結晶構造を制御した金合金めっきによるナノG検出法の開拓

2015 Fiscal Year Research-status Report

• Project/Area Number: 15K17453
• Research Institution: Tokyo Institute of Technology
• Principal Investigator: 山根 大輔 東京工業大学, 精密工学研究所, 助教 (70634096)
• Project Period (FY): 2015-04-01 – 2018-03-31
• Keywords: 金 / 金合金 / ナノ結晶 / 電解金めっき / パルス金めっき / 加速度 / MEMS / カンチレバー

Outline of Annual Research Achievements

具体的内容：当初計画に示した（１）ナノ結晶化によるAu／Au合金の高強度・高密度化の基礎検討，（２）Au加速度検出デバイスの基礎検討について，それぞれ以下を実施した。
（１）について，電解金めっきで作製したAu積層構造の角柱，および，パルス電解金めっきで作製したAu角柱について降伏強度を測定し，両者とも純金の公称値より約3～4倍も高い降伏強度が得られた。来年度は各角柱サンプルの金粒径と機械強度の理論的な考察も進める予定である。本研究成果はH27年度に国際学会や国内学会で発表しており，国際原著論文も受理された。
（２）に関して，AuカンチレバーとAu加速度検出デバイスを電解金めっきで作製し，デバイスの構造安定性と加速度検出性能を評価した。Auカンチレバーについてレーザ顕微鏡観察を用いて形状安定評価を行った結果，長さ・幅・厚みを調整することで形状安定性を向上できることを実験的に示した。また，有限要素法を用いた形状シミュレーション結果と実験結果の整合性も確認した。Au加速度検出デバイス評価では，ノイズ性能を実験的に評価し，従来のSi加速度センサよりも低い機械ノイズ性能を実証した。さらに振動試験機を用いてデバイスに加速度を印加し，1mG（G：重力加速度）以下の加速度も静電容量変化で検出可能であることを示した。耐衝撃試験では，実際に20Gの加速度を印加した後でもデバイスが機械的故障なく動作することを確認した。本研究成果はH27年度に国際学会や国内学会で発表しており，国際原著論文も受理された。
意義・重要性：本研究成果より，電解金めっきで作製したAu構造体は純金構造体よりも高い機械強度を有することが分かった。さらに，デバイス寸法パラメータを制御することで，形状安定性も向上できることを示した。これにより，金構造体のMEMSデバイス応用，特に加速度検出デバイスへの適用について実現見通しを得た。

Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

当初予定の本年度目標到達点は，（１）慣性分解能1μG以下（大気封止時）を有するAu加速度検出デバイスの実現見通しを得ること，そして，（２）ナノ結晶を利用したAu／Au合金の高強度化の実現見通しを得ることである。
目標（１）について，電解金めっきを用いて作製したAu加速度検出デバイスの機械雑音を50nG/Hz^1/2以下（大気封止時）まで低減した。これにより，Auを微小可動構造体に用いることで，慣性分解能1μG以下の実現見通しを得た。したがって，当初予定した目標到達点に達した。Au合金を用いなくても本年度の目標性能に到達したことは，当初予定より大幅に進展した結果である。デバイス構造の最適化による錘質量の増大や粘性係数の調整，さらにAu合金の検討は来年度以降の検討課題とする。
目標（２）に関しては，ナノ結晶化した金めっき構造体が純金構造体よりも高い降伏強度を有することを実験的に示した。当初研究計画では，通常の電解金めっきで用いる添加剤が結晶微細化と欠陥除去を困難にすると予想しており，パルス電解金めっきなどを代替プロセスとして検討していた。そのため本年度では，通常の電解めっきのみならず，パルス電解金めっきも検討した結果，パルス電解金めっきで作製した金構造体も純金より高い降伏強度を示した。以上の実験結果より，当初予定した目標到達点に達した。金のナノ結晶サイズと機械強度の関係についての理論解析は来年度以降の検討課題とする。

Strategy for Future Research Activity

今後の研究の推進方策は，（１）Au加速度検出デバイス，そして（２）ナノ結晶化によるAu構造体の機械強度向上について以下に述べる。
（１）について，当初計画通り，今後は慣性分解能0.1μG以下（大気封止時）のAu加速度検出デバイスの実現見通しを得ることを目指す。デバイスは電解金めっきを用いて作製する。当初予定ではAu合金を利用することで錘密度20g/cm^3以上を目標値としていたが，これまでの研究成果により，Au単体でもデバイス機械雑音の大幅な低減が見込めることが分かった。したがって，錘密度については特に目標値を定めず，慣性分解能の目標値を達成するためにデバイス構造最適化を実施する。
（２）に関して，今後はナノ結晶の最適化を進めることで，当初予定の降伏強度1GPa以上の実現見通しを得ることを目指す。H27年度に引き続き，通常の電解金めっきとパルス電解金めっきを用いて目標達成を目指す。マイクロ機械構造の評価素子については，これまで用いた角柱サンプルやカンチレバーに加え，ブリッジ型なども利用することで，加速度検出デバイスに必要な機械特性評価を進める。また，降伏強度評価以外にも，ヤング率などの評価も行い，デバイス設計パラメータを実験的に求めることを目指す。ナノ結晶化の理論解析については，めっき金の粒径評価とともに構造体サイズ縮小から起こるサンプルサイズ効果も考慮して遂行する。構造体の寸法パラメータ調整による形状安定性についても，今後より多くの実験データを取得・解析し，デバイス設計の最適化に貢献する。当初予定ではAu単体とAu合金の評価を並行して行うことを検討していたが，Au加速度検出デバイスの性能が期待以上に向上しているため，Au単体の評価を優先して行うこととする。

Research Products

• [Journal Article] Pulse Electroplating of Ultra-Fine Grained Au Films with High Compressive Strength (2016)
  • Author(s): Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
  • Journal Title: Electrochemistry Communications Volume: 67 Pages: 51-54
  • DOI: https://doi.org/10.1016/j.elecom.2016.03.017
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] A 1-mG MEMS Sensor (2016)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Journal Title: ECS Transactions Volume: 72 Pages: 7-14
  • DOI: 10.1149/07203.0007ecst
  • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
• [Journal Article] Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layer Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers (2016)
  • Author(s): Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Journal Title: Microelectronics Engineering Volume: 159 Pages: 90-93
  • DOI: https://doi.org/10.1016/j.mee.2016.02.054
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] A Dual-Axis MEMS Capacitive Inertial Sensor with High-Density Proof Mass (2016)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Journal Title: Microsystem Technologies Volume: 22 Pages: 459-464
  • DOI: 10.1007/s00542-015-2539-y
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] A 0.1G-to-20G Integrated MEMS Inertial Sensor (2015)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Journal Title: Japanese Journal of Applied Physics Volume: 54 Pages: 1-4
  • DOI: 10.7567/JJAP.54.087202
  • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
• [Journal Article] A Sub-1G MEMS Sensor (2015)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Journal Title: ECS Transactions Volume: 66 Pages: 131-138
  • DOI: 10.1149/06605.0131ecst
  • Peer Reviewed
• [Presentation] High Strength Au film Fabricated by Advanced Electrochemical Technique in Supercritical CO2 Emulsified Electrolyte for MEMS Accelerometers (2016)
  • Author(s): Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
  • Organizer: 2nd International Conference and Expo on Separation Techniques
  • Place of Presentation: Valencia, Spain
  • Year and Date: 2016-09-26 – 2016-09-28
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] Electrodeposited Gold for Next Generation MEMS Accelerometer Toward Medical Applications (2016)
  • Author(s): Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
  • Organizer: Integrative Biology-2016
  • Place of Presentation: Berlin, Germany
  • Year and Date: 2016-07-18 – 2016-07-20
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] A Novel MEMS Inertial Sensor With Out-of-plane Differential Sensing Structure By Multi-layer Metal Technology (2016)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Hiroshi Toshiyohi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Organizer: Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016)
  • Place of Presentation: Kanazawa, Japan
  • Year and Date: 2016-06-26 – 2016-06-29
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] A 1-mG MEMS Sensor (2016)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Organizer: 229th ECS Meeting
  • Place of Presentation: San Diego, CA, USA
  • Year and Date: 2016-05-29 – 2016-06-03
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] Pulse Electroplating of Au Films with Ultra High Strength (2016)
  • Author(s): Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: 229th ECS Meeting
  • Place of Presentation: San Diego, CA, USA
  • Year and Date: 2016-05-29 – 2016-06-03
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Mechanical Characteristics of Structure Stability with Ti/Au Micro-Cantilevers Formed by Au Electroplating (2016)
  • Author(s): Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: ISE - Topical Meeting
  • Place of Presentation: Auckland, New Zealand
  • Year and Date: 2016-04-17 – 2016-04-20
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Study of Gold Electroplating by Constant and Pulse Current Method with Non-Cyanide Gold Sulfite Electrolyte (2016)
  • Author(s): Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: ISE - Topical Meeting
  • Place of Presentation: Auckland, New Zealand
  • Year and Date: 2016-04-17 – 2016-04-20
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Pulse Electroplating of Ultra-Fine Grained Au Films with High Strength for Micro-Electrical-Mechanical System Devices (2016)
  • Author(s): Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: ISE - Topical Meeting
  • Place of Presentation: Auckland, New Zealand
  • Year and Date: 2016-04-17 – 2016-04-20
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Preparation and Characterization of Gold Films by Electroplating with Supercritical Carbon Dioxide (2016)
  • Author(s): Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: ISE - Topical Meeting
  • Place of Presentation: Auckland, New Zealand
  • Year and Date: 2016-04-17 – 2016-04-20
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] A Design of Spring Constant Arranged for MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology (2016)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Organizer: IEEE NEMS 2016
  • Place of Presentation: Matsushima Bay and Sendai, Miyagi, Japan
  • Year and Date: 2016-04-17 – 2016-04-20
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Electroplated Gold Materials with Enhanced Mechanical Strength by Multi-Layered Struct (2016)
  • Author(s): Yota Ishizuka, Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: ISE - Topical Meeting
  • Place of Presentation: Auckland, New Zealand
  • Year and Date: 2016-04-17 – 2016-04-20
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] 積層メタル構造を用いた MEMS 加速度センサのストッパーのロバスト性検討 (2016)
  • Author(s): 小西敏文, 山根大輔, 佐布晃昭, 年吉 洋, 曽根正人, 益 一哉, 町田克之
  • Organizer: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • Place of Presentation: 東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
  • Year and Date: 2016-03-19 – 2016-03-22
• [Presentation] Sub-1G 検出へ向けた CMOS-MEMS 加速度センサの検討 (2016)
  • Author(s): 山根大輔, 小西敏文, 伊藤浩之, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之
  • Organizer: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • Place of Presentation: 東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
  • Year and Date: 2016-03-19 – 2016-03-22
• [Presentation] 電解金めっきで作製した Ti/Au 微小カンチレバーの構造安定性 (2016)
  • Author(s): 寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西敏文, 町田克之, 年吉 洋, 山根大輔, 益 一哉, 曽根 正人
  • Organizer: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • Place of Presentation: 東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
  • Year and Date: 2016-03-19 – 2016-03-22
• [Presentation] Application of Supercritical Carbon Dioxide in Electroplating of Gold Materials Used in MEMS Devices (2016)
  • Author(s): Haochun Tang,Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • Place of Presentation: 東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
  • Year and Date: 2016-03-19 – 2016-03-22
• [Presentation] マイクロ圧縮試験による金 / チタン積層構造の機械的特性評価 (2016)
  • Author(s): 石塚陽大, 柳田佐理, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西敏文, 町田克之, 年吉 洋, 山根大輔, 益 一哉, 曽根正人
  • Organizer: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • Place of Presentation: 東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
  • Year and Date: 2016-03-19 – 2016-03-22
• [Presentation] マイクロ曲げ試験による電析金薄膜の機械的特性評価 (2016)
  • Author(s): 浅野啓介, 唐 浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 町田克之, 益 一哉, 曽根正人
  • Organizer: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • Place of Presentation: 東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
  • Year and Date: 2016-03-19 – 2016-03-22
• [Presentation] マイクロ圧縮試験による MEMS 用金電気めっきの機械的特性の評価 (2016)
  • Author(s): 葭葉将治, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 町田克之, 益 一哉, 曽根正人
  • Organizer: 第63回応用物理学会春季学術講演会
  • Place of Presentation: 東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
  • Year and Date: 2016-03-19 – 2016-03-22
• [Presentation] CMOS低雑音オペアンプ設計法の検討 (2016)
  • Author(s): 劉安琪, 小西敏文, 山根大輔, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益 一哉
  • Organizer: 電子情報通信学会2016年総合大会
  • Place of Presentation: 九州大学伊都キャンパス、福岡県福岡市
  • Year and Date: 2016-03-15 – 2016-03-18
• [Presentation] Sub-1G検出へ向けた積層メタル3軸加速度センサの基礎検討 (2016)
  • Author(s): 山根大輔, 小西敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之
  • Organizer: 電子情報通信学会2016年総合大会
  • Place of Presentation: 九州大学伊都キャンパス、福岡県福岡市
  • Year and Date: 2016-03-15 – 2016-03-18
• [Presentation] A MEMS Inertia Sensor with Brownian Noise of Below 50 nG/Hz^1/2 by Multi-Layer Metal Technology (2016)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Organizer: IEEE Inertial Sensors 2016
  • Place of Presentation: Laguna Beach, California, USA
  • Year and Date: 2016-02-23 – 2016-02-25
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Micro-Mechanical Properties of Electrodeposited Gold Thin Films (2015)
  • Author(s): Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: TACT 2015 International Thin Films Conference
  • Place of Presentation: Tainan, Taiwan
  • Year and Date: 2015-11-15 – 2015-11-18
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] A Sub-1G CMOS-MEMS Accelerometer (2015)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Organizer: IEEE Sensors 2015
  • Place of Presentation: Busan, South Korea
  • Year and Date: 2015-11-01 – 2015-11-04
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価 (2015)
  • Author(s): 佐布晃昭, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 年吉 洋, 曽根正人, 益 一哉, 町田克之
  • Organizer: 第7回集積化MEMSシンポジウム
  • Place of Presentation: 新潟コンベンションセンター（朱鷺メッセ）、新潟県新潟市
  • Year and Date: 2015-10-28 – 2015-10-30
• [Presentation] マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS 加速度センサのためのゲイン制御センサ回路の検討 (2015)
  • Author(s): 小西敏文, 山根大輔, 高安基大, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 益 一哉, 年吉 洋, 町田克之
  • Organizer: 第7回集積化MEMSシンポジウム
  • Place of Presentation: 新潟コンベンションセンター（朱鷺メッセ）、新潟県新潟市
  • Year and Date: 2015-10-28 – 2015-10-30
• [Presentation] Sub-1G～20G集積化MEMS慣性センサ (2015)
  • Author(s): 山根大輔, 小西敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之
  • Organizer: 第7回集積化MEMSシンポジウム
  • Place of Presentation: 新潟コンベンションセンター（朱鷺メッセ）、新潟県新潟市
  • Year and Date: 2015-10-28 – 2015-10-30
• [Presentation] Robustness of Integrated Stoppers for MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layered Metal Technology (2015)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Motohiro Takayasu, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Organizer: 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015)
  • Place of Presentation: Sapporo, Japan
  • Year and Date: 2015-09-27 – 2015-09-30
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Study on Ti/Au Two-Layered Cantilevers with Different Aspect Ratio for MEMS Devices (2015)
  • Author(s): Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015)
  • Place of Presentation: Sapporo, Japan
  • Year and Date: 2015-09-27 – 2015-09-30
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Mechanical Properties of Electrodeposited Gold for MEMS Device (2015)
  • Author(s): Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015)
  • Place of Presentation: Sapporo, Japan
  • Year and Date: 2015-09-27 – 2015-09-30
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Novel Gain-Controlled Sensor Circuits Designed by Multi-physics Simulation for CMOS-MEMS Accelerometer (2015)
  • Author(s): Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida
  • Organizer: 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015)
  • Place of Presentation: Sapporo, Japan
  • Year and Date: 2015-09-27 – 2015-09-30
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layered Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers (2015)
  • Author(s): Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: 41st Micro and Nano Engineering (MNE2015)
  • Place of Presentation: Hague, Netherlands
  • Year and Date: 2015-09-21 – 2015-09-24
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] High Mechanical Strength Gold Micro-Components Fabricated by Pulse Electroplating (2015)
  • Author(s): Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: 41st Micro and Nano Engineering (MNE2015)
  • Place of Presentation: Hague, Netherlands
  • Year and Date: 2015-09-21 – 2015-09-24
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Sample Size Effect on Mechanical Properties of Electrodeposited Gold Evaluated by Micro-Compression Test (2015)
  • Author(s): Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tsu-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: 41st Micro and Nano Engineering (MNE2015)
  • Place of Presentation: Hague, Netherlands
  • Year and Date: 2015-09-21 – 2015-09-24
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] A Low Mechanical Noise Tri-axis MEMS Ineretial Sensor Fabricated by Multi-layered Metal Technology (2015)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Organizer: 41st Micro and Nano Engineering (MNE2015)
  • Place of Presentation: Hague, Netherlands
  • Year and Date: 2015-09-21 – 2015-09-24
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] A Study on Mechanical Structure of a MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layer Metal Technology (2015)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Masato Sone, Katsuyuki Machida
  • Organizer: 5th Advanced Metallization Conference Asian Session (ADMETAplus2015)
  • Place of Presentation: Seoul, Korea
  • Year and Date: 2015-09-16 – 2015-09-18
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Sub-1G～20G集積化MEMS加速度センサの基本評価 (2015)
  • Author(s): 山根大輔, 小西敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田克之
  • Organizer: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • Place of Presentation: 名古屋国際会議場 愛知県名古屋市
  • Year and Date: 2015-09-13 – 2015-09-16
• [Presentation] ゲイン制御型CMOS-MEMS加速度センサ回路の検討 (2015)
  • Author(s): 小西敏文, 山根大輔, 高安基大, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 益 一哉, 年吉 洋, 町田克之
  • Organizer: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • Place of Presentation: 名古屋国際会議場 愛知県名古屋市
  • Year and Date: 2015-09-13 – 2015-09-16
• [Presentation] MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価 (2015)
  • Author(s): 佐布晃昭, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 年吉 洋, 曽根正人, 益 一哉, 町田克之
  • Organizer: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • Place of Presentation: 名古屋国際会議場 愛知県名古屋市
  • Year and Date: 2015-09-13 – 2015-09-16
• [Presentation] A Study on Mechanical Structure of a MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layer Metal Technology (2015)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Masato Sone, Katsuyuki Machida
  • Organizer: 32nd Advanced Metallization Conference (AMC2015)
  • Place of Presentation: Austin, Texas, US
  • Year and Date: 2015-09-09 – 2015-09-11
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Compression Deformation of Micro-components Fabricated by FIB from Gold Electrodeposited Films (2015)
  • Author(s): Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: International Symposium for Advanced Materials Research (ISAMR 2015)
  • Place of Presentation: Sun Moon Lake, Taiwan
  • Year and Date: 2015-08-16 – 2015-08-20
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] A Sub-1G MEMS Inertial Sensor (2015)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Organizer: International Symposium for Advanced Materials Research (ISAMR 2015)
  • Place of Presentation: Sun Moon Lake, Taiwan
  • Year and Date: 2015-08-16 – 2015-08-20
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] Nano-G metrology system and its biomedical applications by CMOS-MEMS technology (2015)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
  • Organizer: 3rd International Conference on Integrative Biology
  • Place of Presentation: Valencia, Spain
  • Year and Date: 2015-08-04 – 2015-08-06
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] 電解金めっきで作製したMEMSデバイスにおける動作構造安定性 (2015)
  • Author(s): 寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, 小西敏文, 松島隆明, 町田克之, 年吉 洋, 山根大輔, 伊藤浩之, 益 一哉, 曽根正人
  • Organizer: 第6回集積化MEMS技術研究ワークショップ
  • Place of Presentation: NHK放送技術研究所、東京都世田谷区
  • Year and Date: 2015-07-31 – 2015-07-31
• [Presentation] 電解金めっきで作製した微小カンチレバーの形状安定性評価 (2015)
  • Author(s): 寺西美波, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 年吉 洋, 町田克之, 益 一哉, 曽根正人
  • Organizer: 平成27年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
  • Place of Presentation: 九州大学医学部百年講堂、福岡県福岡市
  • Year and Date: 2015-07-02 – 2015-07-03
• [Presentation] Stability of Movable Structure Formed by Au Electroplating for MEMS Devices (2015)
  • Author(s): Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Tatsuo Sato, Masato Sone
  • Organizer: 8th Int. Conf. on Materials for Advanced Technologies (ICMAT 2015)
  • Place of Presentation: SUNTEC, Singapore
  • Year and Date: 2015-06-28 – 2015-07-03
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] A Sub-1G MEMS Sensor (2015)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Organizer: the 227th ECS Meeting
  • Place of Presentation: Chicago, Illinois, USA
  • Year and Date: 2015-05-24 – 2015-05-28
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] CMOS -MEMS -New Frontier of Multilevel Interconnect Technology- (2015)
  • Author(s): Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu
  • Organizer: 2015 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC 2015)
  • Place of Presentation: Kyoto, Japan
  • Year and Date: 2015-04-14 – 2015-04-17
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Remarks] 研究者の研究内容・業績・受賞・報道発表などを記載したwebページ
  • URL: http://masu-www.pi.titech.ac.jp/member_files/daisuke_yamane/daisuke_yamane.html
• [Remarks] 研究者の所属期間が作成した研究者の研究成果に関するwebページ
  • URL: http://www.titech.ac.jp/news/2015/032878.html
• [Patent(Industrial Property Rights)] 半導体素子の構造解析装置および解析プログラム (2015)
  • Inventor(s): 小西敏文，佐布晃昭，町田克之，益 一哉，山根大輔
  • Industrial Property Rights Holder: 小西敏文，佐布晃昭，町田克之，益 一哉，山根大輔
  • Industrial Property Rights Type: 特許
  • Industrial Property Number: 特願2015-186382
  • Filing Date: 2015-09-24
• [Patent(Industrial Property Rights)] "微細素子およびその製造方法 (2015)
  • Inventor(s): 小西敏文，佐布晃昭，町田克之，益 一哉，伊藤浩之，山根大輔
  • Industrial Property Rights Holder: 小西敏文，佐布晃昭，町田克之，益 一哉，伊藤浩之，山根大輔
  • Industrial Property Rights Type: 特許
  • Industrial Property Number: 特願2015-256285
  • Filing Date: 2015-12-28