2005 Fiscal Year Annual Research Report
オートチューニング機構付光干渉型マイクロセンサの開発
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16360446
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
浅沼 宏 東北大学, 大学院・環境科学研究科, 助教授 (50250717)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
新妻 弘明 東北大学, 大学院・環境科学研究科, 教授 (90108473)
江刺 正喜 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授 (20108468)
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| Keywords | マイクロセンサ / 加速度センサ / ファブリ・ペロー干渉計 / 動作点 / オートチューニング |
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| Research Abstract |
本研究は,ファブリ・ペロー干渉計の原理による光干渉型センサに動作点制御用のフィードバック機構を組み込み,センサ製作時のギャップの個体差や,温度・重力・圧力等の外因によらず自動的に感度やダイナミックレンジを制御するセンサを製作し,それを用いた地下計測用多チャンネル光ファイバ計測システムを実現することを目的として実施中した。平成17年度の成果は以下の通り。
1.ギャップ長制御用フィードバック機構の検討
・フィードバック機構を小型化するため,フィードバック機構について再検討し,試作する。また,センサとフィードバック用ディジタルLSIが一体化したハイブリッド構造について検討し,回路シミュレータにより基本的な設計と性能評価を実施した。
2.フィードバック機構を組み込んだセンサの試作
・平成16年度の成果を踏まえ,オートチューニング機構を組み込んだ弾性波センサ,超音波センサ試作し,感度の変化,フィードバック機能の性能等を評価した。
3.多チャンネル計測システムの開発(浅沼,新妻)
・平成16年度に検討した多重化方法,フィードバック方法による信号復元部,フィードバック部を製作し,試作した超音波センサおよび加速度センサを接続して多チャンネル計測システムとしての性能を評価した。
・実坑井内,水中,地中での本システムの性能を評価し,地下計測用センサとしての適合性を評価する。
4.総括,成果の公表(全員)
・フィードバック機構を有する多チャンネル光干渉型センサシステムの設計,製作方法をまとめ,さらに今後の研究課題を明らかにした。
・本研究の成果を国際学術論文誌へ投稿した。
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Research Products
(1 results)
