2016 Fiscal Year Research-status Report
界面エンジニアリングによる二酸化チタン薄膜の表面電子状態制御法の確立
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15K17470
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| Research Institution | High Energy Accelerator Research Organization |
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Principal Investigator |
簑原 誠人 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 物質構造科学研究所, 特別助教 (70728633)
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| Project Period (FY) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| Keywords | 酸化物界面 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
酸化物半導体における表面電子状態の精密制御は、表面の機能を利用したガスセンサなどの電子デバイス、および触媒の機能を向上させる上で必要不可欠な技術である。本研究では、電荷不連続性の精密制御および界面歪み印加（界面エンジニアリング）を行った酸化物薄膜の表面電子状態を光電子分光測定により直接決定する。これにより、界面構造とそれにより誘起される表面電子状態との相関関係を特定し、その知見に基づいた酸化物半導体の仕事関数変調方法を確立することを目的とする。
本年度では、前年度に引き続き界面構造を制御したLaFeO3薄膜/SrTiO3基板ヘテロ構造における光電子分光を用いた評価から、仕事関数測定およびその変調方法の確立を目指した実験に取り組んだ。しかしながら、光電子分光装置の故障が生じ、正しい値が測定できないということが判明したため、評価については遅れている。平行して、他の鉄系酸化物La1/3Sr2/3FeO3について、面方位と膜厚を制御による電子状態変化に着目した研究に取り組み、特有の電荷秩序を伴う電子相図を作成した。次年度では、故障した装置の修理を行うと共に、鉄系酸化物薄膜の仕事関数変調方法の確立を目指す。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
3: Progress in research has been slightly delayed.
Reason
前年度までに判明していた、仕事関数装置における電場の影響について調査していたが、装置そのものの電源の故障が起きたため、この修理を進めている。
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| Strategy for Future Research Activity |
まず装置の修理を行い、定常状態になるようにする。その後、前年度までに調べた電場を遮蔽するためのシールドなどを開発し、正しい測定ができるようにする。
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| Causes of Carryover |
本研究における光電子分光測定装置の電源の故障が起きたため、当初予定していた物品の購入を見送った。
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| Expenditure Plan for Carryover Budget |
次年度では、光電子分光装置の改良を行う。具体的には、試料周りの電場の影響が少ない試料固定台座、シールド、電流導入端子などの購入に充てる。
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