• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2006 Fiscal Year Annual Research Report

クロム系硬質薄膜の合成と切削工具、摺動部材および精密金型への応用

Research Project

Project/Area Number 16360367
Research InstitutionKeio University

Principal Investigator

鈴木 哲也  慶應義塾大学, 理工学部, 教授 (10286635)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 野口 裕久  慶應義塾大学, 理工学部, 教授 (70218303)
小茂鳥 潤  慶應義塾大学, 理工学部, 助教授 (30225586)
幾原 雄一  東京大学, 大学院・理工学研究科・総合研究機構, 教授 (70192474)
Keywordsナノ材料 / 機械材料・材料力学 / 表面・界面物性 / 材料加工・処理 / 界面 / 環境材料
Research Abstract

本年度は最終年度であり,4元系窒化物を作製し,その評価を実施した.本研究の最終目的はクロム系薄膜にAl添加し,現在使用されているTi系窒化物薄膜を凌駕できるかを明らかにし,実用化研究への指針を示すことである.さらに本研究で得られた最良のCr1-xAlxN膜に少量のTiを添加した(Ti, Cr, Al, Si)N薄膜においては,Al含有量の増加に伴い,結晶構造が変化し,Al55at.%以下では立方晶単相を示した.また,Al58at.%以上ではAl含有量の増加に伴い立方・六方晶の混合相から六方晶単相へ結晶構造変化を起こした.
(Ti, Cr, Al, Si)N薄膜の微小硬度は,結晶構造と関係があり,立方晶と六方晶とでは比較的,立方晶で高硬度が得られた.また,Al44.0at.%で最大硬さ31.0GPaとなった後,Al含有量の増加に伴い微小硬度が26.0GPaまで低下した.TEM観察で,立方晶(Ti, Cr, Al, Si)Nの結晶粒が5-10nm程度に微細化されており,それに対し,六方晶の(Ti, Cr, Al, Si)Nは50-200nmで粗大であることが確認された.
以上より,(Ti, Al)NにSiおよびCr元素を添加することにより,(Ti, Al)Nを凌駕するセラミックス薄膜が得られた.また,熱安定性と耐酸化性を向上させるのに,Si添加が効果的であることが明らかとなった.

  • Research Products

    (4 results)

All 2006

All Journal Article (4 results)

  • [Journal Article] Microstructures and Microhardness in Cr_xAl_yN Films Synthesized by Cathodic Arc Method2006

    • Author(s)
      T.Sato et al.
    • Journal Title

      Surface & Coatings Technology, Surface & Coatings Technology Vol.201

      Pages: 1348-1351

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [Journal Article] Mineral compositions, microstructures, and mechanical properties of primary materials from the Paleolithic age2006

    • Author(s)
      K.Yonekura et al.
    • Journal Title

      Materials Characterization Vol.56

      Pages: 165-168

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [Journal Article] The effects of deposition temperature and post-annealing on the crystal structure and mechanical property of TiCrAlN films with high Al contents2006

    • Author(s)
      H.Hasegawa et al.
    • Journal Title

      Surface & Coatings Technology Vol.200

      Pages: 2864-2869

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [Journal Article] Compositions and microstructures of Primary Ceramic Materials in the Paleolithic Age Through XRD, SEM, and TEM analyses2006

    • Author(s)
      K.Yonekura et al.
    • Journal Title

      Journal of American Ceramic Society Vol.89

      Pages: 316-319

    • Description
      「研究成果報告書概要(和文)」より

URL: 

Published: 2008-05-08   Modified: 2016-04-21  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi