存在するため,加工速度を変更することにより,界面パターンが変化することも確認できた.
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Research Progress Status |
29年度が最終年度であるため、記入しない。
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Strategy for Future Research Activity |
29年度が最終年度であるため、記入しない。
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Research Products
(11 results)