2005 Fiscal Year Annual Research Report
マイクロ・ナノ立体加工技術の開発と次世代マイクロアクチュエータへの展開
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16078212
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| Research Institution | University of Hyogo |
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Principal Investigator |
服部 正 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (70326297)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
石垣 博行 兵庫県立大学, 教授 (40081244)
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| Keywords | LIGAプロセス / X線リソグラフィ / マイクロアクチュエータ / 三次元構造体 / 高アスペクト比加工 / マイクロマシン / マイクロシステム / MEMS |
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| Research Abstract |
本研究では,本学高度産業科学技術研究所がすでに確立している三次元LIGAプロセスとメタライズ技術をマイクロアクチュエータの作製に応用すべく研究を進めている.
前年度の研究開発動向調査の結果を受け,マイクロアクチュエータの駆動方法に電磁型を採用して,キーデバイスとなる円筒マイクロコイル作製のプロセス開発を行った.三次元X線リソグラフィ技術を駆使して立体円筒形状に疑似螺旋構造体を作製することによりコイルを作製した.X線リソグラフィにおけるアライメント機構を飛躍的に向上させることで,立体形状にも10μmラインアンドスペースの微細な細線を形成することが出来,アスペクト比が約5となるコイルラインの作製に成功した.電流路となる疑似螺旋構造体の高アスペクト比加工が実現すると,同一サイズにおいて電磁型アクチュエータの出力を飛躍的に大きくすることが可能となる.現在作製した疑似螺旋構造体にコイルラインとなる銅をめっきするプロセスを開発中であり,円筒コイルの完成となる.
一方で作製した電磁型アクチュエータを評価する装置を開発した.電磁型アクチュエータのコイル部分を交換するだけで測定が可能であり,様々なアスペクト比を有するコイルラインに対応させた.これにより,実際に高アスペクト比加工の優位性を検証できるようにした.
アクチュエータの作製プロセスにおける条件の最適化を行いながら,マイクロ・ナノ立体加工トータルプロセスの観点から,プロセスフローの完成を目指す.
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