Development of Micro Cilium Actuators in Group

2008 Fiscal Year Final Research Report

• Project/Area Number: 16078206
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• Allocation Type: Single-year Grants
• Review Section: Science and Engineering
• Research Institution: Tokyo Institute of Technology
• Principal Investigator: IWATSUKI Nobuyuki Tokyo Institute of Technology, 大学院・理工学研究科, 教授 (70193753)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): MORIKAWA Koichi 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 助教 (00282830)
• Project Period (FY): 2004 – 2008
• Keywords: 圧電アクチュエータ / マイクロアクチュエータ / マイクロマシン / 知能機械 / 運動制御 / 群の制御 / 共振駆動

Research Abstract

実用的なマイクロ/ナノマシンに利用可能な人工のマイクロ繊毛アクチュエータ群の開発を目的とし, はんだ付け静電植毛法と電気ニッケルめっきによるチタン製内部電極群の配向整列接合, 水熱合成法による圧電セラミクス薄膜形成, マスキング利用真空蒸着法による選択的外部電極形成の主要製造プロセスを明らかにしてマイクロ繊毛アクチュエータ群の試作に成功し, 駆動実験を行って, アクチュエータの共振駆動ならびにマイクロ搬送機に適用し, 6mm四方の微小シートの搬送に成功した.

Research Products

• [Journal Article] マイクロ繊毛アクチュエータ群の開発 〜ニッケルめっき電極接合による繊毛アクチュエータアレイ・群の作成と駆動実験〜 (2009)
  • Author(s): 西田吉人, 岩附 信行, 森川広一
  • Journal Title: 日本AEM学会誌 17-1 Pages: 2-7
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] マイクロ繊毛アクチュエータ (2008)
  • Author(s): 岩附信行
  • Journal Title: トライボロジスト 53-2 Pages: 88-93
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Fabrication of Micro Cilium Actuators in Group with Nickel Plating and Sheet Conveyance Experiments (2008)
  • Author(s): Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa, Yoshito Nishida
  • Journal Title: Proc. of The 12th International Conference on Mechatronics Technology (CD-ROM) Pages: 1-6
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Fabrication of Micro Cilium Actuators in Group and Driving Experiments (2008)
  • Author(s): Nobuyuki Iwatsuki, Yoshito Nishida, Koichi Morikawa
  • Journal Title: Proc. of The 11th International Conference on New Actuators Pages: 342-345
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Micro Cilium Actuators in Group (2008)
  • Author(s): Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa
  • Journal Title: The 2nd International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs Pages: 93-96
• [Journal Article] Fabrication of a Micro Cilium Actuator and Its Driving Experiments (2007)
  • Author(s): Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa, Yoshito Nishida and Ryota Tanabe
  • Journal Title: Proc. of 11th International Conference on Mechatronics Technology (CD-ROM) Pages: 1-6
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Development of Micro Ciliary Actuators in Group (2006)
  • Author(s): Nobuyuki Iwatsuki, Kenjiro Morita, Koichi Morikawa
  • Journal Title: Proc. of The 10th International Conference on New Actuators Pages: 752-755
• [Journal Article] Development of Micro Ciliary Actuators in Group (2006)
  • Author(s): Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morita, Kenjiro Morita
  • Journal Title: Proc. of the 1^<st> International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthrough Pages: 85-88
• [Presentation] マイクロ繊毛アクチュエータ群の静電植毛 (2009)
  • Author(s): 前田全啓, 岩附信行, 森川広一
  • Organizer: 2009年度精密工学会春季大会学術講演会
  • Place of Presentation: 中央大学後楽園キャンパス
  • Year and Date: 2009-03-11
• [Presentation] マイクロ繊毛アクチュエータ群 (2009)
  • Author(s): 岩附信行
  • Organizer: (社)日本工業技術振興協会スマート・アクチュエータセンサ委員会講演会
  • Place of Presentation: 東京工業大学田町キャンパスイノベーションセンター
  • Year and Date: 2009-02-06
• [Presentation] マイクロ繊毛アクチュエータ群の研究 (2008)
  • Author(s): 岩附信行
  • Organizer: 文部科学省科学研究費補助金特定領域研究「ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究」第5回公開シンポジウム
  • Place of Presentation: 東京大学武田先端知ビル
  • Year and Date: 2008-12-09
• [Presentation] Fabrication of Micro Cilium Actuators in Group with Nickel Plating and Sheet Conveyance Experiments (2008)
  • Author(s): Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa, Yoshito Nishida
  • Organizer: The 12th International Conference on Mechatronics Technology
  • Place of Presentation: Radisson Hotel Sudbury
  • Year and Date: 2008-10-14
• [Presentation] マイクロ繊毛アクチュエータの外周電極の分割形成と先端楕円軌道生成への試み, (2008)
  • Author(s): 尾上知道, 岩附信行, 森川広一
  • Organizer: 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • Place of Presentation: 東北大学川内キャンパス
  • Year and Date: 2008-09-18
• [Presentation] Fabrication of Micro Cilium Actuators in Group and Driving Experiments (2008)
  • Author(s): Nobuyuki Iwatsuki, Yoshito Nishida, Koichi Morikawa
  • Organizer: The 11th International Conference on New Actuators
  • Place of Presentation: Bremen Convention Center
  • Year and Date: 2008-06-11
• [Presentation] マイクロ繊毛アクチュエータ群の開発〜ニッケルめっきに電極接合による繊毛アクチュエータアレイ・群の作成と駆動実験〜 (2008)
  • Author(s): 西田吉人, 岩附信行, 森川広一
  • Organizer: 第20回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
  • Place of Presentation: 別府国際コンベンションセンター
  • Year and Date: 2008-05-21
• [Presentation] Micro Cilium Actuators in Group (2008)
  • Author(s): Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa
  • Organizer: The 2nd International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs
  • Place of Presentation: APA hotel Tokyo-bay
  • Year and Date: 2008-04-17
• [Presentation] Micro Cilium Actuators in Group (2007)
  • Author(s): Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa
  • Organizer: Proc. of The 4th Public Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs
  • Place of Presentation: Okinawa International Convention Center
  • Year and Date: 2007-11-19
• [Presentation] Fabrication of a Micro Cilium Actuator and Its Driving Experimentc (2007)
  • Author(s): Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa, Yoshito Nishida and Ryota Tanabe
  • Organizer: 11th International Conference on Mechatronics Technology
  • Place of Presentation: Lotte Hotel Ulsan
  • Year and Date: 2007-11-08
• [Presentation] マイクロ繊毛アクチュエータの作成と駆動実験 (2007)
  • Author(s): 岩附信行, 森川広一, 西田吉人, 田辺龍太
  • Organizer: 第13回日本IFToMM会議シンポジウム
  • Place of Presentation: 東京工業大学
  • Year and Date: 2007-07-12
• [Presentation] 圧電マイクロ繊毛アクチュエータの内部電極の接合 (2007)
  • Author(s): 岩附信行, 森川広一, 田辺龍太, 西田吉人
  • Organizer: 第19回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
  • Place of Presentation: 早稲田大学国際会議場
  • Year and Date: 2007-05-17
• [Presentation] マイクロ繊毛アクチュエータ群の研究 (2006)
  • Author(s): 岩附信行, 森川広一
  • Organizer: 文部科学省科学研究費補助金特定領域研究「ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究」第3回公開シンポジウム
  • Place of Presentation: 仙台国際センター
  • Year and Date: 2006-12-18
• [Presentation] 水熱合成法によるマイクロ繊毛アクチュエータの圧電薄膜の形成 (2006)
  • Author(s): 森田堅次郎, 岩附信行, 岡田昌史
  • Organizer: 第12回日本IFToMM会議シンポジウム
  • Place of Presentation: 東京工業大学大岡山キャンパス
  • Year and Date: 2006-06-30
• [Presentation] Development of Micro Ciliary Actuators in Group (2006)
  • Author(s): Nobuyuki Iwatsuki, Kenjiro Morita, Koichi Morikawa
  • Organizer: The 10th International Conference on New Actuators
  • Place of Presentation: Bremen Convention Center
  • Year and Date: 2006-06-15
• [Presentation] マイクロ繊毛アクチュエータの研究 (2006)
  • Author(s): 岩附信行, 森川広一, 森田堅次郎
  • Organizer: 第18回電磁力関連のダイナミクスシンポジウム
  • Place of Presentation: 神戸国際会館
  • Year and Date: 2006-05-19
• [Presentation] Development of Micro Ciliary Actuators in Group (2006)
  • Author(s): Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morita, Kenjiro Morita
  • Organizer: 1st International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthrough
  • Place of Presentation: 幕張プリンスホテル
  • Year and Date: 2006-04-20
• [Presentation] マイクロ繊毛アクチュエータ群の研究 (2005)
  • Author(s): 岩附信行, 森川広一
  • Organizer: 文部科学省科学研究費補助金特定領域研究「ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究」第2回公開シンポジウム
  • Place of Presentation: 岡山大学創立50周年記念館
  • Year and Date: 2005-12-02
• [Presentation] マイクロ繊毛アクチュエータ群の研究 (2005)
  • Author(s): 岩附信行, 森川広一
  • Organizer: 文部科学省科学研究費補助金特定領域研究「ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究」第1回公開シンポジウム
  • Place of Presentation: 東京工業大学
  • Year and Date: 2005-01-25
• [Remarks]
  • URL: http://www.dynamics.mep.titech.ac.jp/japanese/index.html
• [Remarks]
  • URL: http://yokota-www.pi.titech.ac.jp/index-A.html