2016 Fiscal Year Annual Research Report
Real time measurements of atomic insulator surface structure using low energy atom scattering spectroscopy
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15K13365
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| Research Institution | Osaka Prefecture University |
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Principal Investigator |
梅澤 憲司 大阪府立大学, 公私立大学の部局等, 教授 (80213487)
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| Project Period (FY) |
2015-04-01 – 2017-03-31
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| Keywords | 原子散乱 / 表面 / 絶縁体 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
平成28年度は、低速原子散乱装置の試料ホルダー部分の改良を行った。従来、試料交換をするためには、試料ホルダーを含むマニュピュレーター全体を超高真空チェンバーから外す作業をしなければならなかった。つまりマニュピュレータと超高真空チェンバーをつなぐボルトとナットをすべて外して、いったん大気にしなければならなかった。その後に試料を交換し、再度、マニュピュレータを超高真空チェンバーとをボルト、ナットによりつなぎ、真空ポンプで真空を引き、約150℃の温度で超高真空チェンバーを約2日間ベイキングし、ベイキング終了後に冷却作業及びガス出し作業をするという一連の工程であった。この工程を遂行するのに要する期間は、3－4日間を要した。この期間を短縮して試料交換ができるようにするために物品等を購入した。購入物品は、LLチェンバー（Load Lock チェンバー）とその付属品であった。超高真空チェンバーとは、別にLLチェンバーを設けた。LLチェンバーは、直径約150mm、長さ340mmの円筒形を基本形状としている。この基本形状にLLチェンバー内部を見るための窓等がつけられている。試料は、ロードロックで交換する仕組みとなっている。最初に超高真空チェンバーから試料をLLチェンバーへ移動させる。移動にロードロックを利用する。その後、LLチェンバー内部から試料を取り出し、新しい試料をLLチェンバーに取り付け、ロードロックにより試料を超高真空チェンバーへ移動させる。ただし、試料交換の際において微妙な位置調整をするためのxy-ステージを購入することはできなかったため、試料交換に30分ほどを要するが、従前と比較すると相当な時間短縮ができることとなった。これにより絶縁体試料表面の原子イメージマッピングがしやすくなった。
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Research Products
(4 results)
