2006 Fiscal Year Annual Research Report
超弾力性カーボンマイクロコイルを用いた超高感度・多機能型センサー/MEMSの開発
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16360039
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| Research Institution | Gifu University |
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Principal Investigator |
元島 栖二 岐阜大学, 工学部, 教授 (80021608)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
谷 和男 岐阜大学, 工学部, 教授 (20303505)
川村 拓也 岐阜大学, 工学部, 助手 (50313911)
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| Keywords | カーボンマイクロコイル / 近接センサ / 超弾力性コイル / 触覚センサ |
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| Research Abstract |
(A)カーボンマイクロコイル(CMC)表面へのNi-P系膜のコーティングとその電気特性評価を行った結果、CMCの導電性の向上は認められたが、触覚センサ特性の向上は認められなかった。
(B)センサ素子の作成と特性評価を行った。
マトリックスとしてポリシリコーン及びポリウレタンを用いてCMCセンサ素子を作製し、素子パラメータのセンサ特性に及ぼす影響を検討した。触覚センサ及び近接センサ特性に及ぼすCMC添加量は、それぞれ最適値があることが認められた。又素子の硬さ及び温度は検出感度に大きな影響を及ぼすことがわかった。
(C)内視鏡支援ロボットへのCMCセンサの装着と特性評価を行った。荷重変化に対して出力信号の変化が観察されたが、ノイズも大きく出ることがわかり、その対策を検討した。
(D)CMCセンサの近接センサとしての特性評価を行った。非接触でも導電性物体(金属や人間)が20-30cm以内に接近すると信号変化が観察され、接触すると非常に大きな信号変化〔触覚信号〕が出ることが見出された。近接センサ特性を応用して、大型医療用機器への安全対策用モデル装置を製作し、十分機能することを確認した。
(E)生体音響検出センサを試作した。
非常に柔らかいあるいはゲル状マトリックスを使用したセンサ素子を試作し、血流信号や脳波信号の検出を試みたが、十分な成果はまだ上がっていない。
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