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2017 Fiscal Year Annual Research Report

高安定銀薄膜の実用化を目指した光学特性評価

Research Project

Project/Area Number 16H04503
Research InstitutionKitami Institute of Technology

Principal Investigator

川村 みどり  北見工業大学, 工学部, 教授 (70261401)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 木場 隆之  北見工業大学, 工学部, 助教 (40567236)
室谷 裕志  東海大学, 工学部, 教授 (70366079)
Project Period (FY) 2016-04-01 – 2019-03-31
Keywords極薄金属表面層 / 銀薄膜 / 光学特性 / 安定性
Outline of Annual Research Achievements

本研究課題の目的は、我々が以前開発した銀薄膜に極薄表界面層を積層させることにより加熱しても凝集せず電気抵抗率も保持できる高安定銀薄膜の光学特性を調査することである。前年度は、スパッタリング法と真空蒸着法を用いて、代表的な系であるアルミ表面層積層銀薄膜構造を作製し、表面積層金属膜厚の反射率に及ぼす影響を明らかにした。
今年度は、主に真空蒸着法を用いて作製した、1または3nmのアルミ表面層を積層した銀薄膜試料に対し、恒温恒湿器内で環境試験を実施し、その耐久性を調査し、銀単層膜との比較を行った。環境試験の条件はA:温度40℃、相対湿度90%、B: 温度85℃、相対湿度85%の2つで、それぞれ2週間保持して表面形態、電気抵抗率、反射率等の変化を調査した。このうち、Aは相対的には穏やかな条件だが、日本工業規格で光学コーティングの環境試験中でも最も厳しい「過酷な屋外環境下での使用基準」を満たすものである。
Aの条件下での環境試験の結果、積層構造試料では電気抵抗率変化が抑制されている一方、銀単層膜では著しい変化(劣化)が認められた。これは、光学顕微鏡・走査型電子顕微鏡及び原子間力顕微鏡を用いて調査した表面形態の変化の有無と対応する結果であった。また、銀単層膜では正反射率が大幅に低下するにのに対し、積層構造試料では、ほぼ変化が認められなかった。従って、アルミ積層試料は、銀単層と同様の高反射率特性をアズデポでも温度40℃、相対湿度90%での環境試験後でも維持できることを見出した。
一方、電子部品等の評価に用いられるより厳しいBの条件で加速試験をした結果、アルミ積層試料において、表面形態は平坦性が保たれていたが、表面にムラが生じている箇所も認められた。X線光電子分光法により元素分析を行った結果、部分的には薄い硫化銀層が形成しているものと推察された。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

銀薄膜と同等の反射率を有するアルミ積層銀薄膜において、光学コーティングに求められる最も厳しい条件での環境試験を実施した結果、極薄であってもアルミ積層の効果が十分に認められるという知見が得られた。

Strategy for Future Research Activity

前年度からの継続項目として、引き続き、新規な表面層金属を用いて積層構造を作製し、そのアズデポ状態での反射率を調査する。これまで、アルミやチタンの積層結果から得られた知見を確認する予定である。また、光学特性に関しても本実験で作製している膜の高反射率という特徴について、反射率の角度依存性の測定から更に知見を得ようと考えている。
アルミ以外の表面層金属を用いた積層構造における耐環境性及び光学特性を調査する。また、今年度は最終年であるので、アズデポでの特性および環境耐性にも優れている高安定銀薄膜の最適構造について結論づけたい。

  • Research Products

    (18 results)

All 2018 2017

All Journal Article (6 results) (of which Peer Reviewed: 5 results,  Open Access: 2 results) Presentation (12 results) (of which Int'l Joint Research: 6 results)

  • [Journal Article] Optical properties of highly stable silver thin films using different surface metal layers2018

    • Author(s)
      E. Kudo, S. Hibiya, M. Kawamura, T. Kiba, Y. Abe, K. H. Kim, T. Sugiyama, H. Murotani
    • Journal Title

      Thin Solid Films

      Volume: 印刷中 Pages: -

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2018.03.086

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Metal nanolayer deposited highly stable Ag thin films and their optical properties2018

    • Author(s)
      M Kawamura, T Kiba, Y Abe, K H Kim, H Murotani
    • Journal Title

      Journal of Physics: Conf. Series

      Volume: 987 Pages: 012002

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Photoluminescence enhancement of tris(8-hydroxyquinolinato)aluminum thin film by plasmonic Ag nanotriangle array fabricated by nanosphere lithography2018

    • Author(s)
      Yanome Kazuki、Kiba Takayuki、Masui Kazuaki、Kawamura Midori、Abe Yoshio、Kim Kyung Ho、Takase Mai、Takayama Junichi、Murayama Akihiro
    • Journal Title

      Thin Solid Films

      Volume: 印刷中 Pages: -

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2018.02.033

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Time-resolved photoluminescence study of tris(8-hydroxyquinolinato) aluminium with surface plasmon resonance of Ag nanoparticles2018

    • Author(s)
      Masui Kazuaki、Kiba Takayuki、Sato Aoto、Yanome Kazuki、Kawamura Midori、Abe Yoshio、Kim Kyung Ho、Kim Hee Dae、Takayama Junichi、Murayama Akihiro
    • Journal Title

      Thin Solid Films

      Volume: 印刷中 Pages: -

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2018.02.014

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Indium-saving effect and physical properties of transparent conductive multilayers2018

    • Author(s)
      M Kawamura, T Kiba, Y Abe, K H Kim
    • Journal Title

      Journal of Physics: Conf. Series

      Volume: 987 Pages: 012014

    • Open Access
  • [Journal Article] Spectroscopic and Photoluminescent Properties of Indium Zinc Oxide (IZO) and IZO/Ag/IZO Sandwiched Film2017

    • Author(s)
      Yanome Kazuki、Kiba Takayuki、Kawamura Midori、Abe Yoshio、Kim Kyung Ho、Takayama Junichi、Murayama Akihiro
    • Journal Title

      J. Electron. Mater.

      Volume: 46 Pages: 3873~3879

    • DOI

      10.1007/s11664-017-5476-y

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 真空蒸着法で成膜したアルミ積層銀薄膜の環境試験2018

    • Author(s)
      佐々木 祐弥、川村 みどり、木場 隆之、阿部 良夫、金 敬鎬、室谷裕志
    • Organizer
      第53回応用物理学会北海道支部/第14回日本光学会北海道支部合同学術講演会
  • [Presentation] Agナノ構造局在プラズモン共鳴によるAlq3薄膜の発光増強2018

    • Author(s)
      矢ノ目 和樹、木場 隆之、川村 みどり、阿部 良夫、金 敬鎬、高瀬 舞、高山純一、村山 明宏
    • Organizer
      第53回応用物理学会北海道支部/第14回日本光学会北海道支部合同学術講演会
  • [Presentation] Alq3/Agナノ粒子の発光増幅に対するスペーサー厚依存性2018

    • Author(s)
      佐藤 碧斗、増井一晃、木場 隆之、川村 みどり、阿部 良夫、金 敬鎬、金 煕大、高山純一、村山 明宏
    • Organizer
      第53回応用物理学会北海道支部/第14回日本光学会北海道支部合同学術講演会
  • [Presentation] Optical properties of multilayers consisting of Al surface layer and Ag thin film2017

    • Author(s)
      Midori Kawamura, Takayuki Kiba, Yoshio Abe, Kyung Ho Kim, Hiroshi Murotani
    • Organizer
      The 14th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes (ISSP)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Optical properties of highly stable silver thin films using different surface metal layer2017

    • Author(s)
      Eita Kudo, Souma Hibiya, Midori Kawamura, Takayuki Kiba, Yoshio Abe, Kyung Ho Kim, Takuya Sugiyama, Hiroshi Murotani
    • Organizer
      International Thin Films Conference (TACT 2017)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Time-resolved photoluminescence study of Alq3 thin film with plasmonic Ag nanotriangle array fabricated by nanosphere lithography2017

    • Author(s)
      Kazuki Yamone, Takayuki Kiba, Kazuaki Masui, Midori Kawamura, Yoshio Abe, Kyung Ho Kim, Mai Takase, Junichi Takayama, Akihiro Murayama
    • Organizer
      International Thin Films Conference (TACT 2017)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Emission enhancement and its dynamics of Alq3 with surface plasmon resonance of Ag nanoparticles2017

    • Author(s)
      Kazuaki Masui, Takayuki Kiba, Aoto Sato, Kazuki Yamome, Midori Kawamura, Yoshio Abe, Kyung Ho Kim, Hee Dae Kim, Junichi Takayama, Akihiro Murayama
    • Organizer
      International Thin Films Conference (TACT 2017)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Indium-saving effect and physical properties of transparent conductive multilayers2017

    • Author(s)
      Midori Kawamura, Takayuki Kiba, Yoshio Abe, Kyung Ho Kim
    • Organizer
      Applied Nanotechnology and Nanoscience International Conference 2017
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Metal nanolayer deposited highly stable Ag thin films and their optical properties2017

    • Author(s)
      Midori Kawamura, Takayuki Kiba, Yoshio Abe, Kyung Ho Kim, Hiroshi Murotani
    • Organizer
      Applied Nanotechnology and Nanoscience International Conference 2017
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 異なる表面金属属層を用いた高安定銀薄膜の光学特性2017

    • Author(s)
      工藤 映太、日比谷 宗真、川村 みどり、木場 隆之、阿部 良夫、金 敬鎬、杉山拓也、室谷 裕志
    • Organizer
      第78回 応用物理学会 秋季学術講演会
  • [Presentation] AgナノトライアングルアレイによるAlq3の発光増幅とその機構2017

    • Author(s)
      矢ノ目 和樹、増井一晃、木場 隆之、川村 みどり、阿部 良夫、金 敬鎬、高瀬 舞、高山純一、村山 明宏
    • Organizer
      第78回 応用物理学会 秋季学術講演会
  • [Presentation] Agナノ粒子によるAlq3薄膜の発光増幅とそのスペーサー効果2017

    • Author(s)
      増井一晃、佐藤 碧斗、矢ノ目和樹、木場 隆之、川村 みどり、阿部 良夫、金 敬鎬、高山純一、村山 明宏
    • Organizer
      第78回 応用物理学会 秋季学術講演会

URL: 

Published: 2018-12-17  

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