結晶構造を制御した金合金めっきによるナノG検出法の開拓

2016 Fiscal Year Research-status Report

• Project/Area Number: 15K17453
• Research Institution: Tokyo Institute of Technology
• Principal Investigator: 山根 大輔 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 助教 (70634096)
• Project Period (FY): 2015-04-01 – 2018-03-31
• Keywords: 金 / 金合金 / ナノ結晶 / 電解めっき / 加速度センサ / ノイズ / MEMS / カンチレバー

Outline of Annual Research Achievements

具体的内容：H28年度研究目的の（１）ナノ結晶化によるAu／Au合金の高強度・高密度化，（２）Au／Au合金加速度検出デバイスの基礎検討について，実施内容を以下に示す。
（１）めっきAu-Cu合金を試作・評価した結果，降伏強度は純金の公称値より約5倍も高く，従来のめっきAu構造体よりも高い降伏強度が得られた。さらに，MEMS基本構造となる微小カンチレバーをAu-Cu合金を用いて試作し，Au-Cu合金のMEMS応用へ向けた基礎検討を実施した。また，電解めっき法（パルス，超臨界）を用いたナノ結晶Auの高強度化，Au構造体の形状安定性評価，温度・疲労特性評価なども実施中である。上記の成果は，原著論文（6件），国際学会（15件）や国内学会（9件）で発表した。
（２）従来成果により，Au錘について機械ノイズ低減へ見通しを得た。そこで本年度は，Au錘を用いた静電容量型MEMS加速度センサについて複数の構造を提案し，試作・評価した。その結果，最終目標の慣性分解能0.1μG以下へ向けたデバイス構造や設計手法への知見を得た。デバイス構造では同相ノイズを低減可能なZ軸差動構造を新規に提案・実証した。さらに，各種ノイズやメタル層密着力を評価することで，ノイズや機械的信頼性を回路シミュレータ上で解析可能な設計環境を新規構築した。また，試作MEMSセンサと市販LSI用いた慣性センサモジュールを作製し，実装時のノイズも評価した。上記の成果は，原著論文（2件），国際学会（12件）や国内学会（18件）で発表した。

意義・重要性：本研究成果より，電解めっきで作製したAu-Cu合金構造体はAuめっき構造体よりも高い降伏強度を有することが分かった。また，高感度加速度センサの実現へ向けたデバイス構造や設計環境を新たに提案・構築した。これにより，ナノG検出へ向けたAu／Au合金加速度検出デバイスについて実現見通しを得た。

Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

当初予定の本年度目標到達点は，（１）慣性分解能0.1μG以下（大気封止時）を有するAu加速度検出デバイス，そして，（２）降伏強度1GPa以上のAu／Au合金の実現について見通しを得ることである。研究開始時（H27年），錘質量に反比例するデバイス機械ノイズの低減へ向けて，Au合金による錘密度20g/cm^3以上の到達目標も設定したが，これまでの成果より，現在の錘密度でもデバイス機械ノイズを大幅に低減可能な見通しを得た。したがって，錘密度については今後特に目標値を定めず，慣性分解能の目標値達成へ向けてデバイス構造最適化に注力する旨を，H27年度実績報告書に記載済みである。
目標（１）について，昨年度までに電解金めっきを用いて作製したAu加速度検出デバイスの機械ノイズは22nG/Hz^1/2（大気封止時）に到達しており，帯域10Hz以下において慣性分解能0.1μG以下の実現見通しを得ている。本年度はさらなるノイズ低減を目指し，デバイス構造とそれに関連する設計パラメータのモデル化，各種ノイズのモデル化を実施し，高感度加速度センサの新たな設計環境も構築した。したがって，当初予定した目標到達点に達している。従来では解析困難なノイズや信頼性について新たに設計環境を構築したことは，当初予期していない重要な研究進展である。
目標（２）に関して，電解めっきで作製したAu-Cu合金マイクロ構造体を評価した結果，めっきAuや純金よりも高い降伏強度を示し，1GPa以上の降伏強度を達成した。以上の結果より，当初予定した目標到達点に達した。また，当初予期していない重要な研究項目として，昨年から継続中のAu構造体の形状安定性評価，そして本年度より実施中のAu構造体の温度・疲労特性評価などが挙げられる。これらの研究項目はMEMSデバイス応用への向けて必要であり，今後はAu-Cu合金材料についても実施予定である。

Strategy for Future Research Activity

今後の研究の推進方策は，（１）Au／Au合金加速度検出デバイスの開発，そして（２）ナノ結晶化によるAu／Au合金構造体の機械強度向上であり，各項目概要を以下に述べる。
（１）当初計画通り，従来のバルク金よりも高強度化した電解めっきAu／Au合金を用いて，Au／Au合金加速度検出デバイスの原理検証を行う。従来研究で実績のある多層メタル錘構造を用いて錘質量増大とそれによる機械ノイズ低減を実現し，慣性分解能向上を目指す。到達目標は，慣性分解能0.1μG以下のAu／Au合金加速度検出デバイスの実現見通しを得ることである。また，錘質量増大やデバイス構造最適化以外のノイズ低減手法として，デバイス真空封止も検討する。真空封止により錘周囲の粘性係数を下げることで，粘性係数の1/2乗に比例する機械ノイズを低減可能である。さらに，3軸方向の加速度を検知可能なデバイス構造についても基礎検討を行う。
（２）これまでに，めっきAuのナノ結晶化やめっきAu-Cu合金を用いることで，降伏強度の目標値1GPaを達成した。今後は，めっきAu-Cu合金のナノ結晶化による降伏強度のさらなる増大や，めっき条件の制御によるAu／Au合金の機械特性制御とそのモデル化を検討する。
さらに，本項目は当初予定より大幅に進展しているため，めっきAu／Au合金材料のMEMSデバイス応用への向けた必要な研究にも注力する。具体的な研究項目は，新たなAu／Au合金材料のMEMS作製プロセスへの適用検討，形状安定性評価，長期繰返し振動試験による疲労特性評価，そして温度サイクル試験による温特評価であり，評価サンプルにはめっきAu／Au合金によるマイクロカンチレバーやマイクロブリッジを使用し，有限要素法を用いたシミュレーションも実施予定である。これらより，Au／Au合金加速度検出デバイスの基礎検討について，当初予測を超えた研究進展が見込まれる。

Research Products

• [Journal Article] Tensile Tests of Micro-Specimens Made of Electroplated Gold (2017)
  • Author(s): Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Journal Title: Microelectronics Engineering Volume: 174 Pages: 6-10
  • DOI: https://doi.org/10.1016/j.mee.2016.12.004
  • Peer Reviewed / Open Access
• [Journal Article] High-Strength Electroplated Au-Cu Alloys as Micro-components in MEMS Devices (2017)
  • Author(s): Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Journal Title: Journal of The Electrochemical Society Volume: 164 Pages: D244-D247
  • DOI: 10.1149/2.141704jes
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Evaluation and Modeling of Adhesion Layer in Shock-Protection Structure for MEMS Accelerometer (2016)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Journal Title: Microelectronics Reliability Volume: 66 Pages: 78-84
  • DOI: https://doi.org/10.1016/j.microrel.2016.09.018
  • Peer Reviewed / Open Access / Acknowledgement Compliant
• [Journal Article] Enhancement of Mechanical Strength in Au Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide (2016)
  • Author(s): Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Journal Title: Electrochemistry Communications Volume: 72 Pages: 126-130
  • DOI: https://doi.org/10.1016/j.elecom.2016.09.019
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Brittle Fracture of Electrodeposited Gold Observed by Micro-Compression (2016)
  • Author(s): Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Journal Title: Materials Transactions Volume: 57 Pages: 1257-1260
  • DOI: http://doi.org/10.2320/matertrans.MG201612
  • Peer Reviewed / Open Access
• [Journal Article] Pulse Electroplating of Ultra-Fine Grained Au Films with High Compressive Strength (2016)
  • Author(s): Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
  • Journal Title: Electrochemistry Communications Volume: 67 Pages: 51-54
  • DOI: https://doi.org/10.1016/j.elecom.2016.03.017
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] A 1-mG MEMS Sensor (2016)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Journal Title: ECS Transactions Volume: 72 Pages: 7-14
  • DOI: 10.1149/07203.0007ecst
  • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
• [Journal Article] Structure Stability of High Aspect Ratio Ti/Au Two-Layer Cantilevers for Applications in MEMS Accelerometers (2016)
  • Author(s): Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Journal Title: Microelectronics Engineering Volume: 159 Pages: 90-93
  • DOI: https://doi.org/10.1016/j.mee.2016.02.054
  • Peer Reviewed
• [Presentation] Long-Term Vibration Characteristics of MEMS Inertial Sensors by Multi-Layer Metal Technolog (2017)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Koichiro Tachibana, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
  • Organizer: The 19th Int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017)
  • Place of Presentation: Kaohsiung Exhibition Center, Kaohsiung, Taiwan
  • Year and Date: 2017-06-18 – 2017-06-22
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Preparation and Characterization of Au-Cu Alloy Films for MEMS Accelerometer (2017)
  • Author(s): Chun-Yi Chen, Tang Hao-Chun, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
  • Organizer: 21st Topical Meeting of the International Society of Electrochemistry
  • Place of Presentation: Szeged, Hungary
  • Year and Date: 2017-04-23 – 2017-04-26
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] 積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの温度依存性のシミュレーションの検討 (2017)
  • Author(s): 鈴木 拓真, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人
  • Organizer: 第64回応用物理学会春季学術講演会
  • Place of Presentation: パシフィコ横浜
  • Year and Date: 2017-03-14 – 2017-03-17
• [Presentation] 積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの疲労特性の検討 (2017)
  • Author(s): 橘 航一朗, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人
  • Organizer: 第64回応用物理学会春季学術講演会
  • Place of Presentation: パシフィコ横浜
  • Year and Date: 2017-03-14 – 2017-03-17
• [Presentation] 積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価（１） (2017)
  • Author(s): 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 中島 英亮, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
  • Organizer: 第64回応用物理学会春季学術講演会
  • Place of Presentation: パシフィコ横浜
  • Year and Date: 2017-03-14 – 2017-03-17
• [Presentation] 積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価（２） (2017)
  • Author(s): 中島 英亮, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正
  • Organizer: 第64回応用物理学会春季学術講演会
  • Place of Presentation: パシフィコ横浜
  • Year and Date: 2017-03-14 – 2017-03-17
• [Presentation] 積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサにおける粘性定数の検討 (2017)
  • Author(s): 小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
  • Organizer: 第64回応用物理学会春季学術講演会
  • Place of Presentation: パシフィコ横浜
  • Year and Date: 2017-03-14 – 2017-03-17
• [Presentation] 積層メタル技術による3軸MEMS加速度センサのばね定数設計方法 (2017)
  • Author(s): 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之
  • Organizer: 第64回応用物理学会春季学術講演会
  • Place of Presentation: パシフィコ横浜
  • Year and Date: 2017-03-14 – 2017-03-17
• [Presentation] 積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討 (2017)
  • Author(s): 高安 基大, 權田 惇晟, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
  • Organizer: 第64回応用物理学会春季学術講演会
  • Place of Presentation: パシフィコ横浜
  • Year and Date: 2017-03-14 – 2017-03-17
• [Presentation] 移動体制御による慣性センサ評価系の構築 (2017)
  • Author(s): 權田 惇晟, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
  • Organizer: 第64回応用物理学会春季学術講演会
  • Place of Presentation: パシフィコ横浜
  • Year and Date: 2017-03-14 – 2017-03-17
• [Presentation] MEMS inertial sensors for biomedical applications (2017)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Yoshihiro Miyake, Kazuya Masu
  • Organizer: 12th Annual IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2017)
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] A Study on Young’s Modulus of Electroplated Gold Cantilevers for MEMS Devices (2017)
  • Author(s): Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Masato Sone, Kazuya Masu
  • Organizer: 12th Annual IEEE Int. Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2017)
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] 微小電子機械システムのための超臨界流体を用いた金属皮膜形成技術 (2016)
  • Author(s): 曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, Chun-yi Chen, 山根 大輔, 益 一哉, 町田 克之
  • Organizer: 第6回CSJ化学フェスタ
  • Place of Presentation: タワーホール船堀, 東京
  • Year and Date: 2016-11-15 – 2016-11-15
  • Invited
• [Presentation] Young’s modulus evaluation of electroplated Ti/Au structures for MEMS devices (2016)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hideaki Nakajima, Minami Teranishi, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Organizer: 29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2016)
  • Place of Presentation: ANA Crowne Plaza Kyoto, Kyoto, Japan
  • Year and Date: 2016-11-08 – 2016-11-11
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] A Damping Constant Model for Proof-Mass Structure Design of MEMS Inertial Sensor by Multi-Layer Metal Technology (2016)
  • Author(s): Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Organizer: IEEE Sensors 2016
  • Place of Presentation: Orland, FL, USA
  • Year and Date: 2016-10-30 – 2016-11-02
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] 微小曲げ試験による金めっきで作製した微小カンチレバーの機械的特性評価 (2016)
  • Author(s): 浅野 啓介, 唐 浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 名越 貴志, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
  • Organizer: 第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム
  • Place of Presentation: 平戸文化センター, 長崎県平戸市
  • Year and Date: 2016-10-24 – 2016-10-26
• [Presentation] 高感度MEMS 加速度センサー用金電気めっきの変形挙動 および強度の結晶方位依存性評価 (2016)
  • Author(s): 葭葉 将治, Chen Chun-Yi, 名越 貴志, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
  • Organizer: 第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム
  • Place of Presentation: 平戸文化センター, 長崎県平戸市
  • Year and Date: 2016-10-24 – 2016-10-26
• [Presentation] 電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価 (2016)
  • Author(s): 寺西 美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人
  • Organizer: 第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム
  • Place of Presentation: 平戸文化センター, 長崎県平戸市
  • Year and Date: 2016-10-24 – 2016-10-26
• [Presentation] 微小引張試験片を用いたMEMS 用金めっき材料の機械的特性の評価 (2016)
  • Author(s): 柳田 佐理, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chu-Yi, 名越 貴志, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
  • Organizer: 第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム
  • Place of Presentation: 平戸文化センター, 長崎県平戸市
  • Year and Date: 2016-10-24 – 2016-10-26
• [Presentation] 積層メタル技術によるMEMS加速度センサを用いた慣性センサモジュールの検討 (2016)
  • Author(s): 權田 惇晟, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
  • Organizer: 第8回集積化MEMSシンポジウム
  • Place of Presentation: 平戸文化センター, 長崎県平戸市
  • Year and Date: 2016-10-24 – 2016-10-26
• [Presentation] RC発振器型高感度容量検出回路 (2016)
  • Author(s): 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 石原 昇, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉
  • Organizer: 第8回集積化MEMSシンポジウム
  • Place of Presentation: 平戸文化センター, 長崎県平戸市
  • Year and Date: 2016-10-24 – 2016-10-26
• [Presentation] マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS慣性センサのノイズ解析手法 (2016)
  • Author(s): 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
  • Organizer: 第8回集積化MEMSシンポジウム
  • Place of Presentation: 平戸文化センター, 長崎県平戸市
  • Year and Date: 2016-10-24 – 2016-10-26
• [Presentation] 積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法 (2016)
  • Author(s): 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之
  • Organizer: 第8回集積化MEMSシンポジウム
  • Place of Presentation: 平戸文化センター, 長崎県平戸市
  • Year and Date: 2016-10-24 – 2016-10-26
• [Presentation] 差動型積層メタルMEMS加速度センサの検討 (2016)
  • Author(s): 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
  • Organizer: 第8回集積化MEMSシンポジウム
  • Place of Presentation: 平戸文化センター, 長崎県平戸市
  • Year and Date: 2016-10-24 – 2016-10-26
• [Presentation] Sub-1mG検出へ向けた積層メタルMEMS慣性センサ (2016)
  • Author(s): 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
  • Organizer: 第8回集積化MEMSシンポジウム
  • Place of Presentation: 平戸文化センター, 長崎県平戸市
  • Year and Date: 2016-10-24 – 2016-10-26
• [Presentation] 高感度MEMS加速度センサーのための金めっき材料の合成とその機械的特性評価 (2016)
  • Author(s): 曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, 陳 君怡, 山根 大輔, 益 一哉, 町田 克之
  • Organizer: 日本学術振興会・第172委員会
  • Place of Presentation: 物質・材料研究機構, 茨城県つくば市
  • Year and Date: 2016-10-21 – 2016-10-21
  • Invited
• [Presentation] Fine Grained Au Films with Controllable Mechanical Strength by Pulse Plating (2016)
  • Author(s): Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: The 2016 PRiME Meeting
  • Place of Presentation: Hawaii, USA
  • Year and Date: 2016-10-02 – 2016-10-07
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] A Spring Design for Tri-axis MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology (2016)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Organizer: 2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016)
  • Place of Presentation: Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan
  • Year and Date: 2016-09-26 – 2016-09-29
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] A Novel Noise Analysis Method with Multi-physics Simulation for Capacitive CMOS-MEMS Inertial Sensor System (2016)
  • Author(s): Toshifumi Konishi,Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Organizer: 2016 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2016)
  • Place of Presentation: Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan
  • Year and Date: 2016-09-26 – 2016-09-29
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] High Strength Au film Fabricated by Advanced Electrochemical Technique in Supercritical CO2 Emulsified Electrolyte for MEMS Accelerometers (2016)
  • Author(s): Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
  • Organizer: 2nd International Conference and Expo on Separation Techniques
  • Place of Presentation: Valencia, Spain
  • Year and Date: 2016-09-26 – 2016-09-28
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] RC発振器型容量検出回路の高感度化の検討 (2016)
  • Author(s): 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 石原 昇, 山根 大輔, 益 一哉
  • Organizer: 電子情報通信学会ソサイエティ大会
  • Place of Presentation: 北海道大学札幌キャンパス, 北海道
  • Year and Date: 2016-09-20 – 2016-09-23
• [Presentation] Mechanical Behaviour of Electroplated Gold Evaluated by Micro-Tensile Test for Application in MEMS Accelerometer (2016)
  • Author(s): Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: 42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
  • Place of Presentation: the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria
  • Year and Date: 2016-09-19 – 2016-09-23
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Controllable Mechanical Properties of Au Films by Pulse Electroplating for MEMS Accelerometer (2016)
  • Author(s): Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: 42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
  • Place of Presentation: the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria
  • Year and Date: 2016-09-19 – 2016-09-23
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Micro-Bending Tests of Pure Gold Cantilevers for Applications as Movable Components in MEMS Devices (2016)
  • Author(s): Keisuke Asano, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: 42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
  • Place of Presentation: the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria
  • Year and Date: 2016-09-19 – 2016-09-23
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Enhancement of Mechanical Properties in Au Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide (2016)
  • Author(s): Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: 42nd Micro and Nano Engineering (MNE2016)
  • Place of Presentation: the Reed Messe Wien Exhibition & Congress Center, Vienna, Austria
  • Year and Date: 2016-09-19 – 2016-09-23
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] High Mechanical Strength in Gold Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide for MEMS Applications (2016)
  • Author(s): Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: 第77回応用物理学会秋季学術講演会
  • Place of Presentation: 新潟県新潟市 朱鷺メッセ
  • Year and Date: 2016-09-13 – 2016-09-16
• [Presentation] CMOS-MEMS慣性センサにおける機械的ノイズの解析手法 (2016)
  • Author(s): 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
  • Organizer: 第77回応用物理学会秋季学術講演会
  • Place of Presentation: 新潟県新潟市 朱鷺メッセ
  • Year and Date: 2016-09-13 – 2016-09-16
• [Presentation] 積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法（I） (2016)
  • Author(s): 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之
  • Organizer: 第77回応用物理学会秋季学術講演会
  • Place of Presentation: 新潟県新潟市 朱鷺メッセ
  • Year and Date: 2016-09-13 – 2016-09-16
• [Presentation] 積層メタル差動型MEMS加速度センサの基礎検討 (2016)
  • Author(s): 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
  • Organizer: 第77回応用物理学会秋季学術講演会
  • Place of Presentation: 新潟県新潟市 朱鷺メッセ
  • Year and Date: 2016-09-13 – 2016-09-16
• [Presentation] 1mG以下検出へ向けた積層メタルMEMS加速度センサの基礎検討 (2016)
  • Author(s): 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
  • Organizer: 第77回応用物理学会秋季学術講演会
  • Place of Presentation: 新潟県新潟市 朱鷺メッセ
  • Year and Date: 2016-09-13 – 2016-09-16
• [Presentation] Development of High Sensitivity CMOS-MEMS Inertia Sensor and its Application to Early-Stage Diagnosis of Parkinson's Disease (2016)
  • Author(s): Kazuya Masu, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Masato Sone, Yoshihiro Miyake
  • Organizer: the 46th European Solid-State Device Re-search Conference (ESSDERC)
  • Place of Presentation: Swisstech Convention Centre, Lausanne, Switzerland
  • Year and Date: 2016-09-12 – 2016-09-15
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] Enhanced mechanical property of metallic films with supercritical carbon dioxide for micro-electrical-mechanical system accelerometer (2016)
  • Author(s): Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: The 15th Symposium on Development of Supercritical Fluid Technology and Application and The 2nd International Workshop on Supercritical Fluid Dyeing Technology
  • Place of Presentation: Kaohsiung, Taiwan
  • Year and Date: 2016-09-08 – 2016-09-10
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] Electrodeposited Gold for Next Generation MEMS Accelerometer Toward Medical Applications (2016)
  • Author(s): Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
  • Organizer: Integrative Biology-2016
  • Place of Presentation: Berlin, Germany
  • Year and Date: 2016-07-18 – 2016-07-20
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] A Novel MEMS Inertial Sensor With Out-of-plane Differential Sensing Structure By Multi-layer Metal Technology (2016)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Hiroshi Toshiyohi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Organizer: Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016)
  • Place of Presentation: Kanazawa, Japan
  • Year and Date: 2016-06-26 – 2016-06-29
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] A 1-mG MEMS Sensor (2016)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Organizer: 229th ECS Meeting
  • Place of Presentation: San Diego, CA, USA
  • Year and Date: 2016-05-29 – 2016-06-03
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] A Study of Railroad Vehicle Control by Inertial Sensors (2016)
  • Author(s): Motohiro Takayasu, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Masakazu Sonobe, Takumi Kobayashi, Yamato Fukuta, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Organizer: 11th World Congress on Railway Research
  • Place of Presentation: Milan, Italy
  • Year and Date: 2016-05-29 – 2016-06-03
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Pulse Electroplating of Au Films with Ultra High Strength (2016)
  • Author(s): Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: 229th ECS Meeting
  • Place of Presentation: San Diego, CA, USA
  • Year and Date: 2016-05-29 – 2016-06-03
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] 小型高感度MEMS慣性センサモジュールの試作評価 (2016)
  • Author(s): 高安 基大, 權田 惇晟, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
  • Organizer: LSIとシステムのワークショップ
  • Place of Presentation: 東京大学 生産技術研究所 総合研究実験棟(An棟) 2階 コンベンションホール
  • Year and Date: 2016-05-16 – 2016-05-17
• [Presentation] Mechanical Characteristics of Structure Stability with Ti/Au Micro-Cantilevers Formed by Au Electroplating (2016)
  • Author(s): Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: ISE - Topical Meeting
  • Place of Presentation: Auckland, New Zealand
  • Year and Date: 2016-04-17 – 2016-04-20
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Electroplated Gold Materials with Enhanced Mechanical Strength by Multi-Layered Structure (2016)
  • Author(s): Yota Ishizuka, Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: ISE - Topical Meeting
  • Place of Presentation: Auckland, New Zealand
  • Year and Date: 2016-04-17 – 2016-04-20
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Study of Gold Electroplating by Constant and Pulse Current Method with Non-Cyanide Gold Sulfite Electrolyte (2016)
  • Author(s): Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: ISE - Topical Meeting
  • Place of Presentation: Auckland, New Zealand
  • Year and Date: 2016-04-17 – 2016-04-20
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Pulse Electroplating of Ultra-Fine Grained Au Films with High Strength for Micro-Electrical-Mechanical System Devices (2016)
  • Author(s): Chun-Yi Chen, Masaharu Yoshiba, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: ISE - Topical Meeting
  • Place of Presentation: Auckland, New Zealand
  • Year and Date: 2016-04-17 – 2016-04-20
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Preparation and Characterization of Gold Films by Electroplating with Supercritical Carbon Dioxide (2016)
  • Author(s): Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone
  • Organizer: ISE - Topical Meeting
  • Place of Presentation: Auckland, New Zealand
  • Year and Date: 2016-04-17 – 2016-04-20
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] A Design of Spring Constant Arranged for MEMS Accelerometer by Multi-layer Metal Technology (2016)
  • Author(s): Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida
  • Organizer: IEEE NEMS 2016
  • Place of Presentation: Matsushima Bay and Sendai, Miyagi, Japan
  • Year and Date: 2016-04-17 – 2016-04-20
  • Int'l Joint Research
• [Remarks] 山根大輔 研究業績一覧
  • URL: http://t2r2.star.titech.ac.jp/cgi-bin/researcherpublicationlist.cgi?q_researcher_content_number=CTT100635307
• [Remarks] 平成28年度「東工大挑戦的研究賞」受賞者決定
  • URL: http://www.titech.ac.jp/news/2016/035941.html
• [Remarks] 山根大輔助教が平成28年度東工大挑戦的研究賞を受賞
  • URL: http://educ.titech.ac.jp/ee/news/2016_09/052621.html
• [Remarks] 益・伊藤研究室 山根大輔助教が、「平成28年度東工大挑戦的研究賞 学長特別賞」を受賞
  • URL: http://www.first.iir.titech.ac.jp/news/2016/detail_120.html
• [Remarks] 山根大輔 研究室ＨＰ
  • URL: http://masu-www.pi.titech.ac.jp/member_files/daisuke_yamane/daisuke_yamane.html
• [Patent(Industrial Property Rights)] 微細素子とその製造方法 (2017)
  • Inventor(s): 小西敏文, 佐布晃昭, 町田克之, 山根大輔, 益 一哉
  • Industrial Property Rights Holder: 小西敏文, 佐布晃昭, 町田克之, 山根大輔, 益 一哉
  • Industrial Property Rights Type: 特許
  • Industrial Property Number: 特願2017-055732
  • Filing Date: 2017-03-22
• [Patent(Industrial Property Rights)] 微細素子およびその製造方法 (2017)
  • Inventor(s): 小西,佐布,町田,曽根,Chang,Chen,山根,益
  • Industrial Property Rights Holder: 小西,佐布,町田,曽根,Chang,Chen,山根,益
  • Industrial Property Rights Type: 特許
  • Industrial Property Number: 特願2017-055730
  • Filing Date: 2017-03-22