2018 Fiscal Year Annual Research Report
Gas permeable mold in nanoimprint lithography
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16K04920
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| Research Institution | Toyama Prefectural University |
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Principal Investigator |
竹井 敏 富山県立大学, 工学部, 教授 (90580069)
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2016-04-01 – 2019-03-31
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| Keywords | ガス透過 / ナノパターニング / 多孔質 / レジスト / 機能材料 / 電子材料 / 糖鎖 / リソグラフィ |
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| Outline of Annual Research Achievements |
ナノインプリント法による成型不良を改善するため、シクロデキストリンやカリックスアレーン等の空孔部分を高度利用したガス透過性透明モールド材料の設計指針を提案した。ナノメートルの空孔部分を有する分子の水酸基に光反応基を化学修飾させたナノインプリント用ガス透過性モールド材料の開発により、ナノインプリントモールドが巻き込む空気のかみ込みによる成型不良が改善できる目的があった。
最終年度は、転写成功回数の向上のための機能性プラスチック成形用ガス透過性透明モールド材料の設計・プロセスの最適化と大面積化を行った。機能性プラスチック成形用ガス透過性透明モールド材料による被転写材の転写成功回数が100回以上に改善することが新たに分かった。ガス透過性透明モールド材料の転写成功回数の向上のための材料設計の最適化と鍵となる要素を把握した。
また、約17倍の機能性プラスチック成形用ガス透過性透明モールド材料の大面積化を達成できた。先行研究において被転写材料中に含有された揮発性溶媒量を2倍にしても高いガス透過性と繰り返し転写性を保持することができ、更に、蒸気圧や溶解性が異なる複数の揮発性溶剤を含有した被転写材料にもガス透過性透明モールド材料による加工が対応できることが分かった。
本研究成果は、受賞2件（内定1件含む）と共に、査読有学術論文・国際会議プロシーディングス11件、口頭発表12件、ポスター発表5件、出版分担2件、及び新聞発表2件にて公開した。
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