2015 Fiscal Year Research-status Report
高速・広角度走査可能な機械振動式MEMS指向性アンテナの研究
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15K06092
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| Research Institution | Ritsumeikan University |
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Principal Investigator |
古塚 岐 立命館大学, 総合科学技術研究機構, 教授 (90555608)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
鈴木 健一郎 立命館大学, 理工学部, 教授 (70388122)
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| Project Period (FY) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| Keywords | MEMS / アクチュエータ / 八木宇田アンテナ / 静電気力 / 走査角度 / 共振周波数 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
鋭い指向性を持つ八木・宇田アンテナを機械的に高速かつ広角度に走査することを可能にする、共振現象を利用したMEMSアクチュエータの設計・試作を行った。
設計：櫛歯電極に発生する静電気力によって回転駆動されるMEMSアクチュエータは、ぜんまい型サスペンションを採用することによりリング枠の形状変化を低く抑えて広角度走査ができるように工夫されている。また、このMEMSアクチュエータの上に作製されたアンテナ支持棒は多くの八木・宇田アンテナ導波器をこの上に搭載することができるため、鋭い指向性をもつアンテナを実現することを可能にする。設計したMEMSアクチュエータは1324Hzの共振周波数をもち±40度の広い角度にアンテナビームを走査できるものである。
作製：SOI基板を利用した両面のシリコンエッチング加工によってアクチュエータを作製した。試作したデバイスの評価を行った結果、設計通りの共振周波数をもって駆動していることが確認できた。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
設計および作製を行い、駆動を確認できた。
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| Strategy for Future Research Activity |
試作したMEMSアクチュエータの駆動評価を実施して、MEMSアクチュエータの構造最適化と高速化などに役立てる予定である。また、導波器をアクチュエータに搭載したアンテナの設計、作製、および評価を実施する。
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| Causes of Carryover |
物品を購入する際に差額が発生して少額の予算が余ったので次年度に使用することにした。
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| Expenditure Plan for Carryover Budget |
平成28年度と合わせて物品費として今年度に使用する。
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Research Products
(7 results)
