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2005 Fiscal Year Annual Research Report

ナノ表面加工のための新しい環境配慮型砥石の開発とそれによる新加工技術の確立

Research Project

Project/Area Number 16760101
Research InstitutionThe Institute of Physical and Chemical Research

Principal Investigator

加藤 照子  独立行政法人理化学研究所, 大森素形材工学研究室, 協力研究員 (50312260)

Keywordsトライボロジー特性 / 加工特性 / 砥石製造条件 / ELID研削 / RBセラミックス / ボンド材料 / 単結晶シリコン / トライボファブリケーション
Research Abstract

本研究では,環境配慮型砥石のボンド材料として,米糠から生成されるRBセラミックス粒子を使用した.RBセラミックス粒子を配合したボンド材料(砥石サンプル,砥粒無し)は,RBセラミックス粒子とフェノール系レジンの混合紛(RBセラミックス粒子:レジン=80(vol.):20(vol.))をホットプレスにより加圧焼結させた後(焼成圧力19.6kPa,焼成温度180℃),窒素雰囲気中で300℃,500℃および900℃の温度で,1時間の再焼成を行って試作した.なお,再焼成を行わない砥石サンプルも試作した.再焼成温度の異なる3種類の砥石サンプルおよび再焼成を行わない砥石サンプルの電解特性を把握した.そして,電解被膜を形成した砥石サンプルの摩擦試験を行い,製造条件の異なる4種類の電解被膜のトライボロジー特性を明らかにした.その上で,試作した3種類のRBセラミックスボンドダイヤモンド砥石を用いて単結晶シリコンのELID研削加工を行い,砥石の製造条件と加工特性の検討を行った.その結果,再焼成温度900℃では,電解被膜の比摩耗量および摩擦係数が高く,加工面粗さ,砥石軸負荷も小さいことが明らかとなった.一方,再焼成を行わない場合,電解被膜の摩擦係数および比摩耗量の値は小さく,加工面粗さ,砥石軸負荷は大きいことが明らかとなった.以上の一連の試験により,RBセラミックスボンド材料の製造条件とトライボロジー特性の関係およびトライボロジー特性と加工現象との関係を明らかにすることができた.このような加工の予測と実証のデータの関係は,「トライボファブリケーション」技術構築のためのデータベースであると考えられる.「トライボファブリケーション」とは,トライボロジーと加工/製造とのインタラクションにおける技術の融合を表す用語として,本研究から新しく提案した用語である.

  • Research Products

    (2 results)

All 2006 2005

All Journal Article (2 results)

  • [Journal Article] トライボファブリケーション技術構築のための新しい加工要素の研究-第1報 環境配慮型RBセラミックスボンド砥石と微粒鋳鉄ボンド砥石の開発について-2006

    • Author(s)
      加藤照子, 大森整, 林偉民, 渡邊裕, 岩木正哉, 根本昭彦, 伊藤伸英, 長谷川勇治, 堀切川一男
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌 50・3

      Pages: 138-143

  • [Journal Article] Development of RB Ceramics Bonded Diamond Wheel for Eco-friendly ELID-grinding2005

    • Author(s)
      A.Nemoto, N.Itoh, T.Kato, H.Ohmori, Y.Murata
    • Journal Title

      Proceedings of Leading Edge Manufacturing in 21^<st> Century

      Pages: 225-230

URL: 

Published: 2007-04-02   Modified: 2016-04-21  

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