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2005 Fiscal Year Annual Research Report

周波数コムを用いた光コヒーレンス・トモグラフィの研究

Research Project

Project/Area Number 16360027
Research InstitutionTokyo University of Agriculture and Technology

Principal Investigator

黒川 隆志  東京農工大学, 大学院・共生科学技術研究部, 教授 (40302913)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 田中 洋介  東京農工大学, 大学院・共生科学技術研究部, 講師 (20283343)
塩田 達俊  東京農工大学, 大学院共生科学技術研究部, 助手 (10376858)
武田 光夫  電気通信大学, 電気通信学部, 教授 (00114926)
KeywordsOCT / 光周波数コム / 干渉計 / FRM
Research Abstract

従来の光による形状計測では,広帯域光源を用いた低コヒーレンス干渉や波長可変レーザを用いた波長走査法やコヒーレンス関数合成法のように時間平均として仮想的な周波数コム合成法も試みられている。しかし、これらは周波数間隔とコム発生法に制限が多く,ファイバセンシングのような距離計測に対しての応用に限られている.本研究では光周波数コムの周波数帯域を広帯域化して、周波数間隔数十GHzの光コムを用いた新しい表面形状法を提案し,本方式を適用して段差計測または膜厚計測を行った.
平成16年度は光周波数コムの発生方法として、波長1550nmのレーザー光を直列につながれた2個の位相変調器に入射することで12GHz間隔で,帯域500GHzの周波数コムを発生した.この時,片方の位相変調器に逓倍器によって2倍波の変調信号を入力することでより広い帯域の周波数コムが得られた.この手法により0.1mmから10mに及ぶ範囲で任意の深さの表面形状を物理的な稼動部を必要せずに計測することができる.実験によって計測精度300μmが得られた.
平成17年度はさらに高分解能な計測を実現するために、コムのピーク間隔を2倍に広げた上に共振器内に位相変調器を設置して光周波数コムの帯域を広げる方法を用いた。その結果、帯域は約10THzとなり前年度の約20倍の帯域が得られた。ここで共振器の周波数特性を利用すると約30MHzから40MHzの範囲を掃引できることがわかった。この光源を実験に応用500μmの膜厚のガラス板を試料として繰返し計測を行った。その結果、帯域は約10THzとなり計測の精度を19.7μmとすることに成功した。

  • Research Products

    (8 results)

All 2006 2005

All Journal Article (7 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Journal Article] 周波数コム光源の高密度WDM伝送への適用性2006

    • Author(s)
      星隆, 杉本, 山本(光), 塩田, 田中, 森, 日隈, 黒川
    • Journal Title

      電子情報通信学会総合大会 C-4-12

  • [Journal Article] 広帯域コム光のスペクトル整形による250GHzパルス列発生2006

    • Author(s)
      武田, 青木, 塩田, 田中, 津田, 黒川
    • Journal Title

      第53回応用物理学関係連合講演会 24a-Y-6

  • [Journal Article] Optical frequency comb generation using dual frequency optical phase modulation2005

    • Author(s)
      M.Yamamoto, Y.Tanaka, T.Shioda, T.Kurokawa
    • Journal Title

      OSA, Integrated Photonics Research and Applications ItuF5

  • [Journal Article] Arbitrary Waveform Optical Pulse Generation Using an Optical Pulse Synthesizer2005

    • Author(s)
      D.Miyamoto, K.Mandai, H.Tsuda, K.Aizawa, T.Kurokawa
    • Journal Title

      WFOPC2005 (Workshop on Fibers and Optical Passive Components) III-3

      Pages: 22-24

  • [Journal Article] Investigation of transmission property of optical resonator for effective frequency comb generation.2005

    • Author(s)
      T.Sugimoto, M.Yamamoto, T.Yamamoto, T.Shioda, Y.Tanaka, S.Mori, K.Higuma, T.Kurokawa
    • Journal Title

      11th Microoptics Conference (MOC'05) H41

  • [Journal Article] AWGを用いた光パルスシンセサイザによる50GHz繰り返しパルスの発生2005

    • Author(s)
      武田, 青木, 萬代, 田中, 塩田, 津田, 黒川
    • Journal Title

      日本光学会年次学術講演会(OJ2005) 23aF2

      Pages: 44-45

  • [Journal Article] 光共振器の光コム透過特性の検討2005

    • Author(s)
      杉本, 山本, 山本, 塩田, 田中, 森, 日隈, 黒川
    • Journal Title

      日本光学会年次学術講演会(OJ2005) 23aF3

      Pages: 46-47

  • [Patent(Industrial Property Rights)] 形状測定方法、形状測定装置および周波数コム光発生装置2005

    • Inventor(s)
      黒川 隆志, 田中 洋介, 塩田 達俊
    • Industrial Property Rights Holder
      国立大学法人東京農工大学
    • Industrial Property Number
      PCT/JP2005/015309
    • Filing Date
      2005-08-17

URL: 

Published: 2007-04-02   Modified: 2016-04-21  

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