2017 Fiscal Year Annual Research Report
Fabrication of surface and internal refraction structure for antireflective glass
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15K18228
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| Research Institution | Kitami Institute of Technology |
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Principal Investigator |
酒井 大輔 北見工業大学, 工学部, 助教 (10534232)
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2015-04-01 – 2018-03-31
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| Keywords | ガラス / RCWA法 / 微細構造 / 選択堆積 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究では、ガラスの表面構造及び内部屈折率変調を利用し、これまでに無い反射防止特性を有するガラスの実現を目指した研究を行った。用いた手法は、これまでに研究代表者らが発見・確立してきたガラス内部の屈折率制御法に、新たに発見した選択的気相堆積法を組み合わせ、微細表面構造と内部屈折率変調の組み合わせについて研究した。本研究では、以下の2点を明らかにすべき課題として、実施してきた。
・選択的な気相堆積メカニズムの解明: 選択性, 堆積可能な構造と材料
・反射防止のための表面構造と内部屈折率分布の最適化: 理論的な表面構造及び内部屈折率分布による反射防止計算, ガラス上に実現する反射防止特性とその評価
最終年度となる本年は、まず、選択堆積法によりガラス上に形成される微細構造の屈折率について調べた。これまでに、プリズムカップリング法による計測を試みてきたが、堆積物のラフネスによる問題か、正確な計測値を得ることが出来なかった。そこで、今回は単純なグレーティング構造を選択堆積法により形成し、その回折効率と表面構造から、RCWA法を用いて屈折率を見積もった。その結果、堆積された構造の屈折率は、一般的なSiO2に近い値であることがわかった。更に、反射防止を目的とした構造の実装に向けた実験を行った。本実験を通し、ガラス上に形成される構造の高さは、内部屈折率変調用プロセスであるコロナ放電処理の時間に大きく依存することがわかり、また、この条件が後の選択堆積法における選択性と周期にも影響を及ぼすことが明らかとなった。反射防止に向けた理想的な構造形成に向け、実験条件の最適化を進めてきたが、実験パラメータが多く、本年度内では完全には完了することが出来なかったため、今後更に実験を進め、反射防止構造の実現を目指す。
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Research Products
(2 results)
