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2018 Fiscal Year Annual Research Report

マルチスライスX線タイコグラフィによる広視野・高分解能・三次元バイオイメージング

Research Project

Project/Area Number 16J00329
Research InstitutionOsaka University

Principal Investigator

下村 啓  大阪大学, 工学研究科, 特別研究員(DC1)

Project Period (FY) 2016-04-22 – 2019-03-31
KeywordsX線顕微鏡 / タイコグラフィ / マルチスライス / トモグラフィ / 3次元再構成
Outline of Annual Research Achievements

観察領域100×100×100 um3、空間分解能10×10×10 nm3での3次元観察を行うためには、Crowther limitの見積もりから30000を超える試料角度での測定が必要となり、1方向のタイコグラフィ測定で1時間程度要している現状では、実現不可能であることが明らかとなった。そこで、解析的に再構成に必要な測定角度数を低減することが可能か検討した。通常の3次元再構成計算法では、各角度で測定した試料全体の投影像から3次元像を再構成するため、マルチスライス位相回復計算で再構成された複数層の試料像から3次元再構成する場合には、各層を積算する必要があった。そこで、各層を積算することなく3次元再構成するために、逐次近似法とマルチスライス位相回復計算を融合した再構成アルゴリズムを開発した。本手法では、原理的には必要な角度数を(Crowther limit)/(分割層数)まで低減させることが可能である。開発した位相回復計算法を利用して、スチレン・ブタジエンゴムと金ナノ粒子から構成される3次元モデルを利用した計算機シミュレーションを行ったところ、3次元再構成に必要な測定角度数がCrowther limitの1/6程度の場合、-5°~ 5°の制限角度下での測定を想定した場合の両方において、FBPや加算型ARTなどの従来法に比べ、信頼性の高い試料像の再構成が可能であることが明らかとなった。また、SPring-8においてIntel社製CPUのタイコグラフィ測定を21の試料角度で行い、新たに開発した計算法を利用した再構成計算を実行したところ240 nm間隔で配置された多層配線の微細構造を可視化することに成功した。開発したアルゴリズムと現在、建設が計画されている東北放射光でのタイコグラフィ測定により、目標とする視野・分解能を両立した3次元観察が現実的な時間で達成可能になると期待される。

Research Progress Status

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (6 results)

All 2019 2018

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results,  Open Access: 3 results) Presentation (3 results) (of which Int'l Joint Research: 2 results)

  • [Journal Article] Multislice Imaging of Integrated Circuits by X-ray Ptychography2018

    • Author(s)
      Shimomura Kei、Hirose Makoto、Higashino Takaya、Takahashi Yukio
    • Journal Title

      Microscopy and Microanalysis

      Volume: 24 Pages: 26~27

    • DOI

      10.1017/S1431927618012552

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Nanoscale Chemical Imaging of Three-Way Catalyst Pt/Ce2Zr2Ox Particles by Ptychographic-XAFS2018

    • Author(s)
      Hirose Makoto、Ishiguro Nozomu、Shimomura Kei、Matsui Hirosuke、Tada Mizuki、Takahashi Yukio
    • Journal Title

      Microscopy and Microanalysis

      Volume: 24 Pages: 12~13

    • DOI

      10.1017/S1431927618012497

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Three-dimensional iterative multislice reconstruction for ptychographic X-ray computed tomography2018

    • Author(s)
      Shimomura Kei、Hirose Makoto、Higashino Takaya、Takahashi Yukio
    • Journal Title

      Optics Express

      Volume: 26 Pages: 31199~31199

    • DOI

      doi.org/10.1364/OE.26.031199

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Presentation] マルチスライス逐次近似再構成法を利用した 高分解能三次元X線タイコグラフィ2019

    • Author(s)
      下村啓、広瀬真、東野嵩也、高橋幸生
    • Organizer
      第32回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
  • [Presentation] Multislice observation of integrated circuits by X-ray ptychography2018

    • Author(s)
      Kei Shimomura, Makoto Hirose, Takaya Higashino, Yukio Takahashi
    • Organizer
      Coherence 2018
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Multislice Imaging of Integrated Circuits by X-ray Ptychography2018

    • Author(s)
      Kei Shimomura, Makoto Hirose, Takaya Higashino, Yukio Takahashi
    • Organizer
      XRM 2018
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2019-12-27  

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