2004 Fiscal Year Annual Research Report
マイクロ・ナノ立体加工技術の開発と次世代マイクロアクチュエータへの展開
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16078212
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| Research Institution | University of Hyogo |
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Principal Investigator |
服部 正 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (70326297)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
石垣 博行 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 教授 (40081244)
内海 裕一 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助教授 (80326298)
銘刈 春隆 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助手 (30321681)
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| Keywords | 放射光 / LIGA / マイクロマシン / X線マスク / ナノマイクロファブリケーショ / マイクロシステム / MEMS / マイクロアクチュエータ |
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| Research Abstract |
本研究では、兵庫県立大学高度産業科学技術研究所がすでに確立している3DLIGAプロセスとメタライズ技術をマイクロアクチュエータの作製に応用すべく、作製プロセス上の問題点を洗い出し、更なる高精度化を図った。
マイクロアクチュエータへの適用を見据えて現在の研究開発動向を調査した。その結果、電磁型マイクロアクチュエータの開発を目指す事とした。
立体マイクロコイル作製のために開発した3DLIGAプロセスを工程毎に問題提起を行い、条件の最適化、プロセスの再構築を行った。
(1)立体形状を持つ母材を塗布するディップング装置を新規に設計し、チャッキング部分の作製に取り掛かった。
(2)3DX線リソグラフィでは、X線マスクのアライメント機能を飛躍的に充実させ、ラインアンドスペースパターン転写による議事螺旋構造体の作製から、ドットラインパターンの転写による新生螺旋構造体の作製を目指す。本年度はこの中核技術となるX線マスクのアライメント機能を新規開発中である。
(3)ナノ単位で工作機械を制御しうる超精密加工機の新たな用途の確立と可能性を模索すべく、超精密5軸加工機を用いた切削加工技術を応用した立体コイルマスターを試作中である。
(4)電鋳による微細構造金型を作製するにあたり、有限要素方による電流密度分布解析を行い、陰極電柱密度分布の均一化を図った。実際の実験結果との相関が取れ、電流密度分布の均一化が図れることがわかり、また、電析膜の平面度も向上できた。
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