2018 Fiscal Year Annual Research Report
Mechanism of stress-induced exothermic reaction in Ti/Si multilayer films and development of novel reactive bonding technique
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16H04510
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| Research Institution | Aichi Institute of Technology |
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Principal Investigator |
生津 資大 愛知工業大学, 工学部, 教授 (90347526)
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| Project Period (FY) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| Keywords | 自己伝播発熱材料 / 接合 / デバイス |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究では，自己伝播発熱反応を機械刺激で誘起できるTi/Si多層膜の機械刺激反応誘起メカニズムをマイクロ～ナノ実験力学独自技術で解明し，この新奇な瞬間発熱素材の特長を活かしたハンダ接合体の0.1秒瞬間製造技術を実現することを目的としてきた．スパッタ製膜したTi/Si多層膜に対して衝撃試験により機械刺激を付与し，応力印加に伴う原子拡散現象の可視化とそれ基づく化合物生成発熱反応の開始条件の特定を試みた．そして，Ti/Si多層膜を用いた機械刺激による瞬間ハンダ接合技術の確立に挑戦した．
衝撃試験の結果，機械刺激で発熱反応を開始するTi/Si多層膜の反応誘起エネルギーを衝撃試験で求めることに成功した．バイレイヤーが薄くなるほど反応誘起に必要なエネルギーは少ないことがわかった．示差走査熱量計で発熱反応を分析した結果，バイレイヤーが薄いほど最初の発熱ピークの温度が低いことがわかった．これらの知見を用い，加圧力のみで発熱反応を誘起させて2枚のSiチップを瞬間はんだ接合することに成功した．
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| Research Progress Status |
平成30年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
平成30年度が最終年度であるため、記入しない。
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Research Products
(8 results)
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[Presentation] Time-resolved X-ray diffraction study of formation of intermetallic compounds in Al/Ni multilayer materials2018
Author(s)
Rino Yamamoto, Taisei Izumi, Sho Nagata, Ryota Wakatsuki, Kai Uozaki, Shugo Miyake, Takahiro Namazu, Shunsuke Kanetsuki, Daiki Goto, Yasuhiro Kuntani, Takumi Nomura, Tomoyuki Koganezawa
Organizer
International Symposium on Advanced Science and Technology in Experimental Mechanics, ISEM’18
Int'l Joint Research
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