2017 Fiscal Year Annual Research Report
Simplification of device fabrication process for nanomaterial application and enhancement of semiconductor gas sensor properties
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16K13637
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
菅原 徹 大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (20622038)
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| Project Period (FY) |
2016-04-01 – 2018-03-31
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| Keywords | ナノ構造材料 / 有機金属分解法 / ガスセンサ / 酸化物コーティング |
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| Outline of Annual Research Achievements |
前駆体溶液を単純に基板へ塗布し数分間焼結するだけで酸化物ナノ材料アレイを作製すことに成功している。この方法は、ナノ材料を応用するためのデバイス製造プロセスに新たなフロンティアを提案した。本研究では、電子デバイス特性の性能向上を評価手段として、単純な製造プロセスを用いたナノ材料のさらなるナノ構造制御や印刷法による微細パターニングに挑戦した。28年度は、センシング感度の目標値を当初の10倍、29年度は100倍としていた。28年度にインクジェットプリンタで描画し、ナノロッドアレイの感度を100倍向上させることに成功した。29年度は、センサ材料の改良やガス種のバリエーションを広げる研究に従事した。
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