2005 Fiscal Year Annual Research Report
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16360066
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
梅原 徳次 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70203586)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
上坂 裕之 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 講師 (90362318)
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| Keywords | 機能性表面 / 摩擦 / パターニング / プラズマ / イオンビーム / CNx |
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| Research Abstract |
本研究では実用化されているMEMSの代表であるハードディスクドライブ装置(HDD装置)の高記録密度化の決め手として期待されている、超低摩擦・耐摩耗・低跳躍スライダーのための機能性表面の創成及び評価技術開発を行うことを目的とした.具体的な研究成果を以下に示す.
平成16年度の研究成果で得られた基礎的な微小突起の形成技術を進めて、スライダー面の設計と製作を行い、超低摩擦・耐摩耗・低跳躍スライダー実現のための基礎的な微細加工技術及びその設計指針を確立することを主眼に置き、(1)ECRプラズマによる均一強度・高密度プラズマ源による微小突起創成装置の開発、(2)表面波励起マイクロ波プラズマとイオンビームミキシング装置を用いたCNx膜の成膜を行った。
(1)ECRプラズマによる均一強度・高密度プラズマ源による微小表面パターニングの創成
マイクロパターニングのためのマスクを用いて、イオンビームスパッタあるいはプラズマスパッタでパターニングし、その可能性を明らかにする。そのためにマスクを集束イオンビーム装置で作成し,基板上に照射し,直径数μmで長さが数10μmの高アスペクト比の微小突起が作製出来ることを明らかにした.
(2)パターニングされたスライダーの摩擦試験
パターニングされたスライダーの摩擦特性を評価した。その結果,起動時の摩擦係数を減少可能であることが明らかにされた.また,モデル試験として押し込み加工による微細パターニングされたスライダーの摩擦試験も行い,パターンにより摩擦係数の速度依存性が制御可能であることを示した.
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