2018 Fiscal Year Annual Research Report
Study of Microscopy with Pseudo-comb Interfermetry and high-speed discrete-frequency scanning laser
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16H03879
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| Research Institution | Saitama University |
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Principal Investigator |
塩田 達俊 埼玉大学, 理工学研究科, 准教授 (10376858)
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| Project Period (FY) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| Keywords | 光計測 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
周波数間隔200GHz で受光器の応答時間速い繰り返し周波数で離散的に光周波数を掃引する波長可変レーザー光源の開発を目指し、原理確認として、レーザー共振器構成によるレーザー発振を確認した。離散走査のためのエタロン（光共振器）と空間走査用デバイスと分散素子との組み合わせにより作製した共振器と可視光発振用のファイバータイプのレーザー媒質を用いて、離散的な波長走査が可能であることを確認した。
SPMの回折格子としての性質として、Littrow配置で回折次数に相当する複数の設置角で入射光軸に戻り光を示す。空間位相変調器としては高次回折成分では、高分解能な断層像を得ることが可能となる。回折光を直接検出する場合には軸方向（深さ方向）分解能が、回折次数に依存する。本研究では、SPMと検出器間に結像光学系を組むことで回折次数に依存しないシステムで実験を行った。可視光のスーパーコンティニューム光源を利用して深さ方向1ミクロン分解能が得られることを確認し、さらに2次元バランス検波により2次元シングルショット断層画像の背景除去とS/N向上ができることを確認した。
断層スペクトル分光法について、時間領域低コヒーレンス干渉の時間走査を行い相関波形ごとにフーリエ変換するが、複素屈折率分布を分離計測するためにクラマ―ス・クロニッヒ変換を導入して2層膜の分離する方式を、時間領域低コヒーレンス干渉法とスペクトル領域同干渉法を用いて実施した。いずれの場合にも空間分解してスペクトルを計測できることを確認した。
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| Research Progress Status |
平成30年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
平成30年度が最終年度であるため、記入しない。
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