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2004 Fiscal Year Annual Research Report

ZnOナノロッド・ウィスカの成長制御技術の開発とそのディスプレイへの応用

Research Project

Project/Area Number 16510091
Research InstitutionKanagawa University

Principal Investigator

佐藤 知正  学校法人神奈川大学, 工学部, 助手 (90343631)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 平手 孝士  神奈川大学, 工学部, 教授 (60078300)
KeywordsZnO / ナノロッド / CVD / レーザアブレーション / 電界発光 / 直流
Research Abstract

ディスプレイへの応用に向けたナノ構造ZnOの成長制御を減圧熱CVD法とレーザアブレーション法と組み合わせた方法により取り組んだ。
ZnOの成長は主にCVD法によるが、その成長中にレーザアブレーションにより添加する物質の違いによりZnO成長形状が大きく異なる。レーザアブレーションターゲットとしてMnペレットを用いた場合、配向性の良いロッド形状に成長する成長条件を見い出し、またその成長経過を明らかにした。それによると、ロッド下部には基板横方向に連続した核生成層が存在するが、その核生成層形成中のMnのレーザアブレーション条件が核生成層の厚さやその後に成長して来るロッドの径、密度、配向性に大きく影響することがわかった。またレーザアブレーションターゲットとしてZnOペレットを用いた場合、配向性の良いロッド形状に成長させるには、Mnの場合よりも成長温度を50℃程高める必要があることがわかった。この場合もZnO成長初期のレーザアブレーション条件がその後のロッドの成長形状をほぼ支配するが、Mnの場合よりも核生成層が薄く、横方向に連続しないように作製することもできた。さらにPLスペクトルの検討からレーザアブレーションターゲットの違いによりZnOナノロッドの主な結晶欠陥種の違いが生じることもわかった。
このZnOナノロッドのディスプレイへの応用として、ITO /ZnS:Mn/ nanorods-ZnO /p-Si構造の直流電界発光デバイスを作製した。ZnOナノロッド層の挿入は絶縁破壊電圧の向上に効果があることは既にわかっていたが、p-Si基板上にZnOナノロッド層を作成後にO_2雰囲気下、700℃で熱処理を施すことによりデバイスのさらなる絶縁破壊性の向上と発光輝度の改善に効果があることがわかった。

  • Research Products

    (6 results)

All 2005 2004

All Journal Article (6 results)

  • [Journal Article] Annealing Effects of ZnO Nanorods on DC Inorganic Electroluminescent Device Characteristics2005

    • Author(s)
      S.Sasaki, H.Miyashita, T.Kimpara, T.Satoh, T.Hirate
    • Journal Title

      Progress in Compound Semiconductor Materials IV-Electronic and Optoelectronic Applications, (Mater.Res.Soc.Symp.Proc.) 829

      Pages: B2.20.2

  • [Journal Article] Effects of Laser-ablated Impurity on Aligned ZnO Nanorods Grown by Chemical Vapor Deposition2004

    • Author(s)
      T.Hirate, S.Sasaki, W.Li, H.Miyashita, T.Kimpara, T.Satoh
    • Journal Title

      Proceedings of 2004 International Conference on Polycrystalline Semiconductors (to be published)

  • [Journal Article] ITO/ZnS:Mn/ZnO nanorods/p-Si型直流電界発光素子の電流制限機構に関する検討2004

    • Author(s)
      佐々木紳也, 佐藤知正, 平手孝士
    • Journal Title

      2004年電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集

      Pages: C-9-1

  • [Journal Article] MnをドーピングしたナノロッドZnOの成長過程2004

    • Author(s)
      宮下裕史, 佐々木紳也, 栗 偉哲, 佐藤知正, 平手孝士
    • Journal Title

      2004年電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集

      Pages: C-6-1

  • [Journal Article] ナノ構造ZnO成長における成長温度の影響2004

    • Author(s)
      金原孝志, 佐々木伸也, 栗 偉哲, 佐藤知正, 平手孝士
    • Journal Title

      2004年電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集

      Pages: C-6-2

  • [Journal Article] ZnOナノロッドの電界放出特性における熱処理効果2004

    • Author(s)
      栗 偉哲, 金原孝志, 宮下裕史, 佐藤知正, 平手孝士
    • Journal Title

      2004年電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集

      Pages: C-9-2

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Published: 2006-07-12   Modified: 2016-04-21  

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