2016 Fiscal Year Research-status Report
マルチスライスＸ線タイコグラフィを駆使したラージスケール・ナノＸ線ＣＴの実証
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16K13725
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
高橋 幸生 大阪大学, 工学研究科, 准教授 (00415217)
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| Project Period (FY) |
2016-04-01 – 2018-03-31
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| Keywords | 量子ビーム |
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| Outline of Annual Research Achievements |
マルチモード位相回復法を組み合わせたマルチスライス位相回復計算法の開発を行った。計算機シミュレーションにより全反射集光鏡の光学パラメータの最適化を行い、部分コヒーレントX線を集光し、高光子密度のX線を供給できる光学系を構築した。また、ランダムアレイを利用したマルチスライスX線タイコグラフィの高分解能化に関する検討も行った。最大位相変化量－０．０７ラジアンに相当する８ビット画像を２マイクロメートル間隔で配置した２層構造体をモデル試料として計算機シミュレーションを行った。試料上流５００マイクロメートルに直径１００ナノメートル、高さ５００ナノメートルの白金円柱構造体をランダムに並べたランダムアレイを配置した結果、アレイ由来と試料由来の回折X線の干渉の効果により高角散乱強度の信号帯雑音比が向上し、マルチスライス法により再構成された各層の像への他層の混在を抑制できることが判明した。大型放射光施設SPring-8のBL29XULにてランダムアレイを用いたマルチスライスX線タイコグラフィの実験を行った。窒化珪素膜状に白金を蒸着し、集束イオンビーム加工を施すことでランダムアレイならびに二層構造試料を作製した。測定の結果、ランダムアレイからの散乱X線と試料からの散乱X線との干渉による強度パターンを取得することに成功した。しかしながら、試料とランダムアレイの相対的な位置安定性が不十分であり、試料像を再構成することは出来なかった。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
当初の計画通りマルチモード位相回復法を組み合わせたマルチスライス位相回復計算法の開発を行ったため。
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| Strategy for Future Research Activity |
プリセッション測定を組み合わせたマルチスライスX線タイコグラフィにより再構成像の三次元分解能の向上を行う。そして、多層配線基板の三次元観察を行う。
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| Causes of Carryover |
研究を進めていく上で、必要に応じて研究費を執行したため当初の見込み額と執行学は異なったが、研究計画に変更はなく、前年度の研究費も含め、当初の予定通りの計画を進めていく。
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| Expenditure Plan for Carryover Budget |
研究で必要な消耗品費として使用する。
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