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2006 Fiscal Year Annual Research Report

超精密モーションコントロールに用いるエネルギー環流駆動方式の弾性表面波モータ

Research Project

Project/Area Number 16078204
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

黒澤 実  東京工業大学, 大学院総合理工学研究科, 助教授 (70170090)

Keywordsアクチュエータ / 超音波モータ / 圧電 / 弾性表表面波 / MEMS / マイクロアクチュエータ / 超音波 / レイリー波
Research Abstract

動作解析のため,コンタクトメカニクスの概念を適用して,ステータとスライダの接触・摩擦に関するモデル化を進めた。単独の突起が,ステータ面に接触するときに発生する垂直方向の応力と水平方向の応力を,ステータ表面およびスライダ突起基礎面について解析し,単純な解析解として表されることを明らかにした。また,駆動面における表面電荷と水分による影響が,駆動状態に大きく影響している可能性があるという知見を得た。特に,摩擦電化による吸着現象が,動作の不安定性に大きく影響している可能性を指摘し,今後の重要な研究課題であることを指摘した。
制御に関しては,不感帯の変動や停止特性のモデル化などの検討により,より精緻なプラントのモデル化と線形化についての検討を行った。その結果,それまで一般的には,不感帯の閾値は始動時と停止時で異なると考えられていたが,測定時の応答の遅れにより閾値が変動しているように観測されているだけであることを明らかにした。不感帯での応答特性を求め,停止特性のモデル化を行うことで,モータの精密な等価モデルを明らかにし,ブロック図表現を実現した。
非線形な応答特性を持つ弾性表面波モータを,負帰還制御により良好な制御特性を実現するためには,プラントとして見たときに線形化されている方が,これまでに研究された優れた制御手法を適用できることから,線形化手法を検討し,その手法を考案した。この線形化手法に関しては,一般の超音波モータに広く適用できる技術であり,特許化を進める予定である。速度制御と位置制御に関して実装についての検討を行った。

  • Research Products

    (10 results)

All 2006

All Journal Article (10 results)

  • [Journal Article] Friction drive modeling of SAW motor using classical theory of contact mechanics2006

    • Author(s)
      T.Shigematsu, M.K.Kurosawa
    • Journal Title

      Proc. of 10th Int.Conf. on New Actuators, ACTUATOR 2006

      Pages: 444-447

  • [Journal Article] Control of an energy circulation type SAW motor considering dead-zone2006

    • Author(s)
      M.Okano, T.Shigematsu, M.K.Kurosawa
    • Journal Title

      Proc. of 10th Int.Conf. on New Actuators, ACTUATOR 2006

      Pages: 584-587

  • [Journal Article] 弾性表面波モータの摩擦駆動の計測と解析2006

    • Author(s)
      重松隆史, 黒澤実
    • Journal Title

      第18回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム講演予稿集

      Pages: 419-424

  • [Journal Article] 弾性表面波モータが有する不感帯が駆動特性に与える影響2006

    • Author(s)
      岡野雅樹, 黒澤実
    • Journal Title

      第18回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム講演予稿集

      Pages: 425-426

  • [Journal Article] 弾性表面波モータの動的特性に関するモデル化2006

    • Author(s)
      岡野雅樹, 黒澤実
    • Journal Title

      日音講論集

      Pages: 897-898

  • [Journal Article] 弾性表面波モータの3次元弾性論による摩擦駆動のモデル化2006

    • Author(s)
      重松隆史, 黒澤実
    • Journal Title

      第23回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

      Pages: 217-220

  • [Journal Article] 不感帯を考慮した環流型弾性表面波モータの速度制御2006

    • Author(s)
      黒澤実, 鈴木貴也, 重松隆史, 浅井勝彦
    • Journal Title

      第15回MAGDAコンファレンス in 桐生 講演論文集

      Pages: 484-489

  • [Journal Article] 還元処理ニオブ酸リチウムを用いた弾性表面波モータ2006

    • Author(s)
      重松隆史, 黒澤実
    • Journal Title

      圧電材料・デバイスシンポジウム2007講演論文集

      Pages: 123-124

  • [Journal Article] 弾性表面波モータの摩擦駆動面設計2006

    • Author(s)
      重松隆史, 黒澤実
    • Journal Title

      信学技報,US2006-111

      Pages: 1-6

  • [Journal Article] 弾性表面波モータの不感帯近傍での駆動に関する検討2006

    • Author(s)
      岡野雅樹, 黒澤実
    • Journal Title

      日音講論集

      Pages: 1021-1022

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Published: 2008-05-08   Modified: 2016-04-21  

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