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2017 Fiscal Year Annual Research Report

Nano / micro patterning using an electrostatic lens array and its application to neural cell networks

Research Project

Project/Area Number 16K14143
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

金 俊完  東京工業大学, 科学技術創成研究院, 准教授 (40401517)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 吉田 和弘  東京工業大学, 科学技術創成研究院, 教授 (00220632)
嚴 祥仁  東京工業大学, 科学技術創成研究院, 助教 (20551576)
Project Period (FY) 2016-04-01 – 2018-03-31
Keywords静電レンズ / エレクトロスプレーデポジション / ステンシルマスク
Outline of Annual Research Achievements

ステンシルマスクを用いたエレクトロスプレーデポジション(ESD)法は,生体/有機高分子材料を広範囲にマイクロパターニングできるため注目されている.しかし,ステンシルマスク穴のナノ加工は難しく,粒子が詰まる可能性も高いためパターンの微細化には限界がある.本研究では,ESD法と静電場の制御が可能なステンシルマスクを用いた新たなパターニング手法を提案し,ステンシルマスク穴より小さいパターニングやパターンサイズの制御を目的とする.
まず,磁性体絶縁マスクのMEMS技術を用いた製作プロセスを提案し,試作した結果,約0.05mmのギャップ変化が生じ,磁力によるギャップ制御性が示された.続いて,パターニングを行った結果,磁石の表面磁束密度が0.05T(ギャップ0.088mm)の場合,マスク穴幅0.5mmに対して,パターンの幅は0.393mmとなった.また,磁石を0.05Tから0.145Tに変化させることで,約0.043mmのパターンサイズの変化を達成した.この変化は先行研究と類似しており,磁力によるギャップ変化によってパターンサイズが変化する傾向にあることが示された.本実験の結果から,マスク形状の変更および電磁石の使用により高度なパターンサイズ制御の実現可能性を明らかにした.
静電レンズの印加電圧の変化を用いた制御法については,まず,静電レンズマスクを提案し,静電場シミュレーションを行い,印加電圧によりパターンサイズの変化が可能な設計値を決定した.次に,静電レンズマスクとその製作に用いる電極層用シャドウマスクのMEMS技術による製作プロセスを提案し,試作した結果,どちらも製作誤差は約0.005mm以下となり,製作プロセスの妥当性が示された.最後に,パターニングを行った結果,電極の穴幅0.180mmに対して約0.0126mmのパターンが形成された.

  • Research Products

    (5 results)

All 2018 2017

All Journal Article (4 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 4 results) Presentation (1 results)

  • [Journal Article] A Micro Vertically-allocated SU-8 Check Valve and its Characteristics Journal: Microsystem Technologies2018

    • Author(s)
      Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim
    • Journal Title

      Microsystem Technologies

      Volume: - Pages: -

    • DOI

      10.1007/s00542-018-3958-3

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Study on the fabrication of a SU-8 cantilever vertically-allocated in a closed fluidic microchannel2017

    • Author(s)
      Mao Zebing、Yoshida Kazuhiro、Kim Joon-wan
    • Journal Title

      Microsystem Technologies

      Volume: 24 Pages: 2473~2483

    • DOI

      https://doi.org/10.1007/s00542-017-3611-6

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] UV-LIGA technique for ECF micropumps using back UV exposure and self-alignment2017

    • Author(s)
      Han D、Xia Y、Yokota S、Kim J W
    • Journal Title

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      Volume: 27 Pages: 125008~125008

    • DOI

      https://doi.org/10.1088/1361-6439/aa8d9a

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] One-step fabrication of a tunable nanofibrous well insert via electrolyte-assisted electrospinning2017

    • Author(s)
      Eom Seongsu、Park Sang Min、Han Seon Jin、Kim Joon Wan、Kim Dong Sung
    • Journal Title

      RSC Advances

      Volume: 7 Pages: 38300~38306

    • DOI

      10.1039/C7RA06629E

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Presentation] 磁性体ステンシルマスクの開発2017

    • Author(s)
      佐藤慧一 , 吉田和弘 , 金俊完
    • Organizer
      日本機械学会山梨講演会2017

URL: 

Published: 2018-12-17  

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