光近接場プローブを用いたスピンSEMの高分解能化とエネルギー分散測定のための研究

2004 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 16686003
• Research Institution: University of Yamanashi
• Principal Investigator: 居島 薫 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 助手 (10345697)
• Keywords: 2時電子スピン / Mott散乱方電子スピン検出器 / RHEED表面波共鳴現象

Research Abstract

本研究は、研究代表者(=居島薫)が以前北海道大学に於いて開発した(1)実験装置を現所属機関へ移設して再立ち上げすること、および(2)光近接場測定機構を新規に開発・搭載させ、これまでにない新しい表面磁性評価装置を開発することを目的している。
今年度は移設した実験装置の再立ち上げを目標に据えて本研究を進めたため、直接外部発表に結びつく成果は得られていない。現在はファーストデータ取得のための準備段階にあり、平成17年度の発表を目指している。補助金の主な使途は、超高真空雰囲気で試料を角度分解能良く操作出来かつ加熱(1000℃)冷却(-150℃)可能な試料ステージの作製、電子照射系の駆動回路と電源製作とした。
実験装置再立ち上げ箇所における今年度の実績は、真空排気系の清浄化による超高真空(2×10^<-8>Pa)の達成、電子照射系の搭載とその制御回路の作製、Mott散乱方電子スピン検出器搭載のための支持構造の製作、Ni球状単結晶試料を製作するための実験装置づくりと試料作製・評価実験、その他圧縮空気系・高電圧系の整備を行った。当初は年度内12月を目処にこれらを達成し、3月を目処にスピン計測のファーストデータを得る予定であったが、試料ステージ製作に時間を要したため、今年度の目標達成度は80%程度となった。
平成17年度は初年度の製作依頼(外注)や予算執行等のペース配分を再検討して、目的とする光近接場実験まで到達できるよう努力する。