2004 Fiscal Year Annual Research Report
ナノ球リソグラフィーとシャドーコーン法によるナノロッド配列の作製と光学特性評価
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16651073
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| Research Institution | Institute for Molecular Science |
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Principal Investigator |
田中 啓文 分子科学研究所, 分子スケールナノサイエンスセンター, 助手 (90373191)
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| Keywords | ナノ構造制御 / シャドウコーン法 / ナノロッド配列 |
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| Research Abstract |
Si基板上にZnOのナノロッド群を作製すると非常に鋭いレーザー発振スペクトルを示すという報告がなされている。しかし、ナノロッドを簡便に等間隔に配列する方法は確立されているとはいえない。ナノロッドを等間隔に配列すれば、より鋭いレーザー発振スペクトルが得られたり、新規の光学特性が現れる可能性が期待できる。本研究の目的は、新しい蒸着法であるシャドウコーン法を用いて等間隔に配列するナノロッドを作製する方法を開発することである。われわれはまず、等間隔ロッド配列の作製法を確立するために比較的表面拡散速度の低いPtによるロッド作製を目指した。Ptロッド配列は蒸着パスが長いときには隣接するロッド同士接着することがなかったが、蒸着パスを短くすると隣接ロッド同士が接着した。これはパスが短いと蒸着の平行性が保たれないためである。その際、ナノ球リソグラフィーの球のあった部分のみ何も蒸着されることがなく穴として残った。つまり、蒸着パスを変化させることにより、得られるナノ構造が制御できることが明らかとなった。また、この穴はハニカム構造で配列していることから、磁性微粒子配列など今後の応用に期待ができる。次に光学デバイスを目指してZnOのロッド配列作製を試みるが、表面拡散速度が速いために基板に到達後に広がることが考えられ、そのままではシャドウコーン法の利用が困難である。今後、表面拡散を減少させるためにさまざまな物質を蒸着源にドープし、シャドウコーン法によるZnOロッド配列を実現を目指す予定である。
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