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2004 Fiscal Year Annual Research Report

マイクロ・ナノ立体加工技術の開発と次世代マイクロアクチュエータへの展開

Research Project

Project/Area Number 16078212
Research InstitutionUniversity of Hyogo

Principal Investigator

服部 正  兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (70326297)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 石垣 博行  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 教授 (40081244)
内海 裕一  兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助教授 (80326298)
銘刈 春隆  兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助手 (30321681)
Keywords放射光 / LIGA / マイクロマシン / X線マスク / ナノマイクロファブリケーショ / マイクロシステム / MEMS / マイクロアクチュエータ
Research Abstract

本研究では、兵庫県立大学高度産業科学技術研究所がすでに確立している3DLIGAプロセスとメタライズ技術をマイクロアクチュエータの作製に応用すべく、作製プロセス上の問題点を洗い出し、更なる高精度化を図った。
マイクロアクチュエータへの適用を見据えて現在の研究開発動向を調査した。その結果、電磁型マイクロアクチュエータの開発を目指す事とした。
立体マイクロコイル作製のために開発した3DLIGAプロセスを工程毎に問題提起を行い、条件の最適化、プロセスの再構築を行った。
(1)立体形状を持つ母材を塗布するディップング装置を新規に設計し、チャッキング部分の作製に取り掛かった。
(2)3DX線リソグラフィでは、X線マスクのアライメント機能を飛躍的に充実させ、ラインアンドスペースパターン転写による議事螺旋構造体の作製から、ドットラインパターンの転写による新生螺旋構造体の作製を目指す。本年度はこの中核技術となるX線マスクのアライメント機能を新規開発中である。
(3)ナノ単位で工作機械を制御しうる超精密加工機の新たな用途の確立と可能性を模索すべく、超精密5軸加工機を用いた切削加工技術を応用した立体コイルマスターを試作中である。
(4)電鋳による微細構造金型を作製するにあたり、有限要素方による電流密度分布解析を行い、陰極電柱密度分布の均一化を図った。実際の実験結果との相関が取れ、電流密度分布の均一化が図れることがわかり、また、電析膜の平面度も向上できた。

  • Research Products

    (6 results)

All 2005 2004

All Journal Article (6 results)

  • [Journal Article] 3DLIGAプロセスによるスパイラル型マイクロコイルの作製2005

    • Author(s)
      銘苅春隆 他
    • Journal Title

      第18回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム

      Pages: 147

  • [Journal Article] 円筒型コイルを利用した電磁駆動ソレノイド型マイクロアクチュエータの製作2005

    • Author(s)
      望月浩晃 他
    • Journal Title

      平成17年電気学会全国大会

      Pages: 180

  • [Journal Article] Fabrication of Mold Master for Spiral Microcoil Utilizing X-Ray Lithography of Synchrotron Radiation2004

    • Author(s)
      H.Mekaru, et al.
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics 43

      Pages: 4036-4040

  • [Journal Article] Fabrication of Spiral Micro-Coil Utilizing LIGA Process2004

    • Author(s)
      O Shimada, et al.
    • Journal Title

      The International Conference on Electrical Engineering 2004 (ICEE2004)

      Pages: 553-556

  • [Journal Article] Development of 3D-LIGA Process to Fabricate Spiral Microcoil2004

    • Author(s)
      H.Mekaru, et al.
    • Journal Title

      2004 International Microprocesses and Nanotechnology Coference

      Pages: 330-331

  • [Journal Article] ウォーム成形技術のLIGAプロセスへの応用2004

    • Author(s)
      佐藤憲昭 他
    • Journal Title

      日本器械学会第4回機素潤滑設計部門講演会

      Pages: 67-68

URL: 

Published: 2006-07-12   Modified: 2016-04-21  

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