• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2017 Fiscal Year Research-status Report

半導体ナノ結晶のpn接合による高度ガス認識界面の創出(国際共同研究強化)

Research Project

Project/Area Number 15KK0189
Research InstitutionKumamoto University

Principal Investigator

木田 徹也  熊本大学, 大学院先端科学研究部(工), 教授 (70363421)

Project Period (FY) 2016 – 2018
Keywordsガスセンサ / ナノ結晶 / n型半導体 / p型半導体
Outline of Annual Research Achievements

酸化物半導体を用いた抵抗測定式ガスセンサは日本生まれの重要技術であり、ガス漏れ検知や空気環境のモニタリング等に幅広く利用されている。さらに現在では、微量の環境や人体に悪影響を与えるガスにも検知対象が広がり、住環境保全や製造技術になくてはならないものとなっている。しかし、本センサの大問題は、その消費電力の高さである。酸化物表面の吸着酸素とガスとの反応を利用する本デバイスでは、この気固界面での反応促進のため、300℃程度の加熱が不可欠である。そのため従来型のセンサでは素子の小型化が難しい。センサの小型化・省電力化により幅広い応用を可能にするために、センサの低温作動化が強く求められている。
センサの低温作動化のために種々の第二成分の添加がこれまでに検討されている。例えばセンサ材料にPdを添加した場合には感度の向上と作動温度の低減が可能になることが知られている。そこで本年度は、Cu2Oナノ結晶へのPd担持を試みた。Pd担持によりガス感度が大きく向上することを確認した。これにより、ZnOとの接合による更なる増感が期待できる。また、増感剤としてIrO2にも着目した。そこでIrO2をAl2O3と複合化させたナノコンポジットの触媒活性を詳細に調べた結果、ナノサイズのIrO2は良好な酸化活性を有することを見出した。
ガスセンサの感度向上化の手法として、pn接合の利用が有効であることが知られている。そこで新しいn型材料の探索も行った。本年度は半導体ナノシートとして注目されているMoS2に着目した。これまではMoS2粉末の層剥離によるナノシート合成が検討されているが、新しい手法としてMo前駆体の硫化によりナノシート合成を試みた。得られたMoS2ナノシートは揮発性有機化合物(VOC)に良好な感度を有することを見出した。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

目標とした半導体ナノ結晶の合成と新しいセンサ材料の開発、さらにそれらの可燃性ガスに対する高感度化に成功しており、当初の予定どおり研究が順調に進行している

Strategy for Future Research Activity

作製したデバイスの可燃性ガスに対する応答を詳細に検討する。さらに、国際共同研究先の研究機関において、in-situで半導体ナノ結晶とガスの反応状況をDiffuse Reflectance Infrared Fourier transform spectroscopy (DRIFTS)を用いて調査する。

  • Research Products

    (3 results)

All 2017

All Presentation (3 results)

  • [Presentation] 半導体ナノロッド/ナノ結晶pn接合膜の作製と光電効果特性2017

    • Author(s)
      木戸悠太,木田徹也
    • Organizer
      化学関連支部合同九州大会, 福岡県小倉市
  • [Presentation] ZnOナノロッドを用いた半導体ナノ結晶pn接合膜の作製2017

    • Author(s)
      木戸 悠太,木田徹也
    • Organizer
      第28回九州地区若手ケミカルエンジニアリング討論会,熊本県水俣市
  • [Presentation] Cu2Oナノ結晶/ZnOナノロッド膜を用いたグルコースの光酸化2017

    • Author(s)
      上野和華子,木戸悠大,キタインアルマンド,佐々木満,木田徹也
    • Organizer
      平成29年度セラミック協会九州支部秋季合同研究発表会, 北九州市

URL: 

Published: 2018-12-17  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi