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2016 Fiscal Year Annual Research Report

多結晶薄膜デバイスのための高空間分解能キャリアイメージング技術開発

Research Project

Project/Area Number 16H05976
Research InstitutionNational Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Principal Investigator

堤 潤也  国立研究開発法人産業技術総合研究所, フレキシブルエレクトロニクス研究センター, 主任研究員 (30573141)

Project Period (FY) 2016-04-01 – 2019-03-31
Keywords有機薄膜トランジスタ / 結晶グレイン / 伝導機構 / イメージング / 過渡応答 / 変調分光 / 有機強誘電体 / 分極ドメイン
Outline of Annual Research Achievements

本研究では、半導体内部の電荷の空間分布を可視化できる申請者の独自技術(ゲート変調イメージング法)をナノ秒時間分解測定に発展させることで、多結晶薄膜デバイスの性能を強く制限するとされる結晶粒界を介したμmオーダーの局所伝導機構を明らかにすることを目的とする。H28年度前半は、定常状態測定の高空間分解能化に注力し、ペンタセン多結晶薄膜をチャネルとする有機薄膜トランジスタについて、結晶粒のサイズ(>3μm)よりも十分に高い空間分解能(<1μm)でのゲート電界誘起蓄積電荷の空間分布イメージングに成功した。これにより、電荷密度が低いことを示す信号成分が結晶粒の中心付近に分布しているのに対し、トラップに対応すると考えられる電荷密度の高い信号成分が結晶粒界付近に集中するなど、有機半導体多結晶膜の不均質な電荷分布の様子を初めて明らかにした。また結晶粒サイズが小さく低移動度の多結晶薄膜では、トラップに対応する信号成分の増加が観測されるなど、電気特性に対してリーズナブルな結果が得られることを確認した。年度後半は、LEDのパルス発光をシャッターに用いた時間分解能3μs程度での時間分解測定の予備実験に取り組み、結晶粒界近傍の局所伝導を捉えるには100 ns程度の時間分解能が必要との見通しを立てた。さらに、大幅な高時間分解能化に向け、イメージインテンシファイアと高輝度LEDを組み込んだ新たな装置の構築に取り組んだ。また、当所想定していなかった成果として、本手法を強誘電体に適用し、外部電場による微弱な光学変化を測定すると、向きが真逆の分極ドメインが外部電場に対して反対符合のStark効果を示すことに由来して、分極ドメインの空間分布を可視化できることが分かった。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

H28年度に実施した研究により、多結晶性有機薄膜トランジスタについて、結晶粒サイズよりも十分に高い空間分解能(<1μm)での電荷の空間分布イメージングに成功しており、H28年度の目標は達成できた。さらに、予備実験により、時間分解能3μs程度での時間分解測定にも成功しており、研究期間全体を通しての目標であるナノ秒時間分解測定に向けたマイルストーンを順調にクリアできている。さらに、当初想定していなかった成果として、本手法が強誘電体の分極ドメインイメージングに応用できることを見出すなど、開発技術の新たな可能性を見出すこともできた。

Strategy for Future Research Activity

H28年度までに実施した研究により、時間分解能3μs程度での時間分解測定に成功するとともに、さらなる高時間分解能化に向け、イメージインテンシファイアと高輝度LEDを組み込んだ新装置を構築している。H29年度は、この新装置を用いたナノ秒時間分解測定に取り組み、結晶粒界の局所伝導の様子を実際に捉える研究に注力する。メインの測定対象は有機半導体多結晶薄膜であるが、比較として単結晶やアモルファス試料についても測定を行うことで、異なるサイズの構造不均質性に対して伝導機構がどのように変化するかを明らかにする。

  • Research Products

    (30 results)

All 2017 2016 Other

All Journal Article (9 results) (of which Int'l Joint Research: 2 results,  Peer Reviewed: 9 results,  Acknowledgement Compliant: 3 results,  Open Access: 1 results) Presentation (18 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results,  Invited: 3 results) Remarks (2 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Journal Article] Reduced exchange narrowing caused by gate-induced charge carriers in high-mobility donor-acceptor copolymers2017

    • Author(s)
      J. Tsutsumi, S. Matsuoka, I. Osaka, R. Kumai, and T. Hasegawa
    • Journal Title

      Physical Review B

      Volume: 95 Pages: 115306-1~9

    • DOI

      10.1103/PhysRevB.95.115306

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Unidirectionally Crystallized Stable n-type Organic Thin-Film Transistors Based on Solution-Processable Donor-Acceptor Compounds2017

    • Author(s)
      Y. Shibata, J. Tsutsumi, S. Matsuoka, H. Minemawari, S. Arai, R. Kumai, and T. Hasegawa
    • Journal Title

      Advanced Electronic Materials

      Volume: in press Pages: in press

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Reply to Comment on Polymorphism in the 1:1 Charge-Transfer Complex DBTTF-TCNQ and Its Effects on Optical and Electronic Properties2017

    • Author(s)
      K. P. Goetz, J. Tsutsumi, S. Pookpanratana, J. Chen, N. S. Corbin, R. K. Behera, V. Coropceanu, C. A. Richter, C. A. Hacker, T. Hasegawa, and O. D. Jurchescu
    • Journal Title

      Advanced Electronic Materials

      Volume: 3 Pages: 1600521-1~3

    • DOI

      10.1002/aelm.201600521

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] ゲート変調イメージングによる有機TFTアレイの一括評価技術2016

    • Author(s)
      堤潤也,松岡悟志,長谷川達生
    • Journal Title

      応用物理

      Volume: 85 Pages: 1037~1041

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] TFTキャリア可視化技術2016

    • Author(s)
      堤潤也
    • Journal Title

      光技術動向調査報告書

      Volume: - Pages: 416~419

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Electronic structure of stable n-type semiconducting molecular complex (diC8-BTBT)(TCNQ) studied by ultraviolet photoemission and inverse photoemission spectroscopy2016

    • Author(s)
      H. Koike, J. Tsutsumi, S. Matsuoka, K. Sato, T. Hasegawa, and K. Kanai
    • Journal Title

      Organic Electronics

      Volume: 39 Pages: 184~190

    • DOI

      10.1016/j.orgel.2016.10.005

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Polymorphism in the 1:1 charge-transfer complex DBTTF-TCNQ and its effects on optical and electronic properties2016

    • Author(s)
      K. P. Goetz, J. Tsutsumi, S. Pookpanratana, J. Chen, N. S. Corbin, R. K. Behera, V. Coropceanu, C. A. Richter, C. A. Hacker, T. Hasegawa, and O. D. Jurchescu
    • Journal Title

      Advanced Electronic Materials

      Volume: 2 Pages: 1600203-1~10

    • DOI

      10.1002/aelm.201600203

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Molecular requirements for printable organic semiconductors in 7-alkyl-2-phenyl[1]benzothieno[3,2-b][1]benzothiophenes (Ph-BTBT-Cn’s)2016

    • Author(s)
      S. Inoue, H. Minemawari, J. Tsutsumi, T. Hamai, S. Arai, T. Yamada, S. Horiuchi, M. Tanaka, M. Yoneya, R. Kumai, and T. Hasegawa
    • Journal Title

      MRS Advances

      Volume: 1 Pages: 2653~2658

    • DOI

      10.1557/adv.2016.441

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Nanoparticle chemisorption printing technique for conductive silver patterning with submicron resolution2016

    • Author(s)
      T. Yamada, K. Fukuhara, K. Matsuoka, H. Minemawari, J. Tsutsumi, N. Fukuda, K. Aoshima, S. Arai, Y. Makita, H. Kubo, T. Enomoto, T. Togashi, M. Kurihara, and T. Hasegawa
    • Journal Title

      Nature Communications

      Volume: 7 Pages: 11402-1~9

    • DOI

      10.1038/ncomms11402

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Presentation] 電界変調イメージング法を用いた有機強誘電体単結晶におけるドメイン構造と運動観察2017

    • Author(s)
      上村洋平,荒井俊人,堤潤也,松岡悟志,山田浩之,堀内佐智雄,長谷川達生
    • Organizer
      日本物理学会第72回年次大会
    • Place of Presentation
      大阪大学豊中キャンパス、豊中
    • Year and Date
      2017-03-18
  • [Presentation] SuPR-NaP銀電極を用いた有機トランジスタの低電圧駆動2017

    • Author(s)
      北原暁,青島圭佑,堤潤也,峯廻洋美,荒井俊人,長谷川達生
    • Organizer
      日本物理学会第72回年次大会
    • Place of Presentation
      大阪大学豊中キャンパス、豊中
    • Year and Date
      2017-03-18
  • [Presentation] 有機薄膜トランジスタの高速時間発展ゲート変調イメージング2017

    • Author(s)
      松岡悟志,堤潤也,鎌田俊英,長谷川達生
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      パシフィコ横浜、横浜
    • Year and Date
      2017-03-16
  • [Presentation] 有機強誘電体における強誘電ドメイン壁構造の電界変調イメージング2017

    • Author(s)
      上村洋平,荒井俊人,堤潤也,松岡悟志,山田浩之,堀内佐智雄,長谷川達生
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      パシフィコ横浜、横浜
    • Year and Date
      2017-03-16
  • [Presentation] DA型高分子半導体溶液薄膜における界面配向形成のMD計算による検討2017

    • Author(s)
      米谷慎,松岡悟志,堤潤也,長谷川達生
    • Organizer
      日本化学会第97春季年会
    • Place of Presentation
      慶応大学日吉キャンパス、横浜
    • Year and Date
      2017-03-16
  • [Presentation] SuPR-NaP高精細印刷銀電極を用いた有機トランジスタの低電圧駆動2017

    • Author(s)
      北原暁,青島圭佑,堤潤也,峯廻洋美,荒井俊人,長谷川達生
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      パシフィコ横浜、横浜
    • Year and Date
      2017-03-15
  • [Presentation] 分子デバイスの電荷キャリア可視化技術2017

    • Author(s)
      堤潤也,松岡悟志,長谷川達生
    • Organizer
      「分子システム研究」研究報告会
    • Place of Presentation
      理研、和光
    • Year and Date
      2017-02-06
    • Invited
  • [Presentation] DA型高分子半導体溶液薄膜における界面配向形成のMD計算による検討2016

    • Author(s)
      米谷慎,松岡悟志,堤潤也,長谷川達生
    • Organizer
      第30回分子シミュレーション討論会
    • Place of Presentation
      大阪大学豊中キャンパス、豊中
    • Year and Date
      2016-12-02
  • [Presentation] Visualization of charge carriers in operating organic thin-film transistors by gate modulation imaging technique2016

    • Author(s)
      堤潤也,松岡悟志,長谷川達生
    • Organizer
      Conduction and Photoconduction in Organic Solids and Related Phenomena
    • Place of Presentation
      早稲田大学、東京
    • Year and Date
      2016-10-18
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 時間発展ゲート変調イメージング法による多結晶性有機薄膜トランジスタの局所電流経路マッピング2016

    • Author(s)
      松岡悟志,堤潤也,鎌田俊英,長谷川達生
    • Organizer
      日本物理学会2016年秋季大会
    • Place of Presentation
      金沢大学、金沢
    • Year and Date
      2016-09-15
  • [Presentation] 時間発展ゲート変調イメージングによる多結晶有機薄膜トランジスタの局所電流マッピング2016

    • Author(s)
      松岡悟志,堤潤也,鎌田俊英,長谷川達生
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ、新潟
    • Year and Date
      2016-09-14
  • [Presentation] ゲート変調イメージングによる大面積アクティブバックプレーンの欠陥検査2016

    • Author(s)
      堤潤也,松岡悟志,長谷川達生
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ、新潟
    • Year and Date
      2016-09-14
  • [Presentation] 有機強誘電体薄膜の電場変調イメージング法によるドメイン運動観察2016

    • Author(s)
      上村洋平,荒井俊人,堤潤也,松岡悟志,山田浩之,堀内佐智雄,長谷川達生
    • Organizer
      日本物理学会2016年秋季大会
    • Place of Presentation
      金沢大学、金沢
    • Year and Date
      2016-09-14
  • [Presentation] 電界変調イメージング法による有機強誘電体薄膜のドメイン運動観察2016

    • Author(s)
      上村洋平,荒井俊人,堤潤也,松岡悟志,山田浩之,堀内佐智雄,長谷川達生
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ、新潟
    • Year and Date
      2016-09-13
  • [Presentation] Visualization and mass inspection for thin film transistor array operations using gate-modulation imaging2016

    • Author(s)
      堤潤也,松岡悟志,長谷川達生
    • Organizer
      ICFPE 2016
    • Place of Presentation
      山形大学、米沢
    • Year and Date
      2016-09-06
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Ferroelectric field modulation imaging of organic ferroelectric thin films2016

    • Author(s)
      上村洋平,荒井俊人,堤潤也,松岡悟志,山田浩之,堀内佐智雄,長谷川達生
    • Organizer
      ICFPE 2016
    • Place of Presentation
      山形大学、米沢
    • Year and Date
      2016-09-06
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 分子デバイスにおける電荷キャリアの光プローブ2016

    • Author(s)
      堤潤也,松岡悟志,長谷川達生
    • Organizer
      物性研短期研究会「パイ電子系物性科学の最前線」
    • Place of Presentation
      東大物性研、柏
    • Year and Date
      2016-08-10
    • Invited
  • [Presentation] 大面積有機TFTアレイの性能分布の一括評価技術2016

    • Author(s)
      堤潤也
    • Organizer
      電気学会調査専門委員会
    • Place of Presentation
      汐留シティセンター、東京
    • Year and Date
      2016-04-19
    • Invited
  • [Remarks] フレキシブル材料基盤チームホームページ

    • URL

      https://unit.aist.go.jp/flec/fos/publications/index.html

  • [Remarks] フレキシブルエレクトロニクス研究センターホームページ

    • URL

      https://unit.aist.go.jp/flec/ja/results/paper2017.html

  • [Patent(Industrial Property Rights)] 強誘電体の分極ドメイン可視化方法及びその装置2016

    • Inventor(s)
      堤潤也,松岡悟志,堀内佐智雄,上村洋平,荒井俊人,長谷川達生
    • Industrial Property Rights Holder
      堤潤也,松岡悟志,堀内佐智雄,上村洋平,荒井俊人,長谷川達生
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      特願2016-167750
    • Filing Date
      2016-08-30

URL: 

Published: 2018-01-16  

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