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2004 Fiscal Year Annual Research Report

レーザアブレーションによる触媒ならびにカーボンナノチューブの一貫プロセス-成長位置・長さ・直径の制御-

Research Project

Project/Area Number 16760240
Research InstitutionHokkaido University

Principal Investigator

須田 善行  北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 助手 (70301942)

Keywordsカーボンナノチューブ / レーザアブレーション / 化学気相堆積 / 成長制御 / 触媒
Research Abstract

本研究では、レーザアブレーション(LA)と化学気相堆積(CVD)とを融合した新規手法によりカーボンナノチューブ(CNT)の成長制御を試みる。本年度は研究計画を一部変更し、電気炉内において触媒付き基板を加熱し、そこに炭素LAプルームを供給することでCNTを成長させた。CNT用成長触媒としては、スパッタにてNi、Fe膜を堆積した他に、Dip coat法により、PdNi、Pd、Ni薄膜を用意した。Pdは高温でも安定してCH_4を分解する触媒として知られる。主な結果として、(1)1000℃以上にて、いずれの触媒からもCNTが成長した、(2)CNTを透過電子顕微鏡で分析したところ、内部にも炭素が詰まったファイバ構造であることが分かった(以下、CNFと呼ぶ)。(3)触媒の膜厚を薄くするとCNFは細くなった、(4)電気炉の温度を上げるとCNFは太くなった、(5)雰囲気ガスであるArにH_2を添加することで、アモルファス微粒子等がほとんど含まれないCNFが合成された。触媒については、FeよりはNiの方が高密度にCNFを成長させ、PdNiからはさらに高密度にCNFが成長することが分かった。また、基板上におけるPdNi膜の密度を制御することで、島状構造が作成されることも明らかとなり、CNFはこれらの島同士を架橋するようにも成長した。本実験で用いた実験装置は、気相中で単層CNTを合成するために設計された装置であり、触媒入りグラファイトのLA実験も行なった。KrFレーザを用いたところ、1100℃にて内部が中空なCNTが作成された。以上より、触媒付き基板からはCNFが、気相中ではCNTが成長するという結果が得られ、両者がそれぞれどのように成長するのか、非常に興味深い。次年度はこれらの成長機構に着目して、最終的に成長制御を達成すべく研究を進める。

  • Research Products

    (8 results)

All 2005 2004

All Journal Article (8 results)

  • [Journal Article] Investigation of excited species in a carbon ablation plume in nitrogen gas environment2005

    • Author(s)
      M.A.Bratescu
    • Journal Title

      Plasma Processes and Polymers 1

      Pages: 489-498

  • [Journal Article] Growth of carbon nanotubes on Fe or Ni-coated Si substrate by feeding with carbon from a graphite ablation plume2004

    • Author(s)
      須田 善行
    • Journal Title

      Appl.Phys.A 79

      Pages: 1331-1333

  • [Journal Article] Spectroscopic measurements of excited particles in a N2 gas RF plasma-assisted carbon laser ablation2004

    • Author(s)
      M.A.Bratescu
    • Journal Title

      Appl.Phys.A 79

      Pages: 1083-1088

  • [Journal Article] Amorphous carbon nitride film preparation by plasma-assisted pulsed laser deposition method2004

    • Author(s)
      伊藤 雅孝
    • Journal Title

      Appl.Phys.A 79

      Pages: 1575-1578

  • [Journal Article] Amorphous fluorocarbon polymer (a-C : F) films obtained by plasma enhanced chemical vapor deposition from perfluoro-octane (C8F18) vapor I : Deposition, morphology, structural and chemical properties2004

    • Author(s)
      Costel Biloiu
    • Journal Title

      J.Vac.Sci.Technol.A 22

      Pages: 13-19

  • [Journal Article] Laser Spectroscopy of the Ar(1s3,5) and CH in Ar+CH4 DBD for a-C : H Deposition System2004

    • Author(s)
      吉崎 泰直
    • Journal Title

      IEEJ Trans.FM 124・2

      Pages: 158-163

  • [Journal Article] プラズマ化学気相堆積によるカーボンナノチューブ生成と発光分光診断2004

    • Author(s)
      沖田 篤士
    • Journal Title

      電気学会研究会資料 放電研究会 ED-04-65

      Pages: 1-6

  • [Journal Article] N_2ガス中RFプラズマ支援炭素アブレーションプルームの光学的および電気的特性の診断2004

    • Author(s)
      佐倉 伸和
    • Journal Title

      電気学会研究会資料 放電研究会 ED-04-66

      Pages: 7-12

URL: 

Published: 2006-07-12   Modified: 2016-04-21  

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