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2007 Fiscal Year Annual Research Report

機能性流体を応用したニューアクチュエータの研究

Research Project

Project/Area Number 16078205
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

横田 眞一  Tokyo Institute of Technology, 精密工学研究所, 教授 (10092579)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 吉田 和弘  東京工業大学, 精密工学研究所, 准教授 (00220632)
竹村 研治郎  東京工業大学, 精密工学研究所, 助教 (90348821)
金 俊完  東京工業大学, 精密工学研究所, 助教 (40401517)
Keywords機能性流体 / アクチュエータ / センサ / 電界共役流体 / ERF / MRF / マイクロポンプ
Research Abstract

本研究ではミリメートルサイズでパワー密度が高いマイクロアクチュエータの実現を目的とし,機能性流体を用いたニューアクチュエータの具現化を目指す.本年度の成果は以下のとおりである.
高電圧の印加によって活発なジェット流を発生する電界共役流体(ECF)を利用したECFマイクロレートジャイロを提案し,プロトタイプを試作した.上記ジェット流に角速度に起因するコリオリカが作用した際の偏流をホットワイヤによって検出する新たなレートジャイロであり,機械的可動部を必要としないため,小型で長寿命,耐振動性に優れると考えられる.特性試験の結果,少なくとも±400°/sの範囲で良好な角速度検出が可能であることを明らかにした.
上述のECFを利用して,マイクロ人工筋セルを改良し,集積化による出力向上を確認した.本セルは軸方向に繊維強化されたゴムチューブの内圧をECFジェットより制御するアクチュエータであり,液圧駆動でありながら外部からの給電のみによって駆動できる.直径10mm,高さ12.5mmのセルを4個(2×2)直並列化したECF人工筋を実現した.
電界で粘度制御できる電気粘性流体(ERF)を用いたERバルブの一方の電極を間隔方向に可動とし出力変位を得る構造で,外力による変位を抑制する位置フィードバック機構を内蔵したスマートアクチュエータを提案し,直径10mm,厚さ2.5mmのアクチュエータを試作し,その特性を実験的に明らかにした.
また,管路内の流体慣性による液柱分離を利用し,吐出行程だけでなく吸入行程でも吐出を行うことで高出力化を図った圧電マイクロポンプの高出力密度化を図るため,ピストンの上下にポンプ室を設け,交互に吐出を行うマイクロポンプを提案,試作し,実験的にその特性および問題点を明らかにした.

  • Research Products

    (30 results)

All 2007

All Journal Article (5 results) (of which Peer Reviewed: 5 results) Presentation (23 results) Patent(Industrial Property Rights) (2 results)

  • [Journal Article] ECFジェット駆動マイクロフィンガの提案とラージモデルの特性評価2007

    • Author(s)
      横田眞一, 阿部竜太郎, 竹村研治郎, 枝村一弥
    • Journal Title

      日本フルードパワーシステム学会論文集 38

      Pages: 65-70

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] A micromotor using electro-conjugate fluid - Improvement of motor performance by using saw-toothed electrode series2007

    • Author(s)
      Kenjiro Takemura, Hiroto Kozuki, Kazuya Edamura, and Shiaichi Yokota
    • Journal Title

      Sensors and Actuators A: Physical 40

      Pages: 131-137

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Concept of a micro finger using electro-conjugate fluid and fabrication of a large model prototjme2007

    • Author(s)
      Ryutaro Abe, Kenjiro Takemura, Kazuya Edamura and Shinichi Yokota
    • Journal Title

      Sensors and Actuators A: Physical 136

      Pages: 629-637

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 均一系ER流体を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータ2007

    • Author(s)
      吉田和弘, 小木曽太郎, 横田眞一
    • Journal Title

      日本機械学会論文集C 73

      Pages: 2508-2513

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 電界共役流体により駆動されるミミズ型ぜん動駆動マイクロマシン2007

    • Author(s)
      横田佻一, 洪榮杓, 竹村研治郎, 枝村一弥
    • Journal Title

      日本ロボット学会誌 25

      Pages: 140-145

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Proposition of a 3-DOF ER Microactuator with Built-in Pump and Valve2007

    • Author(s)
      K. Yoshida, Y. Osanai and S. Yokota
    • Organizer
      The 2nd International Forum on Systems and Mechatronics (IFSM2007)
    • Place of Presentation
      Tainan, Taiwan
    • Year and Date
      2007-12-04
  • [Presentation] 管路内の流体慣性を応用した全波整波形圧電マイクロポンプの高出力密度化2007

    • Author(s)
      吉田和弘, 北爪 徹也, 瀬戸 毅, 高城邦彦, 金俊完, 横田 眞一
    • Organizer
      第16回MAGDAコンファレンス in京都-電磁現象および電磁力に関するコンファレンス-
    • Place of Presentation
      コープイン京都(京都)
    • Year and Date
      2007-11-23
  • [Presentation] 電界共役流体(ECF)を用いたレートジャイロの研究2007

    • Author(s)
      横田眞一, 鈴木守, 竹村研治郎, 枝村一弥, 熊谷秀夫, 今村恒彦
    • Organizer
      第16回MAGDAコンファレンス in京都-電磁現象および電磁力に関するコンファレンス-
    • Place of Presentation
      コープイン京都(京都)
    • Year and Date
      2007-11-23
  • [Presentation] MEMS技術による針-リング形高出力ECFアクチュエータ2007

    • Author(s)
      金俊完, 尾川宜嗣, 横田眞一, 吉田和弘
    • Organizer
      第16回MAGDAコンファレンス in京都-電磁現象および電磁力に関するコンファレンス-
    • Place of Presentation
      コープイン京都(京都)
    • Year and Date
      2007-11-23
  • [Presentation] 平面ECFポンプによる冷却システムに関する研究2007

    • Author(s)
      横田眞一, 小泉和弘, 吉田和弘, 金俊完, 枝村一弥
    • Organizer
      第16回MAGDAコンファレンス in京都-電磁現象および電磁力に関するコンファレンス-
    • Place of Presentation
      コープイン京都(京都)
    • Year and Date
      2007-11-23
  • [Presentation] 位置フィードバック機構を内蔵したERマイクロアクチュエータ2007

    • Author(s)
      吉田和弘, 神山和仁, 金俊完, 横田眞一
    • Organizer
      第16回MAGDAコンファレンス in京都-電磁現象および電磁力に関するコンファレンス-
    • Place of Presentation
      コープイン京都(京都)
    • Year and Date
      2007-11-23
  • [Presentation] マイクロセル集積形ECF人工筋2007

    • Author(s)
      矢島史也, 竹村研治郎, 小泉和弘, 横田眞一, 枝村一弥
    • Organizer
      第16回MAGDAコンファレンス in京都-電磁現象および電磁力に関するコンファレンス-
    • Place of Presentation
      コープイン京都(京都)
    • Year and Date
      2007-11-22
  • [Presentation] Integration of ECF Micro Artificial Muscle Cells2007

    • Author(s)
      Fumiya Yajima, Kenjiro Takemura, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura
    • Organizer
      The 11th International Conference On Mechatronics Technology (ICMT2007)
    • Place of Presentation
      Ulsan, Korea
    • Year and Date
      2007-11-08
  • [Presentation] An ER Microactuator with Built-in Pump and Valve2007

    • Author(s)
      Kazuhiro Yoshida, Yohei Osanai and Shinichi Yokota
    • Organizer
      The 11th International Conference On Mechatronics Technology (ICMT2007)
    • Place of Presentation
      Ulsan, Korea
    • Year and Date
      2007-11-08
  • [Presentation] Forced Liquid Cooling System Using Planar ECF Pump for VLSI Chips2007

    • Author(s)
      Woo-suk Seo, Kaziihiro Yoshida, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura, and Young-bog Ham
    • Organizer
      The 11th International Conference On Mechatronics Technology (ICMT2007)
    • Place of Presentation
      Ulsan, Korea
    • Year and Date
      2007-11-08
  • [Presentation] ECF micromotor using MEMS technology2007

    • Author(s)
      Joon・wan Kim, Yoshito Nishida, Shinichi Yokota, Kazuhiro Yoshida and Kazuya Edamura
    • Organizer
      The 11th International Conference On Mechatronics Technology (ICMT2007)
    • Place of Presentation
      Ulsan, Korea
    • Year and Date
      2007-11-06
  • [Presentation] 管路内の流体慣性を応用したマイクロ流体パワー源の高出力化2007

    • Author(s)
      吉田和弘, 北爪徹也, 瀬戸毅, 高城邦彦, 金俊完, 横田眞一
    • Organizer
      日本機械学会山梨講演会2007
    • Place of Presentation
      山梨大学(山梨)
    • Year and Date
      2007-10-20
  • [Presentation] ECF Micro Artificisil Muscle Actuator and its Application to Micro Robot Arm2007

    • Author(s)
      Kenjiro TAKEMURA, Shinichi YOKOTA, Kazuya EDAMURA
    • Organizer
      The 6th International Symposium on Linear Drives For Industrial Applications (ICMDT2007)
    • Place of Presentation
      Lille, France
    • Year and Date
      2007-09-17
  • [Presentation] Flexible Electrorheological MicrovalvG (FERV) Based on SU8 Cantilever Structures and its Application to Microactuators2007

    • Author(s)
      Joon・wan KIM, Kazuhiro YOSHIDA, Kvuniko KOUDA, ShinichiYOKOTA
    • Organizer
      The 6th International Symposium on Linear Drives For Industrial Applications (ICMDT2007)
    • Place of Presentation
      Lille, France
    • Year and Date
      2007-09-17
  • [Presentation] スリーブ形ECFマイクロ人工筋の研究2007

    • Author(s)
      竹村研治郎, 横田眞一, 枝村一弥
    • Organizer
      平成19年春季フルードパワーシステム講演会
    • Place of Presentation
      関西大学(大阪)
    • Year and Date
      2007-09-10
  • [Presentation] ポンプ・バルブ一体形ERマイクロアクチュエータ2007

    • Author(s)
      吉田和弘, 小山内洋平, 横田眞一
    • Organizer
      平成19年春季フルードパワーシステム講演会
    • Place of Presentation
      関西大学(大阪)
    • Year and Date
      2007-09-10
  • [Presentation] A Micro Fluid Power Source Using Fluid Inertia Effect in a Pipe for HighViscosity Fluids2007

    • Author(s)
      K. Yoshida, K. Osanai, T. Seto, K. Takagi, S.Yokota
    • Organizer
      JSME-KSMES Joint International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT2007)
    • Place of Presentation
      Sapporo, Japan
    • Year and Date
      2007-07-03
  • [Presentation] 電界共役流体を応用したマイクロ人工筋セル2007

    • Author(s)
      竹村研治郎, 横田侃一, 小泉和弘, 矢島史也, 枝村一弥
    • Organizer
      平成19年春季フルードパワーシステム講演会
    • Place of Presentation
      機械振興会館(東京)
    • Year and Date
      2007-05-24
  • [Presentation] 電界共役流体を応用したマイクロ人工筋セル2007

    • Author(s)
      小泉和弘, 矢島史也, 竹村研治郎, 横田政一, 枝村一弥
    • Organizer
      第19回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
    • Place of Presentation
      早稲田大学(東京)
    • Year and Date
      2007-05-16
  • [Presentation] 管路内の流体慣性を応用した高粘度流体用マイクロ流体パワー源2007

    • Author(s)
      吉田和弘, 小山内洋平, 瀬戸毅, 高城邦彦, 北爪徹也, 横田佻一
    • Organizer
      第19回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
    • Place of Presentation
      早稲田大学(東京)
    • Year and Date
      2007-05-16
  • [Presentation] 電界共役流体を用いたマイクロモーターのこぎり状電極による高出力化2007

    • Author(s)
      横田政一, 上月宏登, 竹村研治郎, 枝村一弥
    • Organizer
      ロボティクス・メカトロニクス講演会2007
    • Place of Presentation
      ALVE(秋田)
    • Year and Date
      2007-05-11
  • [Presentation] MEMS技術を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータ2007

    • Author(s)
      金俊完, 国府田くみ子, 吉田和弘, 横田眞一
    • Organizer
      ロボティクス・メカトロニクス講演会2007
    • Place of Presentation
      ALVE(秋田)
    • Year and Date
      2007-05-11
  • [Presentation] DP-RE Type Micromotors Using Electro-Conjugate Fluid2007

    • Author(s)
      Shinichi Yokota, Hiroto Kozuki, Kenjiro Takemura, Kazuya Edamura
    • Organizer
      2007 IEEE International Conference on R・botics and Automation
    • Place of Presentation
      Rome, Italy
    • Year and Date
      2007-04-11
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 電気粘性流体アクチュエータ2007

    • Inventor(s)
      吉田和弘
    • Industrial Property Rights Holder
      東工大
    • Industrial Property Number
      特願2007-19859
    • Filing Date
      2007-07-31
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 流体レートジャイロ2007

    • Inventor(s)
      今什直彦, 熊谷秀夫, 横田匯一, 竹村研治郎, 枝村一弥
    • Industrial Property Rights Holder
      多摩川精機株式会社, 東京工業大学
    • Industrial Property Number
      特願2007-19859
    • Filing Date
      2007-11-21

URL: 

Published: 2010-02-04   Modified: 2016-04-21  

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