2017 Fiscal Year Annual Research Report
Micro Multi-DOF Magnetic Actuators Using Micro Magnetization Technology
| Project/Area Number |
16H04254
|
|---|
| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
|---|
Principal Investigator |
進士 忠彦 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 教授 (60272720)
|
|---|
| Project Period (FY) |
2016-04-01 – 2019-03-31
|
| Keywords | 磁石 / 微細加工 / 微細着磁 / マイクロアクチュエータ / 位置制御 |
|---|
| Outline of Annual Research Achievements |
高性能磁石の代表例である焼結ネオジム磁石は，焼結体から機械加工により1mm以下の薄板に加工する場合，磁気特性劣化が顕著である．また，厚さ１mm以下の磁石を有効に使うためのサブミリオーダピッチのパルス着磁は，着磁コイルの細線化とジュール発熱によるコイルの溶断から，不可能である．これらの制限は，ネオジム磁石を用いるスマートフォンのレンズ駆動アクチュエータや情報記憶装置用アクチュエータなどの小型化や多自由度化の大きなボトルネックとなっている．本研究では，焼結磁石の低ダメージ薄板加工法，ボンド磁石やＰＬＤ（パルスレーザ堆積法）磁石の薄板成形法を検討するとともに，得られた薄板磁石の微細加工，微細着磁パターンを形成する手法の研究開発，また，それらの技術を組合せたマイクロ多自由度アクチュエータの実現を目的とし，磁石の微細加工，微細着磁，応用までを含めた総合的な研究を実施する．
平成29年度は，放電加工機によって薄板加工した焼結ネオジム磁石に対して，局所的にレーザ加熱し，磁化反転する手法で，碁盤の目の状にNS着磁された磁石アレイを作成した．これと，PCBボードに製作した２層のミアンダ状マイクロコイル，磁石アレイを支持案内するシリコン弾性案内からなる２自由度駆動マイクロアクチュエータを試作，それを用いた位置制御実験を実施した．また，シリコン・酸化シリコン上にPLDにて高速堆積した厚膜磁石に，レーザ加熱により，微細磁気パターンを形成する実験も合わせて実施した．
|
| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
1: Research has progressed more than it was originally planned.
Reason
予定より早くマイクロアクチュエータの試作に着手できている．
|
| Strategy for Future Research Activity |
マイクロアクチュエータの位置決め制御の結果，高周波駆動する場合，位置決め方向以外の振動が励起されることが明らかになり，現在，マイクロ案内の再設計を進めている．また，本研究の技術に対して，数社の企業が，別の用途での利用を打診してきており，当初の計画に加え，それらのニーズを踏まえつつ，研究を進展する予定である．
|
-
-
-
-
-
[Presentation] 酸化シリコン膜上にPDLで堆積された厚膜永久磁石のレーザ局所加熱による微細着磁2017
Author(s)
吾妻 範栄, 田中 駿也, 藤原 良元, 進士 忠彦, 清水 大, 近藤 秀俊, 山口 雄太, 山下 昂洋, 柳井 武志, 福永 博俊, 中野 正基
Organizer
日本機械学会第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演会
-
