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2004 Fiscal Year Annual Research Report

針型マイクロプローブへのDLCコーティング技術の開発とその応用

Research Project

Project/Area Number 16651078
Research InstitutionThe University of Electro-Communications

Principal Investigator

奥山 直樹  電気通信大学, 電気通信学部, 講師 (50017406)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 角田 直人  電気通信大学, 電気通信学部, 助手 (70345437)
山田 幸生  電気通信大学, 電気通信学部, 教授 (10334583)
Keywordsマイクロプローブ / Diamond-like Carbon / プラズマCVD / 電気絶縁膜
Research Abstract

高周波プラズマCVD装置を基本システムとした針型マイクロプローブへのDLC成膜装置を開発した。真空チャンバ内にコーティング対象のプローブ(先鋭部径1μm、直径1mm、高さ50mm)を、その先鋭端を上向きの状態で立て、プローブ下端は高周波電源からのカソードロッドと接続することにより、プローブ自体をカソード電極とする構造とした。プローブが非導電性材料であれば、その外表面に金属膜をコーティングしておく。このカソード電極を中心としたメッシュ円筒型金属(直径40mm、高さ50mm)を配置し、アノード(グランド)電極とする。アノードをメッシュ構造にしたのは、ソースガスをアノード内に滞りなく供給するためである。以上の電極構造により、円周方向および鉛直方向に比較的一様なプラズマをアノード内のみに発生させることができる。ただし、プローブ先端部への過度なイオン衝突による温度上昇を抑制するため、プローブ上部へのプラズマ密度を小さくする必要があった。実験を重ねた結果、アノードとプローブの高さを同じにすることが有効であった。また、温度上昇を抑制するためには、上記の電極構造の工夫に加え、印加電圧の制御が必要であり、本研究では、短時間放電と冷却のサイクルの有効性を検証した。すなわち、最初に絶縁破壊を起こした後、放電維持電圧まで降下させ、一定時間経過後、冷却に移る。実際には、絶縁破壊電圧-400V放電維持電圧:-120V放電時間:5s、冷却時間:30sという条件によって、均一なDLC膜を生成することができた。作製したDLC膜のラマン分光測定を行い、炭素のsp^2とsp^3の混合した組成をもつ典型的なDLC膜であることを示した。また、体積抵抗率を測定した結果、10^<14>Ωcmのオーダーとなり、電気絶縁膜として十分機能することを明らかにした。

  • Research Products

    (3 results)

All 2005 2004

All Journal Article (2 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Journal Article] マイクロピペットへのDiamond-like Carbonコーティング技術の開発2005

    • Author(s)
      角田直人, 奥山直樹, 渡邉まゆ, 土谷遊, 山田幸生
    • Journal Title

      日本機械学会第17回バイオエンジニアリング講演会講演論文集 Vol.17

      Pages: 365-366

  • [Journal Article] Diamond-like carbon coating on micropipettes2004

    • Author(s)
      N.Kakuta, N.Okuyama, M.Watanabe, K.Mabuchi, Y.Yamada
    • Journal Title

      Proceedings of 26th Annual International Conference of the IEEE EMBS Vol.26

      Pages: 2454-2457

  • [Patent(Industrial Property Rights)] マイクロプローブ並びにその製造装置及び方法2005

    • Inventor(s)
      角田, 奥山, 渡邉, 山田
    • Industrial Property Rights Holder
      電気通信大学
    • Industrial Property Number
      特願2005-041142
    • Filing Date
      2005-02-17

URL: 

Published: 2006-07-12   Modified: 2016-04-21  

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