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2004 Fiscal Year Annual Research Report

CSD法薄膜のハイブリッドインテグレーションによるスマートナノセンサーの開発

Research Project

Project/Area Number 16360325
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Research InstitutionShizuoka University

Principal Investigator

鈴木 久男  静岡大学, 工学部, 助教授 (70154573)

Keywords強誘電体薄膜 / CSD法 / 配向制御 / PZT / 酸化物電極 / マイクロパターニング / 自己組織化膜
Research Abstract

平成16年度は強誘電体薄膜のナノパターニングが可能な自己組織化膜(SAM)の開発を主なテーマとして、以下の研究計画を推進した。
(1)C系で側鎖にFと金属親和性の基を同時に持つ自己組織化膜用前駆体溶液の開発を試みる。具体的には、側鎖へのチオールの導入を試みる。また、紫外線の照射によるパターニングを容易とするような官能基の主鎖への導入も不可欠である。主鎖のCの数は、極性を考慮して比較的数を多くする。そして、主鎖のCの数と側鎖のFの数の違いによるパターニングサイズの限界を調査する。
(2)上述の方法でパターニングした強誘電体薄膜の電気特性を評価し、特性発現に必要であれば多層回のコーティングが可能となる自己組織化膜の開発を試みる。
(3)パターニングが数十μm以下のセルサイズで可能となった場合、そのマイクロアレイの強誘電特性や圧電特性を研究経費で購入した強誘電特性評価システムと既存の走査型プローブ顕微鏡(SPM)と組み合わせて評価する。
その結果、PZT薄膜系において、SAMを用いたマイクロパターニング方法を確立した。また、この様にして形成したPZTマイクロパターンの強誘電特性を測定し、パターニングしていないPZT薄膜とほぼ同等の特性が得られることを明らかにした。
さらに、電気特性改善のために強誘電体薄膜で一般的なペロブスカイト化合物のエピタキシャル的な成長がCSD法を用いた場合でも可能となることを明らかにした。
パターニングしないPZT薄膜については、SPMを用いた圧電特性などの特性評価方法を確立し、ナノセンサー作成後の評価を行うための基礎研究を行った。その結果、薄膜の圧電特性を正確に評価する手法を確立した。

  • Research Products

    (14 results)

All 2004 Other

All Journal Article (14 results)

  • [Journal Article] Pb(Zr, Ti)O_3 Thin Film Grown on Seeding Layer with Electric Field-Assisted Annealing2004

    • Author(s)
      H.Nakayama, S.Suzuki, S.Miyahara, H.Suzuki
    • Journal Title

      Transactions of Materials Research Society of Japan 29,[8]

      Pages: 3435-3438

  • [Journal Article] Effect of Rapid Thermal Annealing on Residual Stress in Lead Titanate Thin Film by Chemical Solution Deposition2004

    • Author(s)
      T.Ohno, H.Suzuki, D.S.Fu, M.Takahashi, T.Ota, K.Ishikawa
    • Journal Title

      Ceramics International 30

      Pages: 1487-1491

  • [Journal Article] Effect of Back-Etching on Residual Stress in Lead Titanate Thni Films on Si Wafer2004

    • Author(s)
      H.Suzuki, H.Masui, K.Ishikawa, M.Fujimoto
    • Journal Title

      Jpn.J.Appl.Phys 43

      Pages: 6549-6553

  • [Journal Article] Micro-patterning of Sol-Gel-derived PZT Thin Film with SAM2004

    • Author(s)
      H.Suzuki, T.Mori, T.Fujinami, T.Ota, M.Fuji, M.Takahashi
    • Journal Title

      Ceramics International 30

      Pages: 1811-1813

  • [Journal Article] Residual Stress in Lead Titanate Thin Film on Different Substrates2004

    • Author(s)
      T.Ohno, H.Suzuki, D.S.Fu, M.Takahashi, T.Ota, K.Ishikawa
    • Journal Title

      Ceramics International 30

      Pages: 1487-1491

  • [Journal Article] Pb(Zr_<0.4>Ti_<0.6>)O_3ナノ粒子のサイズ効果2004

    • Author(s)
      大野智也, 鈴木大輔, 鈴木久男, 石川賢司
    • Journal Title

      粉体工学会誌 41

      Pages: 451-456

  • [Journal Article] ラマン分光法によるBaTiO_3ナノ粒子の誘電特性の評価2004

    • Author(s)
      大野智也, 鈴木久男
    • Journal Title

      粉体工学会誌 41

      Pages: 86-91

  • [Journal Article] Chemical Solution Deposition of Conductive SrRuO_3 Thin Film on Si Substrate2004

    • Author(s)
      H.Suzuki, Y.Miwa, H.Miyazaki
    • Journal Title

      Ceramics International 30[7]

      Pages: 1357-1360

  • [Journal Article] Influence of Electric-Field-Assisted Annealing on Orientation of PZT Thin Films2004

    • Author(s)
      H.Nakayama, M.shouichi, S.Suzuki, H.Suzuki
    • Journal Title

      Jpn.J.Appl.Phys 43

      Pages: 242-246

  • [Journal Article] Preparation and Evaluation of LaNiO_3 thin film Electrode with Chemical Solution Deposition2004

    • Author(s)
      H.Miyazaki, T.Goto, Y.Miwa, T.Ohno, H.Suzuki, T.Ota, M.Takahashi
    • Journal Title

      Journal of the European Ceramic Society 24

      Pages: 1005-1008

  • [Journal Article] Orientation Control and Electrical Properties of PZT/LNO capacitor through Chemical Solution Deposition

    • Author(s)
      H.Suzuki, Y.Miwa, T.Naoe, H.Miyazaki, T.Ota, M.Fujii, M.Takahashi
    • Journal Title

      Journal of the European Ceramic Society In press

  • [Journal Article] Effect of Seeding Layer on Orientation Control of Potassium Niobate Thin Film by CSD

    • Author(s)
      T.Ohno, M.Fujimoto, T.Ota, M.Fujii, M.Takahashi, H.Suzuki
    • Journal Title

      Journal of the European Ceramic Society In press

  • [Journal Article] Chemical solution deposition of PZT/oxide electrode thin film capacitors with preferred orientation of Si substrate

    • Author(s)
      H.Suzuki, Y.Miwa, T.Ohno, M.Fujimoto
    • Journal Title

      Key engineering Materials In press

  • [Journal Article] Preparation and characterization of PZT thin films on ITO/glass substrate by CSD

    • Author(s)
      T.Ohno, M.Fujimoto, H.Suzuki
    • Journal Title

      Key engineering Materials In press

URL: 

Published: 2006-07-12   Modified: 2016-04-21  

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