Development of printable and flexible ultrasonic-sensor-array using silica-agglomerate electret

2018 Fiscal Year Final Research Report

• Project/Area Number: 16K14183
• Research Category: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Research Field: Dynamics/Control
• Research Institution: Saitama University
• Principal Investigator: KAGEYAMA Kensuke 埼玉大学, 理工学研究科, 教授 (30272280)
• Project Period (FY): 2016-04-01 – 2019-03-31
• Keywords: エレクトレット / 超音波センサ / 空中超音波 / 微細パターニング / 物体検出

Outline of Final Research Achievements

Ultrathin electret less than 4 μm which exhibited high electric charge retention and fine patterned by laser irradiation was obtained using PTFE and silica agglomerates. It is considered that this electret could contribute to the performance improvement of an electret condenser sensor (ECS). On the other hand, an airborne ultrasonic sensor array was fabricated in a cylindrical shape using flexible ECS using a silica aggregate electret and demonstrated the excellent performance in object position detection in omni-directions, especially at a short distance. In addition, it was shown that this ECS can also improve the performance by frequency modulation called pulse compression method.

Free Research Field

非破壊評価

Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements

極薄で電荷保持特性に優れたエレクトレットを作製でき，フィルム素材を用いてエレクトレット素子を製作することで柔軟に変形可能な空中超音波センサが製作可能であることが示された。また，このエレクトレットはレーザ加工可能であり，微細パターニングされた空中超音波センサアレイの製造可能性が示された。これらの成果から，特に近距離での全方位での物体検出に適した超音波センサが開発可能と考えられ，指の動きをワイドレンジかつ非接触でトラッキング可能なモーションセンシング等の空中超音波を用いたセンシング技術の向上が期待できる。