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2018 Fiscal Year Annual Research Report

Development of 10Gfps ultra-high speed silicon image sensor

Research Project

Project/Area Number 16H04358
Research InstitutionRitsumeikan University

Principal Investigator

下ノ村 和弘  立命館大学, 理工学部, 教授 (80397679)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 安藤 妙子  立命館大学, 理工学部, 准教授 (70335074)
Project Period (FY) 2016-04-01 – 2019-03-31
Keywords超高速撮像 / 撮像素子 / マルチ電荷収集ゲート構造
Outline of Annual Research Achievements

超高速撮像のための“裏面照射型マルチ電荷収集ゲート構造(BSI-MCG)”を提案し,これに基づいた撮像素子開発を進めた.本年度の主な実績は以下のとおりである.
(1)昨年度に製作したテストカメラを用いて,光が飛翔する様子を撮影する実験を実施した.使用したカメラには,1億枚/秒(100Mfps)の超高速撮影が可能な撮像素子を用い,その画素数は512×576×2画素(約60万画素)である.各画素は5つの電荷収集ゲートをもつ.画素アレイの奇数行と偶数行をそれぞれ別のフレームの撮像に用いて画素数を半分(約30万画素)にすることで,10枚の連続画像を撮影した.光は1フレーム間(10ns)におよそ3m進む.そこで,実験では,2枚の鏡をおよそ7m離して向かい合わせに設置し,照射した単パルスのレーザー光が鏡の間を反射しながら進む様子を撮影した.光が進む様子が10枚の連続画像として可視化でき,単板シリコン撮像素子としては初めて光の飛翔の撮影に成功した.
(2)撮影速度を向上させるためのセンサ構造の検討を行った.これまでに,信号電荷の水平方向への移動を抑制することが時間分解能の向上につながることが明らかになっている.このための構造として,昨年度はDeep Trench Insulator(DTI)を用いる方法を考案した.しかしながらこの構造が開口率を向上できない.そこで今年度は,時間分解能と開口率の両立が可能な凸型シリコンピラミッドアレイ構造を提案した.シミュレーションにより,時間分解能はおよそ90psと見積もられた.
(3)凸型シリコンピラミッドアレイをMEMSプロセスにより試作した.使用したプロセスの制約によりサイズは想定する画素よりも大きいが,提案構造が技術的に実現可能であることを示した.

Research Progress Status

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (8 results)

All 2018

All Journal Article (2 results) (of which Int'l Joint Research: 2 results,  Peer Reviewed: 2 results,  Open Access: 2 results) Presentation (6 results) (of which Int'l Joint Research: 2 results,  Invited: 1 results)

  • [Journal Article] Toward the ultimate-high-speed image sensor: from 10 ns to 50 ps2018

    • Author(s)
      Anh Quang Nguyen, Vu Truong Son Dao, Kazuhiro Shimonomura, Kohsei Takehara, Takeharu Goji Etoh
    • Journal Title

      Sensors

      Volume: 18 Pages: 1-11

    • DOI

      10.3390/s18082407

    • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] An image signal accumulation multi-collection-gate image sensor operating at 25 Mfps with 32x32 pixels and 1,220 in-pixel frame memory2018

    • Author(s)
      Vu Truon Son Dao, Nguyen Ngo, Anh Quang Nguyen, Kazuhiro Morimoto, Kazuhiro Shimonomura, Paul Goetschalckx, Luc Haspeslagh, Piet De Moor, Kohsei Takehara, Takeharu Goji Etoh
    • Journal Title

      Sensors

      Volume: 18 Pages: 1-11

    • DOI

      10.3390/s18093112

    • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
  • [Presentation] Evolution of ultra-high-speed image sensors- Light-in-Flight imaging to Ultra-fast X-ray imaging2018

    • Author(s)
      Kazuhiro Morimoto, Nguyen Ngo, Kazuhiro Shimonomura, Takeharu Goji Etoh
    • Organizer
      4th International Workshop on Image Sensors and Imaging Systems
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] On a BSI Image Signal Accumulation Sensor of 100 Mfps2018

    • Author(s)
      Nguyen Ngo, Kazuhiro Morimoto, Kazuhiro Shimonomura, Takeharu Goji Etoh
    • Organizer
      4th International Workshop on Image Sensors and Imaging Systems
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 極限時間分解能を目指した超高速イメージセンサの新展開2018

    • Author(s)
      下ノ村和弘,竹原幸生,江藤剛治
    • Organizer
      電子情報通信学会超高速光エレクトロニクス研究会
    • Invited
  • [Presentation] 開口率100%の裏面照射マルチ電荷収集ゲートイメージセンサ2018

    • Author(s)
      江藤剛治,クアン グエン アン,下ノ村和弘
    • Organizer
      映像情報メディア学会情報センシング研究会
  • [Presentation] 裏面照射マルチ電荷収集ゲート超高速撮像素子の設計と評価2018

    • Author(s)
      森本一大,Ngo Nguyen Hoai, 江藤剛治,下ノ村和弘
    • Organizer
      映像情報メディア学会年次大会
  • [Presentation] The "Light-in-Flight" Imaging with a Silicon Image Sensor operating at 10 ns2018

    • Author(s)
      Takeharu Etoh, Hitoshi Nakano, Kohsei Takehara, Kazuhiro Shimonomura
    • Organizer
      第79回応用物理学会秋季学術講演会

URL: 

Published: 2019-12-27  

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