2016 Fiscal Year Research-status Report
ナノ材料応用に向けたデバイス製造プロセスの簡略化と半導体ガスセンサ特性の向上
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16K13637
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
菅原 徹 大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (20622038)
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| Project Period (FY) |
2016-04-01 – 2018-03-31
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| Keywords | ナノ構造材料 / 有機金属分解法 / ガスセンサ |
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| Outline of Annual Research Achievements |
前駆体溶液を単純に基板へ塗布し数分間焼結するだけで酸化物ナノ材料アレイを作製すことに成功している。この方法は、ナノ材料を応用するためのデバイス製造プロセスに新たなフロンティアを提案する。
本研究では、電子デバイス特性の性能向上を評価手段として、単純な製造プロセスを用いたナノ材料のさらなるナノ構造制御や印刷法による微細パターニングに挑戦している。現在、ナノ材料の単純合成を基礎技術として、高温用ガスセンサに応用し、そのセンシング感度の向上を目指している。28年度は、センシング感度の目標値を当初の10倍、29年度は100倍に設定し、幾つかの項目について研究・開発している。
28年度において、微細パターニングの実施によって、100倍以上のセンサ感度を向上させることに成功した。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
1: Research has progressed more than it was originally planned.
Reason
開発中のナノ材料の単純合成および配列法を基礎技術として、高温用ガスセンサに応用し、そのセンシング感度の向上を目指している。28年度は、センシング感度の目標値を当初の 10 倍に設定し、幾つかの項目について研究・開発進めてきた。28年度は、微細パターニングの実施によって、100倍以上のセンサ感度を向上させることに成功している。従って、当初2年目の開発目標としていたセンサ感度の100倍増大を既に達成しており、本研究の進捗は当初の計画以上に進んでいると判断できる。
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| Strategy for Future Research Activity |
28年度の検討結果として、目標に設定しているセンシング感度を既に達成している。しかしながら、検討事項として挙げている項目、特に材料特性の改善や新規材料探索については、引き続き検討する必要がある。29年度は、材料探索および材料特性の改善を中心に研究を進める計画である。
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| Causes of Carryover |
前述の様に、本研究の数値目標は28年度の早期で達成している。従って、装置購入費として計上していた実験設備および実験消耗品代を29年度に持ち越した。
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| Expenditure Plan for Carryover Budget |
持ち越した研究費は、実験消耗品代および装置の開発費、人件費へ割り当て円滑に研究を推進する予定である。
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