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2016 Fiscal Year Annual Research Report

オンチップ光配線のための超低消費電力半導体薄膜光回路の構築

Research Project

Project/Area Number 15H05763
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

荒井 滋久  東京工業大学, 科学技術創成研究院, 教授 (30151137)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 松尾 慎治  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, ナノフォトニクスセンタ, 上席特別研究員 (00590473)
硴塚 孝明  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, ナノフォトニクスセンタ, 主任研究員 (20522345)
西山 伸彦  東京工業大学, 工学院, 准教授 (80447531)
雨宮 智宏  東京工業大学, 科学技術創成研究院, 助教 (80551275)
Project Period (FY) 2015-05-29 – 2019-03-31
Keywords光デバイス / 光回路 / 半導体薄膜光デバイス / 低消費電力光デバイス / 光配線
Outline of Annual Research Achievements

本研究は、将来的なCMOS基板上高速光通信の実現に向けて、研究代表者が提案してきた極低消費電力動作可能な薄膜半導体レーザを中心とする薄膜光回路の構築を目的としており、具体的には、(1) 小型・低消費電力・高効率を達成しうるレーザ、光検出器、導波路の設計の明確化と実現、(2) 要素デバイスをつなぎ合わせたシリコン基板上光集積回路の実現と低消費電力伝送の実証、および(3) CMOS基板上への光回路集積方法、接続方法の確立と基本的な信号伝送の実現を目指している。平成28年度では、前項で掲げた3つの研究目標の中で(1)および(2)に注力した。
(1)については、まず薄膜レーザの低電流・高効率動作を目的として、分布反射型構造の導入を行うと共に、これまでに実現してきた薄膜DFBレーザの特性上の問題点の要因解明に注力した。特に、DBR回折格子の調整とp-InPキャップ層の不純物濃度の低減に加えて、p-InPサイドクラッド層の不純物濃度の低減を行った結果、DFB領域長32 µm、DBR領域長50 µmの素子において、しきい値電流0.21 mA(しきい値電流密度820A/cm2)、前方外部微分量子効率32%、微分抵抗880 Ωが得られ、低しきい値電流かつ高い外部微分量子効率を両立することに成功した。
また、薄膜受光器に関しては、小型化・高感度化を目的として、スローライト構造の導入を提案し、素子長および周波数帯域について理論解析を行った。その結果、8列以上の空孔列があれば散乱損失が十分に抑えられ、素子長は5.5 µmまで短縮可能であることが分かった。
(2)については、各素子単体の低電流・高効率動作に加えて、実際に「半導体薄膜レーザ」「光導波路」および「PIN型薄膜受光器」を集積した光リンクを作製し、3dB帯域11.3 GHzと伝送速度10 Gbit/sでの信号伝送を得ることに成功した。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

オンチップ光配線用光源には、低消費電力動作が要求され、許容されるエネルギーとして100 fJ/bit以下という試算がなされている。これは、「10Gbps動作時において消費電力は1mW以下」という要求に相当する。さらに、GaInAs PINフォトダイオードの10 Gbps信号に対するビット誤り率10のマイナス9乗以下となる最小平均受信感度を-13 dBm(0.05 mW)、素子間のリンクロスを5 dBと仮定すると、光源の光出力は0.16 mW以上が要求される。
本研究では、その要求を満たす光源として、従来の薄膜DFBレーザの後方に分布ブラッグ反射鏡(DBR)を集積した薄膜分布反射型レーザを提案し、室温連続動作を実現した。DFB領域長32 µm、DBR領域長50 µmの素子において、しきい値電流210 µA、前端面側光出力に対する外部微分量子効率32%、それに対する最大電力変換効率12%という従来にない低しきい値電流動作かつ高効率動作を実現した。バイアス電流1 mA時に15 Gbit/sの高速変調可能性変調時のエネルギーコスト128 fJ/bitが得られており、当初目標に迫る動作を実現した。
また、スローライト効果を用いた超小型フォトニック結晶型薄膜受光器の設計も併せて行い、群速度約35のフォトニック結晶導波路構造を用いることで, 5.5 µm以下の吸収長で1550 nm帯の光に対して90%以上の吸収効率が得られることを明らかにした。
最後に、半導体薄膜DFBレーザとPIN-受光器との集積を実現した。作製した光リンク全体の小信号応答を測定した結果、3dB帯域11.3 GHzが得られた。緩和振動周波数から求めたレーザの変調効率は7.2 GHz/mA1/2であった。10 Gbit/s、NRZ信号を光リンクで伝送し、適当なアイ開口とBER = 6 × 10のマイナス7乗を得た。

Strategy for Future Research Activity

10-100 fJ/bitという要求電力に応えるためには、光配線において必要とされる各種素子の性能向上が必須となる。例えば、「光源」においては消費電力の低減が、「光伝送路」については低損失化が、「受光器」については受光感度の向上が必要不可欠となる。現在までに前者二つは要求仕様を満たすことに成功しており、受光器こそが実用化へ向けて最後に残った課題となっている。平成29年度の前半においては、分担者の松尾慎治・硴塚孝明(NTT)、雨宮智宏(東工大)が、それぞれ別のアプローチで半導体薄膜受光器の作製・評価を行い、それらの結果から最終的に採用する構造を決定する予定である。
平成29年度半ばより、全ての素子の集積化を行う。まず、光源の薄膜DRレーザおよび伝送路については、従来と同じ構造をベースとしたものを使用する。薄膜受光器は、前述のとおりNTTおよび東工大の2グループが作製した素子から特性に優れるものを採用する。測定が多チャンネルとなるため、現有するプローブステーションの改造や測定装置を購入する予定である。測定はまず静特性を中心に評価する。特に集積化によって回路内の迷光や反射戻り光によってレーザ特性が劣化、フォトダイオードが正しい信号を受光できない可能性があり、相対強度雑音等の雑音特性も含めて測定する予定である。雑音特性の劣化が見られた際は、結合部の設計、再成長条件やデバイス配置の再検討を行う。
平成29年度から30年度にかけて、徐々に測定を動特性の評価中心に移していく。エネルギーコストの観点からの検討を行い最終的には10 Gbps以上の速度で30 fJ/bit以下のエネルギーコストを有するシリコン基板上光回路を実現することを目標として進める。また、最終年度の平成30年度にはCMOS回路基板上の光回路形成を目指し、メンブレン構造とSOI基板を貫通孔で接続するTSVの研究を行う。

  • Research Products

    (72 results)

All 2017 2016 Other

All Journal Article (16 results) (of which Peer Reviewed: 11 results,  Acknowledgement Compliant: 11 results,  Open Access: 3 results) Presentation (53 results) (of which Int'l Joint Research: 22 results,  Invited: 7 results) Remarks (1 results) Patent(Industrial Property Rights) (2 results) (of which Overseas: 1 results)

  • [Journal Article] Optically-driven Terahertz Wave ModulaT.sing Ring-shaped Microstripline with GaInAs Photoconductive Mesa Structure2017

    • Author(s)
      S. Yamasaki, A. Yasui, T. Amemiya, K. Furusawa, S. Hara, I. Watanabe, A. Kanno, N. Sekine, Z. Gu, N. Nishiyama, A. Kasamatsu, S. Arai
    • Journal Title

      IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics

      Volume: 23 Pages: 3400408

    • DOI

      10.1109/JSTQE.2017.2662660

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Analysis of Plasmonic Phase Modulator with Furan-Thiophene Chromatophore Electro-Optic Polymer2017

    • Author(s)
      N. Hojo, T. Amemiya, K. Itoh, Z. Gu, C. Yamada, T. Yamada, J. Suzuki, Y. Hayashi, N. Nishiyama, A. Otomo, S. Arai
    • Journal Title

      Applied Optics

      Volume: 56 Pages: 2053-2059

    • DOI

      10.1364/AO.56.002053

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] 90 °C continuous-wave operation of GaInAsP/InP membrane distributed-reflector laser on Si substrate2017

    • Author(s)
      T. Hiratani, D. Inoue, T. Tomiyasu, K. Fukuda, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • Journal Title

      Applied Physics Express

      Volume: 10 Pages: 032702

    • DOI

      10.7567/APEX.10.032702

    • Peer Reviewed / Open Access / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Amorphous-Si waveguide on a garnet magneto-optical isolator with a TE mode nonreciprocal phase shift2017

    • Author(s)
      E. Ishida, K. Miura, Y. Shoji, H. Yokoi, T. Mizumoto, N. Nishiyama, S. Arai
    • Journal Title

      Optics Express

      Volume: 25 Pages: 452-462

    • DOI

      10.7567/JJAP.55.088002

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Study of Slow-light-enhanced Membrane Photodetector for Realizing On-chip Interconnection with Low Power Consumption2017

    • Author(s)
      Z. Gu, T. Hiratani, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • Journal Title

      Journal of Optical Society of America B

      Volume: 34 Pages: 440-446

    • DOI

      10.1364/JOSAB.34.000440

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Preliminary Reliability Test of Lateral-current-injection GaInAsP/InP Membrane Distributed-feedback Laser on Si Substrate Fabricated by Adhesive Wafer Bonding2017

    • Author(s)
      K. Fukuda, D. Inoue, T. Hiratani, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 56 Pages: 028002

    • DOI

      10.7567/JJAP.56.028002

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] 有機薄膜光集積回路2017

    • Author(s)
      雨宮 智宏, 金澤 徹, 平谷 拓生, 荒井 滋久, 浦上 達宣
    • Journal Title

      月刊OPTRONICS

      Volume: 423 Pages: 103-113

    • Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Low-bias Current 10 Gbit/s Direct Modulation of GaInAsP/InP Membrane DFB Laser on Silicon2016

    • Author(s)
      D. Inoue, T. Hiratani, K. Fukuda, T. Tomiyasu, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • Journal Title

      Optics Express

      Volume: 24 Pages: 18571-18579

    • DOI

      10.1364/OE.24.018571

    • Peer Reviewed / Open Access / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Magneto-optical switch with amorphous silicon waveguides on magneto-optical garnet2016

    • Author(s)
      E. Ishida, K. Miura, Y. Shoji, T. Mizumoto, N. Nishiyama, S. Arai
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 55 Pages: 088002

    • DOI

      10.7567/JJAP.55.088002

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] GaInAsP/SOI Hybrid Laser with Ring-resonator-type Reflector Fabricated by N2 Plasma Activated Bonding2016

    • Author(s)
      Y. Hayashi, J. Suzuki, S. Inoue, S. T. Hasan, Y. Kuno, K. Itoh, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 55 Pages: 082701

    • DOI

      10.7567/JJAP.55.082701

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Crystalline/Amorphous Si Integrated Optical Couplers for 2D/3D Interconnection2016

    • Author(s)
      K. Itoh, Y. Kuno, Y. Hayashi, J. Suzuki, N. Hojo, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
    • Journal Title

      IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics

      Volume: 22 Pages: 255-263

    • DOI

      10.1364/OE.24.018571

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Improvement in the current-gain of a 1.3-µm npn-AlGaInAs/InP transistor laser using a thin p-GaInAsP base layer2016

    • Author(s)
      T. Kaneko, T. Yoshida, S. Tadano, N. Nishiyama, S. Arai
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 55 Pages: 070301

    • DOI

      10.7567/JJAP.55.070301

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] 光学迷彩とメタマテリアルフィルム2016

    • Author(s)
      雨宮 智宏, 金澤 徹, 平谷 拓生, 西山 伸彦, 荒井 滋久, 浦上 達宣, 田中 拓男, 石川 篤
    • Journal Title

      光技術コンタクト

      Volume: 54 Pages: 27-36

  • [Journal Article] 「透明人間」と非対称光学迷彩2016

    • Author(s)
      雨宮 智宏, 荒井 滋久
    • Journal Title

      月刊パリティ

      Volume: 31 Pages: 12-17

  • [Journal Article] InP半導体薄膜構造による1.55µm帯レーザーの低しきい値・高速動作2016

    • Author(s)
      西山 伸彦, 荒井 滋久, 平谷 拓生, 井上 大輔, 雨宮 智宏
    • Journal Title

      レーザー研究

      Volume: 44 Pages: 508-513

    • Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] 光学迷彩とメタマテリアル2016

    • Author(s)
      雨宮 智宏, 荒井 滋久
    • Journal Title

      応用物理

      Volume: 86 Pages: 501-506

    • Acknowledgement Compliant
  • [Presentation] 高効率動作化に向けた半導体薄膜レーザの導波路損失低減2017

    • Author(s)
      冨安 高弘
    • Organizer
      電子情報通信学会 2017年総合大会
    • Place of Presentation
      名古屋
    • Year and Date
      2017-03-22 – 2017-03-25
  • [Presentation] 1.3μm帯npn-AlGaInAs/InPトランジスタレーザの電圧変調動作に向けたGaInAsP吸収層組成の検討2017

    • Author(s)
      山中健太郎
    • Organizer
      電子情報通信学会 2017年総合大会
    • Place of Presentation
      名古屋
    • Year and Date
      2017-03-22 – 2017-03-25
  • [Presentation] Novel a-Si on Garnet Nonreciprocal Phase Shift Optical Isolator with TE Mode Operataion2017

    • Author(s)
      Eiichi Ishida
    • Organizer
      The Optical Fiber Communication Conference and Exhibition (OFC 2017)
    • Place of Presentation
      San Diego, USA
    • Year and Date
      2017-03-19 – 2017-03-23
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] メタマテリアル光バッファのスローライト解析2017

    • Author(s)
      山﨑 理司
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      横浜
    • Year and Date
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [Presentation] Si基板上薄膜分布反射型レーザの温度依存性2017

    • Author(s)
      平谷 拓生
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      横浜
    • Year and Date
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [Presentation] ブラッグ波長デチューニングによるGaInAsP/InP薄膜DFBレーザのしきい値電流の温度依存性2017

    • Author(s)
      福田 快
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      横浜
    • Year and Date
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [Presentation] 低微分抵抗を有するGaInAsP/InP半導体薄膜DRレーザ2017

    • Author(s)
      中村 なぎさ
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      横浜
    • Year and Date
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [Presentation] メタマテリアルフィルムを用いた近赤外光学迷彩の理論解析2017

    • Author(s)
      雨宮 智宏
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      横浜
    • Year and Date
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [Presentation] p-GaInAsPベース層バンドギャップ低減による1.3-μm帯npn-AlGaInAs/InPトランジスタレーザの電流増幅率の向上2017

    • Author(s)
      吉冨 翔一
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      横浜
    • Year and Date
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [Presentation] III-V/Si Low Temperature Direct Bonding Technology for Photonic Device Integration on SOI2017

    • Author(s)
      Nobuhiko Nishiyama
    • Organizer
      Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM 2017)
    • Place of Presentation
      Toyama, Japan
    • Year and Date
      2017-02-28 – 2017-03-02
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Si基板上オンチップ光配線に向けたInP系メンブレン光検出器の設計2017

    • Author(s)
      顧 シチン
    • Organizer
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス研究会(OPE)
    • Place of Presentation
      伊勢
    • Year and Date
      2017-01-18 – 2017-01-19
  • [Presentation] 光回路とプラズモニックメタマテリアル2017

    • Author(s)
      雨宮 智宏
    • Organizer
      第37回レーザー学会年次大会
    • Place of Presentation
      徳島
    • Year and Date
      2017-01-07 – 2017-01-09
    • Invited
  • [Presentation] High Efficiency Lasing Characteristics of Membrane Distributed-Reflector Lasers2016

    • Author(s)
      Takuo Hiratani
    • Organizer
      6th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC 2016)
    • Place of Presentation
      Tokyo, Japan
    • Year and Date
      2016-11-28 – 2016-11-29
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Bandwidth Analysis of Lateral-current-injection Membrane DFB Laser by Impedance Measurements2016

    • Author(s)
      Tatsuya Uryu
    • Organizer
      6th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC 2016)
    • Place of Presentation
      Tokyo, Japan
    • Year and Date
      2016-11-28 – 2016-11-29
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] An Investigation on the Waveguide Loss Reduction of Membrane Lasers2016

    • Author(s)
      Takahiro Tomiyasu
    • Organizer
      6th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC 2016)
    • Place of Presentation
      Tokyo, Japan
    • Year and Date
      2016-11-28 – 2016-11-29
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Monolithically Integrated 10 Gbit/s Optical Link on Si using Membrane DFB Laser and PIN-Photodiode2016

    • Author(s)
      Daisuke Inoue
    • Organizer
      6th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC 2016)
    • Place of Presentation
      Tokyo, Japan
    • Year and Date
      2016-11-28 – 2016-11-29
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Room-temperature Continuous-wave Operation of GaInAsP/SOI Hybrid Laser Fabricated by N2 Plasma Activated Bonding2016

    • Author(s)
      Yusuke Hayashi
    • Organizer
      6th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC 2016)
    • Place of Presentation
      Tokyo, Japan
    • Year and Date
      2016-11-28 – 2016-11-29
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Lasing Operation of GaInAsP/SOI Hybrid Laser with AlInAs-Oxide Confinement Structure2016

    • Author(s)
      Junichi Suzuki
    • Organizer
      6th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC 2016)
    • Place of Presentation
      Tokyo, Japan
    • Year and Date
      2016-11-28 – 2016-11-29
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Design of a III-V/Si Multi-Section Taper Mode Coupler towards High Efficiency Operation of III-V/Si Active Devices2016

    • Author(s)
      Satoshi Inoue
    • Organizer
      6th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC 2016)
    • Place of Presentation
      Tokyo, Japan
    • Year and Date
      2016-11-28 – 2016-11-29
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 半導体薄膜分布反射型レーザの高効率動作化に向けた検討2016

    • Author(s)
      冨安 高弘
    • Organizer
      電子情報通信学会 レーザ・量子エレクトロニクス研究会(LQE)
    • Place of Presentation
      宮崎
    • Year and Date
      2016-10-27 – 2016-10-28
  • [Presentation] 窒素プラズマ活性化貼付法で作製したGaInAsP/SOIハイブリッドレーザの発振特性向上2016

    • Author(s)
      林 侑介
    • Organizer
      電子情報通信学会 レーザ・量子エレクトロニクス研究会(LQE)
    • Place of Presentation
      宮崎
    • Year and Date
      2016-10-27 – 2016-10-28
  • [Presentation] 金属テーパ構造を用いたEOポリマー小型プラズモン光変調器の構造検討2016

    • Author(s)
      北條 直也
    • Organizer
      電子情報通信学会 レーザ・量子エレクトロニクス研究会(LQE)
    • Place of Presentation
      宮崎
    • Year and Date
      2016-10-27 – 2016-10-28
  • [Presentation] 集積型半導体 光-THz信号変換素子 ~ 光通信とTHz無線通信のシームレスな接続に向けて ~2016

    • Author(s)
      山﨑 理司
    • Organizer
      電子情報通信学会 レーザ・量子エレクトロニクス研究会(LQE)
    • Place of Presentation
      宮崎
    • Year and Date
      2016-10-27 – 2016-10-28
  • [Presentation] 10 Gbit/s Data Transmission through Optical Link by Using Membrane DFB Laser and PIN-PD2016

    • Author(s)
      Daisuke Inoue
    • Organizer
      2016 IEEE Photonics Conference (IPC-2016)
    • Place of Presentation
      Hawaii, USA
    • Year and Date
      2016-10-02 – 2016-10-06
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Double Taper Interlayer Transition Coupler for 3D Optical Interconnection with Heterogeneous Material Stacking2016

    • Author(s)
      Kazuto Itoh
    • Organizer
      48th International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016)
    • Place of Presentation
      Tsukuba, Japan
    • Year and Date
      2016-09-26 – 2016-09-29
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 多層光回路に向けたダブルテーパ型層間結合器の設計2016

    • Author(s)
      伊東 憲人
    • Organizer
      電子情報通信学会 2016年ソサイエティ大会
    • Place of Presentation
      札幌
    • Year and Date
      2016-09-20 – 2016-09-23
  • [Presentation] 薄膜DFBレーザとPIN-フォトダイオードを集積した10 Gbit/s光リンク2016

    • Author(s)
      井上 大輔
    • Organizer
      電子情報通信学会 2016年ソサイエティ大会
    • Place of Presentation
      札幌
    • Year and Date
      2016-09-20 – 2016-09-23
  • [Presentation] インピーダンス測定による半導体薄膜DFBレーザの帯域解析2016

    • Author(s)
      瓜生 達也
    • Organizer
      電子情報通信学会 2016年ソサイエティ大会
    • Place of Presentation
      札幌
    • Year and Date
      2016-09-20 – 2016-09-23
  • [Presentation] 窒素プラズマ活性化接合法で作製したGaInAsP/SOIハイブリッドレーザの室温連続発振動作2016

    • Author(s)
      林 侑介
    • Organizer
      電子情報通信学会 2016年ソサイエティ大会
    • Place of Presentation
      札幌
    • Year and Date
      2016-09-20 – 2016-09-23
  • [Presentation] III-V/Siハイブリッドデバイスの高効率動作に向けたハイブリッド領域/シリコン領域テーパ接続構造の検討2016

    • Author(s)
      井上 慧史
    • Organizer
      電子情報通信学会 2016年ソサイエティ大会
    • Place of Presentation
      札幌
    • Year and Date
      2016-09-20 – 2016-09-23
  • [Presentation] 半導体薄膜レーザの導波路損失低減に向けた検討2016

    • Author(s)
      冨安 高弘
    • Organizer
      電子情報通信学会 2016年ソサイエティ大会
    • Place of Presentation
      札幌
    • Year and Date
      2016-09-20 – 2016-09-23
  • [Presentation] 薄膜分布反射型レーザの高効率動作の実現2016

    • Author(s)
      平谷 拓生
    • Organizer
      電子情報通信学会 2016年ソサイエティ大会
    • Place of Presentation
      札幌
    • Year and Date
      2016-09-20 – 2016-09-23
  • [Presentation] メタマテリアルによる将来のフォトニクス技術2016

    • Author(s)
      雨宮 智宏
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      新潟
    • Year and Date
      2016-09-13 – 2016-09-16
    • Invited
  • [Presentation] 光-THz信号直接変換素子の周波数応答の測定2016

    • Author(s)
      山﨑 理司
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      新潟
    • Year and Date
      2016-09-13 – 2016-09-16
  • [Presentation] メタマテリアルを用いたSi 導波路型光バッファの提案2016

    • Author(s)
      雨宮 智宏
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      新潟
    • Year and Date
      2016-09-13 – 2016-09-16
  • [Presentation] 有機薄膜光集積回路:各素子の特性解析2016

    • Author(s)
      雨宮 智宏
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      新潟
    • Year and Date
      2016-09-13 – 2016-09-16
  • [Presentation] スローライト効果を用いた半導体薄膜光検出器の周波数帯域の検討2016

    • Author(s)
      顧 シチン
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      新潟
    • Year and Date
      2016-09-13 – 2016-09-16
  • [Presentation] In-plane Semiconductor Membrane Lasers for Photonic Integrated Circuits2016

    • Author(s)
      Shigehisa Arai
    • Organizer
      The 25th IEEE International Semiconductor Laser Conference (ISLC 2016) (Plenary talk)
    • Place of Presentation
      Kobe, Japan
    • Year and Date
      2016-09-12 – 2016-09-15
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] High Asymmetric Light Output Characteristics of Membrane Distributed-Reflector Laser on Si Substrate2016

    • Author(s)
      Takuo Hiratani
    • Organizer
      The 25th IEEE International Semiconductor Laser Conference (ISLC 2016)
    • Place of Presentation
      Kobe, Japan
    • Year and Date
      2016-09-12 – 2016-09-15
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Impedance Analysis of High-speed Lateral-current-injection Membrane DFB Laser on Silicon2016

    • Author(s)
      Daisuke Inoue
    • Organizer
      The 25th IEEE International Semiconductor Laser Conference (ISLC 2016)
    • Place of Presentation
      Kobe, Japan
    • Year and Date
      2016-09-12 – 2016-09-15
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] AlInAs酸化狭窄構造を有するGaInAsP/SOIハイブリッドFPレーザの作製2016

    • Author(s)
      鈴木 純一
    • Organizer
      電子情報通信学会 レーザ・量子エレクトロニクス研究会(LQE)
    • Place of Presentation
      函館
    • Year and Date
      2016-08-25 – 2016-08-26
  • [Presentation] Vertical Trident Coupler for 3D Optical Interconnection2016

    • Author(s)
      Kazuto Itoh
    • Organizer
      13th International Conference on Group IV Photonics (GFP 2016)
    • Place of Presentation
      Shanghai, China
    • Year and Date
      2016-08-24 – 2016-08-26
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Permeability Engineering in Optical Communication Devices2016

    • Author(s)
      Tomohiro Amemiya
    • Organizer
      The First A3 Metamaterials Forum
    • Place of Presentation
      Sendai, Japan
    • Year and Date
      2016-07-05 – 2016-07-07
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Membrane Distributed-reflector Lasers2016

    • Author(s)
      Shigehisa Arai
    • Organizer
      The 21st Opto Electronics and Communications Conference (OECC 2016)
    • Place of Presentation
      Niigata, Japan
    • Year and Date
      2016-07-03 – 2016-07-07
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] 10 Gbps Operation of Membrane DFB Laser on Silicon with Record High Modulation Efficiency2016

    • Author(s)
      Daisuke Inoue
    • Organizer
      Compound Semiconductor Week 2016: 28th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IPRM 2016)
    • Place of Presentation
      Toyama, Japan
    • Year and Date
      2016-06-26 – 2016-06-30
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] GaInAsP/SOI Hybrid Laser with AlInAs-oxide Confinement StructureFabricated by Plasma Activated Bonding2016

    • Author(s)
      Junichi Suzuki
    • Organizer
      Compound Semiconductor Week 2016: 28th International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IPRM 2016)
    • Place of Presentation
      Toyama, Japan
    • Year and Date
      2016-06-26 – 2016-06-30
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 光メタマテリアル ~通信デバイス、光学迷彩への応用~2016

    • Author(s)
      雨宮 智宏
    • Organizer
      2016年度 第1回光材料・応用技術研究会
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2016-06-24
  • [Presentation] GaInAsP/InP Membrane Lasers2016

    • Author(s)
      Shigehisa Arai
    • Organizer
      The Conference on Lasers and Electro-Optics 2016 (CLEO 2016)
    • Place of Presentation
      San Jose, USA
    • Year and Date
      2016-06-05 – 2016-06-10
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Metafilm: Metamaterial Array Embedded in Organic Thin Film2016

    • Author(s)
      Tomohiro Amemiya
    • Organizer
      The Conference on Lasers and Electro-Optics 2016 (CLEO 2016)
    • Place of Presentation
      San Jose, USA
    • Year and Date
      2016-06-05 – 2016-06-10
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Waveguide Optical-to-THz Signal Converter using Ring-shaped Microstripline2016

    • Author(s)
      Satoshi Yamasaki
    • Organizer
      The Conference on Lasers and Electro-Optics 2016 (CLEO 2016)
    • Place of Presentation
      San Jose, USA
    • Year and Date
      2016-06-05 – 2016-06-10
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 有機薄膜光集積回路2016

    • Author(s)
      雨宮 智宏
    • Organizer
      電子情報通信学会 レーザ・量子エレクトロニクス研究会(LQE)
    • Place of Presentation
      福井
    • Year and Date
      2016-05-19 – 2016-05-20
  • [Presentation] 1.3 μm 帯 npn-AlGaInAs/InP トランジスタレーザにおける発振波長のコレクタ-ベース電圧依存性2016

    • Author(s)
      山中健太郎
    • Organizer
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス(OPE)研究会
    • Place of Presentation
      熱海
    • Year and Date
      2016-04-21 – 2016-04-22
  • [Presentation] 半導体集積型光-THz信号直接変換素子2016

    • Author(s)
      山﨑理司
    • Organizer
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス(OPE)研究会
    • Place of Presentation
      熱海
    • Year and Date
      2016-04-21 – 2016-04-22
  • [Remarks] 荒井・西山研究室ホームページ

    • URL

      http://www.pe.titech.ac.jp/AraiLab/

  • [Patent(Industrial Property Rights)] Organic Membrane Photonic Integrated Circuits2016

    • Inventor(s)
      T. Amemiya, T. Kanazawa, S. Arai
    • Industrial Property Rights Holder
      東京工業大学
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      PCT/JP2017/001076
    • Filing Date
      2016-07-29
    • Overseas
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 光バッファ素子構造、その製造方法、およびその解析方法2016

    • Inventor(s)
      雨宮智宏, 庄司雄哉, 荒井滋久, 他
    • Industrial Property Rights Holder
      東京工業大学
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      特願2016-164148
    • Filing Date
      2016-07-29

URL: 

Published: 2018-01-16  

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